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本发明涉及自动搬运技术领域，提出一种监控系统，包括：故障报警装置、图像采集装置、第一处理单元、控制装置。故障报警装置用于在晶圆运输设备发生故障时生成包括标识信息和故障时间的报警信息；图像采集装置设置于晶圆运输设备上，用于采集轨道图像信息和抓...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

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