一种高温烧结石英舟制造技术

本实用新型专利技术涉及石英舟技术领域，且公开了一种高温烧结石英舟。该高温烧结石英舟，包括底座、承片棒、分隔板、通气孔和拉环，所述底座的上表面固定焊接有承片棒，所述承片棒的上表面固定焊接有分隔板，所述分隔板设有通气孔，所述承片棒的左端固定安装有拉环。该高温烧结石英舟，通过分隔板与舟面之间形成的七十五度夹角，使叠在一起的晶片之间具有一定的缝隙，方便石英炉管管中的热气进入到叠放的晶片之间，同时分隔板上设有多个通气孔，通气孔能将石英炉管内的热气充分的进入到晶片内，使晶片烧结更加的充分，提高了达标晶片的质量，提升了晶片的产率和效率。

A high temperature stone burning Yingzhou

【技术实现步骤摘要】
一种高温烧结石英舟
本技术涉及石英舟
，具体为一种高温烧结石英舟。
技术介绍
石英舟又名石英玻璃，石英玻璃是富合二氧化硅物质，石英玻璃是良好的耐酸材料，除氢氟酸和三百度以上的热磷酸外，在高温下，它能耐硫酸、硝酸、盐酸、王水、中性盐类、碳和硫等侵蚀，其化学稳定性相当于耐酸陶瓷的三十倍，相当于镍铬合金和陶瓷的一百五十倍，它耐高温、耐热震、热膨胀系数特别小。石英玻璃电学性能极佳，在常温下，它的电阻相当于普通玻璃的十倍，对全部频率的介电损失很微小，绝缘耐压强度大。石英玻璃还具有耐宇宙放射线，和不透原子核裂变产物的性质。由于石英玻璃的性能使得它用于电光源、半导体、光学新技术、化工、冶金、电工、科研等方面，而化工方面多用于半导体晶片烧结方面，而在化工方面由以石英舟的使用居多，但是现有石英舟多为刻槽型石英舟，作业时需要人工将半导体晶片一片一片插入石英舟的刻槽内，并且晶片需要与石英棒的刻槽对准，因此装片效率较低，工时较长。同时，在排片、以及高温烧结过程中容易造成晶片碎裂甚至报废。由于在石英棒上刻槽加工需要一定间距才能成型，因此刻槽数量有限，石英舟装片数量本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高温烧结石英舟，包括底座(1)、承片棒(2)、分隔板(3)、通气孔(4)和拉环(5)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定焊接有承片棒(2)，所述承片棒(2)的上表面固定焊接有分隔板(3)，所述分隔板(3)设有通气孔(4)，所述承片棒(2)的左端固定安装有拉环(5)。/n

【技术特征摘要】
1.一种高温烧结石英舟，包括底座(1)、承片棒(2)、分隔板(3)、通气孔(4)和拉环(5)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定焊接有承片棒(2)，所述承片棒(2)的上表面固定焊接有分隔板(3)，所述分隔板(3)设有通气孔(4)，所述承片棒(2)的左端固定安装有拉环(5)。


2.根据权利要求1所述的一种高温烧结石英舟，其特征在于：所述底座(1)和承片棒(2)都是由两根石英棒组成，且两根承片棒(2)之间的距离小于底座(...

【专利技术属性】
技术研发人员：王春飞，管国栋，纪大鹏，
申请(专利权)人：太仓天宇电子有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32