一种PERC太阳能电池用的石墨舟饱和工艺制造技术

本发明专利技术公开一种PERC太阳能电池用的石墨舟饱和工艺，包括备料、入舟、预放电、沉积、出舟等步骤，本发明专利技术在石墨舟上形成一层碳氮化硅薄膜，不易被笑气腐蚀，从而使用的周期变长，不会造成电致发光条件下观察电池片发现划伤缺陷，提高生产良率。

A graphite boat saturation process for perc solar cells

【技术实现步骤摘要】
一种PERC太阳能电池用的石墨舟饱和工艺
本专利技术涉及太阳能电池
，尤其是一种PERC太阳能电池用的石墨舟饱和工艺。
技术介绍
为了提升晶硅太阳能电池片的减反射效果和表面钝化效果，一般使用等离子体镀膜设备在硅片表面沉积一层非晶氮化硅减反膜，其中对镀膜质量有较大影响的是石墨舟的物理性能，即石墨舟的表面平整度与导电性能；一般的石墨片的导电率大于硅片的导电率，因此，在硅片与石墨片的接触区域存在竞争关系，大量的等离子体会沉积在石墨片上，导致硅片边缘沉积的目标膜厚偏低，造成外观不良和电学性能损失。PERC技术逐渐成为电池生产厂商的标配技术，PERC对硅片背面划伤更敏感，因此，对石墨舟与硅片接触位置的平整度要求更高。针对石墨舟的表面平整度及导电性能问题，传统的解决方案是在石墨舟上镀一层氮化硅膜薄，使最终石墨舟的导电率与硅片一致，但是PERC太阳能电池钝化膜镀膜工艺中使用笑气作为反应气体，长时间使用后氮化硅膜会逐渐被腐蚀，外观上出现孔洞，且会出现掉粉现象，影响生产良率。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是：传统石墨本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种PERC太阳能电池用的石墨舟饱和工艺，其特征在于：包括以下步骤；/n步骤一，准备干净待饱和的石墨舟；/n步骤二，石墨舟进入工艺管后对管进行抽真空处理，然后待其升到设定温度；/n步骤三，对石墨舟进行预放电处理；/n步骤四，对石墨舟进行沉积处理，向管内通入硅烷、氨气、甲烷三种反应气体，使石墨舟上沉积一层碳氮化硅薄膜；/n步骤五，取出石墨舟并待其冷却。/n

【技术特征摘要】
1.一种PERC太阳能电池用的石墨舟饱和工艺，其特征在于：包括以下步骤；
步骤一，准备干净待饱和的石墨舟；
步骤二，石墨舟进入工艺管后对管进行抽真空处理，然后待其升到设定温度；
步骤三，对石墨舟进行预放电处理；
步骤四，对石墨舟进行沉积处理，向管内通入硅烷、氨气、甲烷三种反应气体，使石墨舟上沉积一层碳氮化硅薄膜；
步骤五，取出石墨舟并待其冷却。


2.如权利要求1所述的PERC太阳能电池用的石墨舟饱和工艺，其特征在于：所述步骤三工艺参数为，氨气流量3000-8000标准毫升每分钟，温度350～550摄氏度，沉积功率3000～5000瓦特，沉积压力1000～1500毫托...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙立强，林纲正，陈刚，
申请(专利权)人：浙江爱旭太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33