【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体器件加工设备领域，尤其是主轴移载装置。
技术介绍
1、在减薄设备中，主轴及其固定件的装卸是重要步骤。
2、如申请公布号为cn106672815a的中国专利技术专利申请所揭示的龙门吊使用于主轴及其固定件吊运的可行设备。但是在实际装卸时，常会存在无法设置龙门吊吊运的情况，并且采用龙门吊吊运存在吊运时主轴容易出现摆动的情况，影响了装卸的稳定性和安全性。
技术实现思路
1、本技术的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种主轴移载装置。
2、本技术的目的通过以下技术方案来实现：
3、主轴移载装置，包括底连接框，所述底连接框上至少形成有一圈第一连接孔和/或一圈第二连接孔，所述底连接框的正上方设置有用于连接叉车的货叉连接架，所述货叉连接架包括至少两根平行的支撑杆以及固定在两根所述支撑杆上的货叉限位板。
4、优选的，所述主轴移载装置中，所述底连接框包括3-6个呈多边形分布的条块，每个所述条块上等间距设置有一组所述第一连接孔和/或等间...
【技术保护点】
1.主轴移载装置，其特征在于：包括底连接框，所述底连接框上至少形成有一圈第一连接孔和/或一圈第二连接孔，所述底连接框的正上方设置有用于连接叉车的货叉连接架，所述货叉连接架包括至少两根平行的支撑杆以及固定在两根所述支撑杆上的货叉限位板。
2.根据权利要求1所述的主轴移载装置，其特征在于：所述底连接框包括3-6个呈多边形分布的条块，每个所述条块上等间距设置有一组所述第一连接孔和/或等间距设置有一组所述第二连接孔。
3.根据权利要求2所述的主轴移载装置，其特征在于：所述第一连接孔为圆孔，所述第二连接孔为长条孔，所述第一连接孔和第二连接孔交替分布于条块...
【技术特征摘要】
1.主轴移载装置，其特征在于：包括底连接框，所述底连接框上至少形成有一圈第一连接孔和/或一圈第二连接孔，所述底连接框的正上方设置有用于连接叉车的货叉连接架，所述货叉连接架包括至少两根平行的支撑杆以及固定在两根所述支撑杆上的货叉限位板。
2.根据权利要求1所述的主轴移载装置，其特征在于：所述底连接框包括3-6个呈多边形分布的条块，每个所述条块上等间距设置有一组所述第一连接孔和/或等间距设置有一组所述第二连接孔。
3.根据权利要求2所述的主轴移载装置，其特征在于：所述第一连接孔为圆孔，所述第二连接孔为长条孔，所述第一连接孔和第二连接孔交替分布于条块上，且所述条块的两端分别设置有第一连接孔。
4.根据权利要求3所述的主轴移载装置，其特征在于：所述条块为四个且它们呈矩形分布，它们固定在承载板的底部，四个条块围成的矩形与所述承载板同心。
5.根据权利要求4所述的主轴移载装置，其特征在于：所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王永强，沈海丽，孙志超，赵锋，
申请(专利权)人：江苏京创先进电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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