本实用新型专利技术公开了一种UV膜解胶装置，包括安装壳体，安装在安装壳体上且用于晶圆片进出料的第一抽拉装置，第一抽拉装置上设有用于安装晶圆片的安装部，UV膜解胶装置还包括安装在安装壳体上的第二抽拉装置，第二抽拉装置设有散热板，且散热板上安装UV灯源板，在解胶时，UV灯源板向安装部上的晶圆片进行紫外照射用于UV膜解胶；本实用新型专利技术操作便捷，有效提高了解胶效率，同时便于维护更换零部件。
A UV film degumming device
【技术实现步骤摘要】
一种UV膜解胶装置
本技术属于半导体芯片制造领域，具体涉及了一种UV膜解胶装置。
技术介绍
在半导体芯片生产工艺中，在半导体芯片划片之前，要将晶圆片用划片胶膜固定在框架上，在划片工艺完成后，再用UV光源对划片固定胶膜进行照射，以降低划片固定胶膜的粘性，方便晶圆片的剥离，从而便于后续封装工序的顺利生产。具体来说，UV解胶是半导体芯片制造领域中后封装的关键工序，其作用是解除UV膜上的胶水从而方便取下UV膜上的芯片。现有技术中的UV解胶方法通常采用UV解胶灯从静止工件下方进行紫外线照射的方式，该方式需要针对每个半导体晶圆片单独进行一次UV解胶的操作，解胶效率低下，进而制约了半导体芯片整体生产效率的提高。与本技术技术目的最为接近的是授权公告号为CN206650059U的实用心新型专利公开的一种UV解胶机，提出采用抽拉式放料抽屉、固定设置在放料抽屉下方的UV光源，同时设置氮气填充管路结构作为冷却系统。该方案采用固定式UV灯源安装结构，不利于对UV灯源进行更换操作。此外，该技术方案的灯源区域统一采用大面积区域的设计，能源耗费大，导致解胶工序成本较高。
技术实现思路
有鉴于此，本技术的目的在于提供一种UV膜解胶装置，操作便捷，有效提高了解胶效率，同时便于维护更换零部件。本技术采用的技术方案如下：一种UV膜解胶装置，包括安装壳体，安装在所述安装壳体上且用于晶圆片进出料的第一抽拉装置，所述第一抽拉装置上设有用于安装晶圆片的安装部，所述UV膜解胶装置还包括安装在所述安装壳体上的第二抽拉装置，所述第二抽拉装置设有散热板，且所述散热板上安装UV灯源板，在解胶时，所述UV灯源板向所述安装部上的晶圆片进行紫外照射用于UV膜解胶。优选地，所述第二抽拉装置安装位于所述第一抽拉装置的上方或下方。优选地，在解胶时，所述UV灯源板中心与所述安装部上的晶圆片中心重合。优选地，所述第一抽拉装置与所述第二抽拉装置相对于所述安装壳体采用同侧安装分布或不同侧安装分布。优选地，所述第一抽拉装置包括其外侧固定设有第一把手的第一抽拉挡板，且所述第一抽拉挡板内侧固定设有用于安装晶圆片的安装部；同时所述第一抽拉挡板通过第一直线滑轨安装在所述安装壳体上，通过第一直线滑轨可相对所述安装壳体在前后方向上抽拉位移。优选地，所述第二抽拉装置包括其外侧固定设有第二把手的第二抽拉挡板，且所述第二抽拉挡板内侧固定设有散热板，所述散热板上安装UV灯源板；同时所述第二抽拉挡板通过第二直线滑轨安装在所述安装壳体上，通过第二直线滑轨可相对所述安装壳体在前后方向上抽拉位移。优选地，所述UV灯源板包括至少2个且呈同心阵列形状的LED灯珠区域。优选地，所述所述UV灯源板包括3个且呈同心阵列形状的内圆LED灯珠区域、中间圆环LED灯珠区域和外圆环LED灯珠区域。优选地，所述内圆LED灯珠区域的直径为六寸，所述中间圆环LED灯珠区域的最大直径为八寸，所述外圆环LED灯珠区域的最大直径为十二寸。优选地，所述散热板的材质采用铜质或铝质。需要说明的是，本技术采用的UVLED灯珠可以从市场上直接采购可得，其波长设置以及安装连接均处于本领域技术人员的公知常识，本申请不再展开赘述。本技术通过分别设置用于安装晶圆片的第一抽拉装置以及用于安装散热板、UV灯源板的第二抽拉装置，可以分别通过对第一抽拉装置和第二抽拉装置的抽拉动作可以便捷且高效地完成对晶圆片的进出料，以及对散热板、UV灯源板的更换维护，在解胶时，UV灯源板向安装部上的晶圆片进行紫外照射用于UV膜解胶，因而有效提高了解胶效率，同时便于维护更换零部件。由于在半导体芯片制造中，所采用的晶圆片会有不同尺寸规格，本技术还特别优选地针对UV灯源板提出采用至少2个且呈同心阵列形状的LED灯珠区域结构设计，在确保实现对具有不同尺寸规格晶圆片的有效解胶功能下，还显著了减少了能源消耗，而且还减少了不必要的热量产生，降低散热要求。附图说明附图1是本技术具体实施方式下UV膜解胶装置的结构示意图；附图2是本技术具体实施方式下UV灯源板的灯珠区域结构分布图。具体实施方式本技术实施例公开了一种UV膜解胶装置，包括安装壳体，安装在安装壳体上且用于晶圆片进出料的第一抽拉装置，第一抽拉装置上设有用于安装晶圆片的安装部，UV膜解胶装置还包括安装在安装壳体上的第二抽拉装置，第二抽拉装置设有散热板，且散热板上安装UV灯源板，在解胶时，UV灯源板向安装部上的晶圆片进行紫外照射用于UV膜解胶。为了使本
的人员更好地理解本技术中的技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本技术保护的范围。请参见图1所示的一种UV膜解胶装置，包括安装壳体(图未示出)，用于实现安装功能即可，本实施对其形状和结构没有特别限定；在安装壳体上且用于晶圆片进出料的第一抽拉装置10，第一抽拉装置10上设有用于安装晶圆片的安装部11，安装部11上还均匀间隔设有多个用于限位晶圆片的限位卡槽，图1示出了4个限位卡槽11a；在本实施方式中，UV膜解胶装置还包括安装在安装壳体上的第二抽拉装置20，第二抽拉装置20设有散热板21，散热板21的材质采用铜质或铝质；且散热板21上安装UV灯源板22，在解胶时，UV灯源板22向安装部11上的晶圆片进行紫外照射用于UV膜解胶；本实施例通过分别设置用于安装晶圆片的第一抽拉装置10以及用于安装散热板21、UV灯源板22的第二抽拉装置20，可以分别通过对第一抽拉装置10和第二抽拉装置20的抽拉动作可以便捷且高效地完成对晶圆片的进出料，以及对散热板21、UV灯源板22的更换维护，在解胶时，UV灯源板22向安装部11上的晶圆片进行紫外照射用于UV膜解胶，因而有效提高了解胶效率，同时便于维护更换零部件；优选地，第二抽拉装置20安装位于第一抽拉装置10的上方或下方；在解胶时，UV灯源板22中心与安装部11上的晶圆片中心重合；第一抽拉装置10与第二抽拉装置20相对于安装壳体采用同侧安装分布或不同侧安装分布；具体优选地，在本实施方式中，第二抽拉装置20安装位于第一抽拉装置10的下方；第一抽拉装置10与第二抽拉装置20相对于安装壳体采用不同侧安装分布；优选地，在本实施方式中，第一抽拉装置10包括其外侧固定设有第一把手12的第一抽拉挡板13，且第一抽拉挡板13内侧固定设有用于安装晶圆片的安装部11；同时第一抽拉挡板13通过第一直线滑轨14安装在安装壳体上，通过第一直线滑轨14可相对安装壳体在前后方向上抽拉位移；第二抽拉装置20包括其外侧固定设有第二把手23的第二抽拉挡板24，且第二抽拉挡板24内侧固定设有散热板21，散热板21上安装UV本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种UV膜解胶装置，包括安装壳体，安装在所述安装壳体上且用于晶圆片进出料的第一抽拉装置，所述第一抽拉装置上设有用于安装晶圆片的安装部，其特征在于，所述UV膜解胶装置还包括安装在所述安装壳体上的第二抽拉装置，所述第二抽拉装置设有散热板，且所述散热板上安装UV灯源板，在解胶时，所述UV灯源板向所述安装部上的晶圆片进行紫外照射用于UV膜解胶。/n
【技术特征摘要】
1.一种UV膜解胶装置，包括安装壳体，安装在所述安装壳体上且用于晶圆片进出料的第一抽拉装置，所述第一抽拉装置上设有用于安装晶圆片的安装部，其特征在于，所述UV膜解胶装置还包括安装在所述安装壳体上的第二抽拉装置，所述第二抽拉装置设有散热板，且所述散热板上安装UV灯源板，在解胶时，所述UV灯源板向所述安装部上的晶圆片进行紫外照射用于UV膜解胶。
2.根据权利要求1所述的UV膜解胶装置，其特征在于，所述第二抽拉装置安装位于所述第一抽拉装置的上方或下方。
3.根据权利要求1所述的UV膜解胶装置，其特征在于，在解胶时，所述UV灯源板中心与所述安装部上的晶圆片中心重合。
4.根据权利要求1所述的UV膜解胶装置，其特征在于，所述第一抽拉装置与所述第二抽拉装置相对于所述安装壳体采用同侧安装分布或不同侧安装分布。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的UV膜解胶装置，其特征在于，所述第一抽拉装置包括其外侧固定设有第一把手的第一抽拉挡板，且所述第一抽拉挡板内侧固定设有用于安装晶圆片的安装部；同时所述第一抽拉挡板通过第一直线滑轨安装在所述安...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨云龙，吴家炜，胡章坤，
申请(专利权)人：江苏京创先进电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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