硅片冷却设备制造技术

本申请公开了一种硅片冷却设备，包括用于承载硅片的载具、冷却机构和传送机构，冷却机构包括机箱和吹风组件，吹风组件设于机箱内，载具经由传送机构送入机箱，吹风组件向进入机箱的载具吹风，以冷却载具内的硅片。本申请通过传送机构主动将载有硅片载具的送入冷却机构的机箱，在机箱中设有吹风组件，由吹风组件对硅片吹风进行冷却，冷却后，又由传送机构主动将载具转移出来，从而实现高效、自动化的冷却。

Wafer cooling equipment

【技术实现步骤摘要】
硅片冷却设备
本申请涉及硅片制备设备
，具体为一种用于冷却硅片的设备。
技术介绍
硅片，也称为电池片，是太阳能设备的重要组合部分，实际使用时，硅片用于吸取光照的能量并将之转化为电能。为了提高硅片的吸收和转化能力，需要对硅片进行工艺处理。该工艺后，硅片会呈高温状态，需要对硅片进行降温。传统设备中，多由人工取出载有硅片的载具并将之送入冷却设备中，由冷却设备集中对载具进行降温，再通过人工取出载具，效率低。
技术实现思路
本申请的目的在于提供一种高效冷却硅片的自动化设备。为了实现上述技术目的，本申请的技术方案具体如下：一种硅片冷却设备，包括用于承载硅片的载具、冷却机构和传送机构，冷却机构包括机箱和吹风组件，吹风组件设于机箱内，载具经由传送机构送入机箱，吹风组件向进入机箱的载具吹风，以冷却载具内的硅片。进一步地，吹风组件包括多个通风管，各通风管上均开设有多个气孔，通风管连通供气设备，供气设备向通风管供气，气流通过气孔吹出。进一步地，传送机构包括传送驱动组件和传送中转组件，载具置于传送中转组件上，传送驱动组件连接并驱动传送中转组件进出机箱。进一步地，传送驱动组件包括传送驱动件和传送导向件，传送导向件朝向机箱设置，传送中转组件与传送导向件滑动连接，传送驱动件连接并驱动传送中转组件沿传送导向件运动。进一步地，传送驱动件包括电机和设于电机输出端的齿轮，传送中转组件包括与齿轮啮合的齿条和与传送导向件滑动连接的随动件，随动件连接齿条，齿条平行于传送导向件，载具设于齿条上，电机驱动齿轮旋转，齿轮带动齿条及随动件沿传送导向件运动。进一步地，传送导向件包括两根相对、平行设置的导向条，随动件包括两组滚轮，一组滚轮对应滑动设置于一根导向条上，两组滚轮设于齿条相对的两侧，使得齿条挂于两根导向条之间。进一步地，齿条下方设有挂钩，载具上设有挂具，挂具能够套入挂钩，使得载具悬挂于齿条下方。进一步地，传送驱动组件还包括限定载具远离齿条一侧的传送限位件，传送限位件包括两根相对、平行设置的限位条，限位条平行于传送导向件，载具上设有卡设于两根限位条间的随动器，随动器能够沿限位条运动。进一步地，传送驱动组件包括至少两组传送驱动件，两组传送驱动件分别设置在传送导向件延伸方向的两端。进一步地，机箱中设置有多组传送驱动组件，多组传送驱动组件顺次连接、贯穿机箱，传送中转组件携带载具经由多组传送驱动组件顺次传送，穿过机箱。相较于现有技术，本申请通过传送机构主动将载有硅片载具的送入冷却机构的机箱，在机箱中设有吹风组件，由吹风组件对硅片吹风进行冷却，冷却后，又由传送机构主动将载具转移出来，从而实现高效、自动化的冷却。附图说明图1是本申请载具的结构示意图；图2是本申请一实施例的结构示意图。以上附图的附图标记为：100-载具、110-底板、111-定位孔、112-定位销、120-盖板、130-挂具、140-挂钩、200-冷却机构、210-机箱、220-吹风组件、221-通风管、222-气孔、300-传送机构、310-送驱动组件、311-传送驱动件、312-传送导向件、320-传送中转组件、321-齿条、322-随动件、330-传送限位件、331-限位条、332-随动器。具体实施方式为了进一步说明本申请的原理和结构，现结合附图对本申请的实施方式作详细说明。此外，下文中的优选实施方式仅仅是本申请的部分实施例，并不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，都属于本申请的保护范围。在本申请的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、左、右、上、下”、“横向、竖向、垂直、竖直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术保护范围的限制。方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本申请的范围。以下描述中的坐标均采用：以图1中左右为左右，上下为上下，垂直纸面向外为前，反之为后。如图1、图2所示，本申请揭示了一种硅片冷却设备，包括用于承载硅片的载具100，以及冷却机构200和传送机构300。其中，冷却机构200包括机箱210和吹风组件220，吹风组件220设于机箱210内，载具100经由传送机构300送入机箱210，吹风组件220向进入机箱210的载具100吹风，以冷却载具100内的硅片。具体地，如图1所示，载具100包括底板110和盖板120，底板110上间隔设置有多个容置腔，各容置腔均可放置一硅片，盖板120盖在底板110上，能够固定各硅片。为了方便处理及冷却硅片，盖板120对应各容置腔的位置开口，使得盖板120盖住底板110后，硅片大部分能够暴露在开口中。更具体地，盖板120上开口小于硅片，使得盖板120部分覆盖于硅片，以固定硅片于容置腔中。优选地，由于硅片为规则的四边形，盖板120上，开口对应四边形四角的位置向内凸进，由此，盖板120能盖住硅片的四个角，稳定固定硅片的同时，保证硅片绝大部分暴露在开口内。进一步地，为了保证盖板120准确地盖紧底板110和各硅片，底板110和盖板120上对应设置有定位孔111和定位销112，盖板120盖向底板110时，定位销112插入对应的定位孔111中，实现底板110和盖板120的相对固定。更进一步地，由于载具100载有多个硅片，为了更好地固定各硅片在载具100内，载具100上设有多组定位孔111和定位销112，分布在各容置腔及对应的开口周围。需要说明的是，可以是底板110上设有定位孔111、盖板120上对应设有定位销112；也可以是盖板120上设有定位孔111、底板110上对应设有定位销112；还可以是底板110上设有定位孔111和定位销112，盖板120上设有与底板110上定位孔111相对的定位销112、及与底板110上定位销112相对的定位孔111。更进一步地，为了保证装置的使用寿命，盖板120多采用金属制成。由此，底板110内设置磁铁，能够更好地固定盖板120于底板110上。在本申请一实施例中，吹风组件220包括多根通风管221，各通风管221上均开设有多个气孔222。通风管221与外部的供气设备(未图示)连通，供气设备能够向这些通风管221供气，气流经由各个气孔222流出，以冷却载具100及硅片。需要说明的是，供气设备既可以提供空气，也可以提供冷气；提供空气时，由于空气温度低于载具100及其内硅片的温度，能够散热，同时，吹风组件220朝向载具100吹气，可以加速气流流通，便于实现降温冷却；优选地，供气设备提供冷气，冷气通过通风管221、气孔222吹向载具100，也吹入机箱210内，能本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片冷却设备，包括用于承载硅片的载具(100)，其特征在于：还包括冷却机构(200)和传送机构(300)，所述冷却机构(200)包括机箱(210)和吹风组件(220)，所述吹风组件(220)设于所述机箱(210)内，所述载具(100)经由所述传送机构(300)送入所述机箱(210)，所述吹风组件(220)向进入所述机箱(210)的所述载具(100)吹风，以冷却所述载具(100)内的所述硅片。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片冷却设备，包括用于承载硅片的载具(100)，其特征在于：还包括冷却机构(200)和传送机构(300)，所述冷却机构(200)包括机箱(210)和吹风组件(220)，所述吹风组件(220)设于所述机箱(210)内，所述载具(100)经由所述传送机构(300)送入所述机箱(210)，所述吹风组件(220)向进入所述机箱(210)的所述载具(100)吹风，以冷却所述载具(100)内的所述硅片。


2.如权利要求1所述的硅片冷却设备，其特征在于：所述吹风组件(220)包括多个通风管(221)，所述通风管(221)上开设有多个气孔(222)，所述通风管(221)连通供气设备，所述供气设备向所述通风管(221)供气，气流通过所述气孔(222)吹出。


3.如权利要求1所述的硅片冷却设备，其特征在于：所述传送机构(300)包括传送驱动组件(310)和传送中转组件(320)，所述载具(100)置于所述传送中转组件(320)上，所述传送驱动组件(310)连接并驱动所述传送中转组件(320)进出所述机箱(210)。


4.如权利要求3所述的硅片冷却设备，其特征在于：所述传送驱动组件(310)包括传送驱动件(311)和传送导向件(312)，所述传送导向件(312)朝向所述机箱(210)设置，所述传送中转组件(320)与所述传送导向件(312)滑动连接，所述传送驱动件(311)连接并驱动所述传送中转组件(320)沿所述传送导向件(312)运动。


5.如权利要求4所述的硅片冷却设备，其特征在于：所述传送驱动件(311)包括电机和设于所述电机输出端的齿轮，所述传送中转组件(320)包括与所述齿轮啮合的齿条(321)和与所述传送导向件(312)滑动连接的随动件(322)，所述随动件(322)连接所述齿条(321)，所述齿条(321)平行于所述传送导向件(312)，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：无锡先导智能装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32