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本发明公开一种PERC太阳能电池用的石墨舟饱和工艺，包括备料、入舟、预放电、沉积、出舟等步骤，本发明在石墨舟上形成一层碳氮化硅薄膜，不易被笑气腐蚀，从而使用的周期变长，不会造成电致发光条件下观察电池片发现划伤缺陷，提高生产良率。...
该专利属于浙江爱旭太阳能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江爱旭太阳能科技有限公司授权不得商用。

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