包括垂直偏移、水平重叠的蛙腿连杆的双叶片机器人和包括其的系统和方法技术方案

公开了一种具有重叠的蛙腿连杆的双叶片机器人。机器人包括蛙腿构造的第一臂和第二臂，第一臂和第二臂彼此共面且每个可旋转地耦接到第一叶片；和蛙腿构造的第三臂和第四臂，第三臂和第四臂彼此共面且每个可旋转地连接到第二叶片，其中第三臂和第四臂从第一臂和第二臂垂直偏移。第三臂和第四臂被构造成在当第一叶片和第二叶片处于缩回位置时与第一臂和第二臂的至少一部分重叠。提供了操作机器人的方法和包括机器人的电子装置处理系统，和许多其他方面。

Two blade robot including vertical offset and horizontal overlapping frog leg link and its system and method

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】包括垂直偏移、水平重叠的蛙腿连杆的双叶片机器人和包括其的系统和方法相关申请本申请案主张于2017年9月19日提交的第15/708,806号，名称为“DUAL-BLADEROBOTINCLUDINGVERTICALLYOFFSETHORIZONTALLYOVERLAPPINGFROG-LEGLINKAGESANDSYSTEMSANDMETHODSINCLUDINGSAME(包括垂直偏移、水平重叠的蛙腿连杆的双叶片机器人和包括其的系统和方法)”(代理人案卷号25481/USA)的美国专利申请的优先权，其为了所有的目的而通过引用其全文的方式并入本文。
本公开内容的实施方式关于电子装置制造，且更具体地关于适于在腔室之间传输基板的机器人。
技术介绍
电子装置制造系统可包括具有多个腔室(诸如处理腔室和一个或多个装载锁定腔室)的处理工具。这样的处理腔室和一个或多个装载锁定腔室可包括在群集工具中，例如，其中基板可在相应的处理腔室和一个或多个装载锁定腔室之间传送。这些系统可采用一个或多个机器人在各个腔室之间移动基板，且在一些实施方式中，一个或多个机器人可驻留在传送腔室中。在这样的运动期间，基板可支撑在一个或多个机器人的终端受动器(有时称为“叶片”)上。电子装置制造系统(诸如群集工具)的处理腔室可用以在基板(如，含硅晶片、图案化和未图案化的掩模晶片、玻璃板、含二氧化硅的制品或类似者)上实施任何数量的处理，诸如沉积、氧化、氮化、蚀刻、抛光、清洁、光刻、计量或类似者。在这样的处理和/或群集工具内，例如，多个腔室可围绕传送腔室而分布。机器人可容纳在传送腔室内，且可被构造并适于在各个腔室之间传送基板。例如，传送可在处理腔室之间，或在处理腔室和一个或多个装载锁定腔室之间。狭缝阀可位于每个相应腔室的入口处，以允许每个腔室被环境隔离。改善处理和/或群集工具操作的操作和/或效率的机器人设备、系统和方法设计是有益的。
技术实现思路
在第一示例实施方式中，一种双叶片机器人包括：耦接到第一叶片并被构造为在第一方向上延伸第一叶片的第一蛙腿连杆；耦接到第二叶片并被构造为在第二方向上延伸第二叶片的第二蛙腿连杆，其中第二蛙腿连杆从第一蛙腿连杆垂直偏移，使得当第一叶片和第二叶片各自处于缩回位置时，第二蛙腿连杆与第一蛙腿连杆重叠。在第二示例实施方式中，一种群集工具包括：传送腔室；耦接到传送腔室的装载锁定装置；耦接到传送腔室的处理腔室和设置在传送腔室内的双叶片机器人，双叶片机器人具有第一蛙腿连杆和第二蛙腿连杆，其中第二蛙腿连杆从第一蛙腿连杆垂直偏移，且当第一蛙腿连杆和第二蛙腿连杆各自处于缩回位置时，第二蛙腿连杆与第一蛙腿连杆重叠。在第三示例实施方式中，一种在第一腔室和第二腔室之间传送基板的方法包括以下步骤：延伸第一蛙腿连杆，使得耦接到第一蛙腿连杆的双叶片机器人的第一叶片定位在第一腔室中；从第一腔室取回基板；和缩回第一蛙腿连杆，使得第一叶片离开第一腔室，其中基板在第一叶片上，其中在从第一腔室缩回第一蛙腿连杆之后，第一蛙腿连杆与双叶片机器人的第二蛙腿连杆重叠。在替代的示例实施方式中，机器人包括：具有第一轴的毂；第一构件和第二构件，第一构件和第二构件的每个可旋转地耦接到毂并可绕第一轴旋转；第一臂，具有第一端和第二端，第一臂的第一端可旋转地耦接到第一构件并可绕第二轴旋转，第一臂的第二端可旋转地耦接到第一叶片并可绕第三轴旋转；第二臂，具有第一端和第二端，第二臂的第一端可旋转地耦接到第二构件并可绕第四轴旋转，第二臂的第二端可旋转地耦接到第一叶片并可绕第五轴旋转；第三臂，具有第一端和第二端，第三臂的第一端可旋转地耦接到第二构件并可绕第六轴旋转，第三臂的第二端可旋转地耦接到第二叶片并可绕第三轴旋转；和第四臂，具有第一端和第二端，第四臂的第一端可旋转地耦接到第一构件并可绕第七轴旋转，第四臂的第二端可旋转地耦接到第二叶片并可绕第五轴旋转，其中第一臂与第二臂名义上共面，第三臂与第四臂名义上共面，且第三臂和第四臂分别从第一臂和第二臂垂直偏移。在另一替代的示例实施方式中，一种系统包括：界定容积的第一腔室；设置在由第一腔室界定的容积内的双叶片机器人，双叶片机器人包括：具有第一轴的毂；第一构件和第二构件，第一构件和第二构件的每个可旋转地耦接到中心的毂并可绕第一轴旋转；第一臂，具有第一端和第二端，第一臂的第一端在第二轴处可旋转地耦接到第一构件，第一臂的第二端在第三轴处可旋转地耦接到第一叶片；第二臂，具有第一端和第二端，第二臂的第一端在第四轴处可旋转地耦接到第二构件，第二臂的第二端在第五轴处可旋转地耦接到第一叶片；第三臂，具有第一端和第二端，第三臂的第一端在第六轴处可旋转地耦接到第二构件，第三臂的第二端在第三轴处可旋转地耦接到第二叶片；第四臂，具有第一端和第二端，第四臂的第一端在第七轴处可旋转地耦接到第一构件，第四臂的第二端在第五轴处可旋转地耦接到第二叶片，其中第一臂与第二臂名义上共面，第三臂与第四臂名义上共面，且第三臂和第四臂分别从第一臂和第二臂垂直偏移。在又一替代的示例实施方式中，一种群集工具包括：传送腔室；耦接到传送腔室的装载锁定装置；耦接到传送腔室的处理腔室；设置在传送腔室内的双叶片晶片处理机器人，双叶片晶片处理机器人具有蛙腿交叉连杆，其中蛙腿交叉连杆包括：第一臂，具有第一端和第二端，第一臂的第一端可旋转地耦接到第一构件并可绕第一轴旋转，第一臂的第二端可旋转地耦接到第一叶片并可绕第二轴旋转；第二臂，具有第一端和第二端，第二臂的第一端可旋转地耦接到第二构件并可绕第三轴旋转，第二臂的第二端可旋转地耦接到第一叶片并可绕第四轴旋转；第三臂，具有第一端和第二端，第三臂的第一端可旋转地耦接到第二构件并可绕第五轴旋转，第三臂的第二端可旋转地耦接到第二叶片并可绕第二轴旋转；第四臂，具有第一端和第二端，第四臂的第一端可旋转地耦接到第一构件并可绕第六轴旋转，第四臂的第二端可旋转地耦接到第二叶片并可绕第四轴旋转，其中第一臂与第二臂名义上共面，第三臂与第四臂名义上共面，且第三臂和第四臂分别从第一臂和第二臂垂直偏移。根据本公开内容的这些和其他实施方式提供了许多其他特征。根据以下的实施方式、附随的附图和随附的权利要求书，本公开内容的实施方式的其他特征和方面将变得更加显而易见。附图说明图1A显示了根据一个或多个实施方式的双叶片机器人的侧视图。图1B显示了根据一个或多个实施方式的双叶片机器人的等距视图。图1C显示了根据一些实施方式的处于缩回位置的双叶片机器人的侧视图。图1D显示了根据一些实施方式的双叶片机器人的分解图。图2A显示了根据一个或多个实施方式的双叶片机器人的顶视平面图。图2B显示了根据一个或多个实施方式的双叶片机器人的顶视平面图。图3显示了根据一个或多个实施方式的包括双叶片机器人的电子装置处理系统。图4显示了描绘根据一个或多个实施方式的在第一腔室和第二腔室之间传送基板的方法的流程图。具体实施方式根据本公开内容的各种实施方式提供了一种双本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双叶片机器人，包含：/n第一蛙腿连杆，耦接到第一叶片并构造成在第一方向上延伸该第一叶片；/n第二蛙腿连杆，耦接到第二叶片并构造成在第二方向上延伸该第二叶片；/n其中该第二蛙腿连杆从该第一蛙腿连杆垂直偏移，使得当该第一叶片和该第二叶片各自处于缩回位置时，该第二蛙腿连杆与该第一蛙腿连杆重叠。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170919 US 15/708,8061.一种双叶片机器人，包含：
第一蛙腿连杆，耦接到第一叶片并构造成在第一方向上延伸该第一叶片；
第二蛙腿连杆，耦接到第二叶片并构造成在第二方向上延伸该第二叶片；
其中该第二蛙腿连杆从该第一蛙腿连杆垂直偏移，使得当该第一叶片和该第二叶片各自处于缩回位置时，该第二蛙腿连杆与该第一蛙腿连杆重叠。


2.如权利要求1所述的双叶片机器人，其中该第一方向和该第二方向是相反的方向。


3.如权利要求1所述的双叶片机器人，进一步包含：
毂；和
第一构件，可旋转地耦接到该毂；
其中该第一蛙腿连杆在第一位置处可旋转地耦接到该第一构件，且该第二蛙腿连杆在第二位置处可旋转地耦接到该第一构件。


4.如权利要求1所述的双叶片机器人，进一步包含：
毂，具有第一轴；和
第一构件，可旋转地耦接到该毂并围绕该第一轴是可旋转的；
第二构件，可旋转地耦接到该毂并围绕该第一轴是可旋转的；
其中该第一蛙腿连杆包含：
第一臂，具有第一端和第二端，该第一臂的该第一端可旋转地耦接到该第一构件并围绕第二轴是可旋转的，该第一臂的该第二端可旋转地耦接到该第一叶片并为围绕第三轴是可旋转；和
第二臂，具有第一端和第二端，该第二臂的该第一端可旋转地耦接到该第二构件并围绕第四轴是可旋转的，该第二臂的该第二端可旋转地耦接到该第一叶片并可围绕第五轴是可旋转的；
其中该第二蛙腿连杆包含：
第三臂，具有第一端和第二端，该第三臂的该第一端可旋转地耦接到该第二构件并围绕第六轴是可旋转的，该第三臂的该第二端可旋转地耦接到该第二叶片并围绕该第三轴是可旋转的；和
第四臂，具有第一端和第二端，该第四臂的该第一端可旋转地耦接到该第一构件并围绕第七轴是可旋转的，该第四臂的该第二端可旋转地耦接到该第二叶片并围绕该第五轴是可旋转的；
其中该第一臂与该第二臂名义上共面，该第三臂与该第四臂名义上共面，且该第三臂和第四臂分别从该第一臂和该第二臂垂直偏移。


5.如权利要求4所述的双叶片机器人，其中该第一叶片被构造为在该第一方向上从该毂向外延伸，该第二叶片被构造为在不同于该第一方向的该第二方向上从该毂向外延伸，且该第一叶片和该第二叶片名义上共面。


6.如权利要求4所述的双叶片机器人，其中该第一叶片被构造为朝向该毂向内缩回，且该第二叶片被构造为朝向该毂向内缩回。


7.如权利要求6所述的双叶片机器人，其中该第三臂被构造为在当该第一叶片和该第二叶片均处于缩回位置时与该第一臂重叠，且该第四臂被构造为在当该第一叶片和该第二叶片均处于该缩回位置时与该第二臂重叠。


8.如权利要求4所述的双叶片机器人，其中该第一臂具有与该第二轴相邻的弧形部分和与该第三轴相邻的笔直部分，该第二臂具有与该第四轴相邻的弧形部分和与该第五轴相邻的笔直部分，该第三臂...

【专利技术属性】
技术研发人员：保罗·Z·沃思，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US