【技术实现步骤摘要】
监控系统及自动物料传送系统
本专利技术涉及半导体集成电路自动搬运
，尤其涉及一种监控系统及自动物料传送系统。
技术介绍
自动物料传送系统(AMHS，AutomatedMaterialHandlingSystem)一般包括有多个晶圆运输设备(OHT，OverheadHoistTransport)，该晶圆运输设备用于抓放晶圆盒并带动所述晶圆盒沿轨道移动。当晶圆运输设备出现故障时，会导致整个自动物料传送系统无法正常运转。相关技术中，通常通过故障报警装置监控每一个晶圆运输设备的运行状态，当任意一个晶圆运输设备出现故障时，该故障报警装置会发出报警信息，从而便于维修人员对故障晶圆运输设备进行维修。然而，相关技术中，维修人员对故障晶圆运输设备进行维修时，需要对故障现场进行勘察，该勘察过程费时费力。需要说明的是，在上述
技术介绍
部分专利技术的信息仅用于加强对本专利技术的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种监控系统及自动物料传送系统...
【技术保护点】
1.一种监控系统，用于监控多个晶圆运输设备，所述晶圆运输设备用于抓放晶圆盒并带动所述晶圆盒沿一轨道移动，其特征在于，所述监控系统包括：/n故障报警装置，所述故障报警装置用于在所述晶圆运输设备发生故障时生成包括标识信息和故障时间的报警信息，每个所述晶圆运输设备具有唯一的标识信息；/n图像采集装置，所述图像采集装置设置于所述晶圆运输设备上，用于采集所述晶圆运输设备沿所述轨道移动的轨道图像信息以及抓放晶圆盒的抓放图像信息；/n第一处理单元，所述第一处理单元设置于所述晶圆运输设备上且存储有所述晶圆运输设备的所述标识信息，所述第一处理单元与所述图像采集装置连接，用于将所述晶圆运输设备...
【技术特征摘要】
1.一种监控系统，用于监控多个晶圆运输设备，所述晶圆运输设备用于抓放晶圆盒并带动所述晶圆盒沿一轨道移动，其特征在于，所述监控系统包括：
故障报警装置，所述故障报警装置用于在所述晶圆运输设备发生故障时生成包括标识信息和故障时间的报警信息，每个所述晶圆运输设备具有唯一的标识信息；
图像采集装置，所述图像采集装置设置于所述晶圆运输设备上，用于采集所述晶圆运输设备沿所述轨道移动的轨道图像信息以及抓放晶圆盒的抓放图像信息；
第一处理单元，所述第一处理单元设置于所述晶圆运输设备上且存储有所述晶圆运输设备的所述标识信息，所述第一处理单元与所述图像采集装置连接，用于将所述晶圆运输设备的所述轨道图像信息和所述抓放图像信息与其标识信息相关联并生成包括所述标识信息、轨道图像信息和抓放图像信息的影像信息；
控制装置，所述控制装置用于接收并储存所述影像信息，并在接收到所述故障报警装置发出的所述报警信息时，根据所述标识信息和所述故障时间整合并存储所述影像信息和所述报警信息。
2.根据权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述监控系统还包括：
无线信号发射器，所述无线信号发射器与所述第一处理单元连接，用于无线发射所述影像信息；
桥接器，与所述无线信号发射器连接，用于无线接收所述影像信息并有线转发所述影像信息。
3.根据权利要求2所述的监控系统，其特征在于，所述监控系统还包括：
集线器，所述集线器的输入端与所述桥接器连接，所述集线器的输出端与所述控制装置连接，用于将所述影像信息有线传输到所述控制装置。
4.根据权利要求1所述的监控系统，其特征在于，所述故障报警装置包括：
故障检测单元，所述故障检测单元用于检测所述晶圆运输设备的运行状态，并根据所述运行状态生成包括故障时间的故障信息；
第二处理单元，所述第二处理单元设置于所述晶圆运输设备上且存储有所述晶圆运输设备的所述标识信息，所述第二处理单元与所述故障检测单元连接，用于将所述晶圆运输设备...
【专利技术属性】
技术研发人员：路通，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34
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