一种输送系统技术方案

本发明专利技术涉及外延设备技术领域，尤其涉及一种输送系统，包括真空腔室和沿被载物的输送方向设置的多个输送装置，各输送装置分别包括驱动部件、传动部件和支撑部件，传动部件包括转动轴及回转密封套，转动轴穿过真空腔室侧壁进入真空腔室内部，支撑部件设置于转动轴位于真空腔室内部的一端，支撑部件用于支撑被载物，驱动部件设置于转动轴位于真空腔室外部的一端，驱动部件用于驱动转动轴转动输送被载物，回转密封套套在转动轴位于真空腔室外的部分，并且回转密封套位于真空腔室与驱动部件之间。本发明专利技术可实现不含油的真空密封，避免真空环境油液微量挥发对真空环境造成污染，不易磨损老化失效，可减少后期维护工作，达到密封性能要求和环境使用要求。

A conveying system

【技术实现步骤摘要】
一种输送系统
本专利技术涉及外延设备
，尤其涉及一种输送系统。
技术介绍
MOCVD(金属有机化合物化学气相沉淀)是在气相外延生长(VPE)的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V主族、Ⅱ-Ⅵ副族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。为了让MOCVD设备生产自动化，在其工艺腔室的真空高温环境中的自动化输送就是要达到以下的要求：由于工艺生产过程中，需要使用许多有毒气体，腔室气密性必须良好，所以对输送动力传输部分有较高的密封性能要求；工艺需要生产用的载板要在腔室内进行输送，停止位置准确；MOCVD加热过程中由于存在高热辐射，要求输送机构腔室内部分耐高温，而且抗氧化腐蚀能力好。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术要解决的技术问题是解决现有的输送设备在真空环境下难以达到密封要求，气密性不良的问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种输送系统，包括真空腔室和沿被载物的输送方向设置的多个输送装置，各所述输送装置分别包括驱动部件、传动部件和支撑部件，所述传动部件包括转动轴及回转密封套，所述转动轴穿过所述真空腔室侧壁进入所述真空腔室内部，所述支撑部件设置于所述转动轴位于所述真空腔室内部的一端，所述支撑部件用于支撑所述被载物，所述驱动部件设置于所述转动轴位于所述真空腔室外部的一端，所述驱动部件用于驱动所述转动轴转动输送所述被载物，所述回转密封套套在所述转动轴位于所述真空腔室外的部分，并且所述回转密封套位于所述真空腔室与所述驱动部件之间。其中，所述回转密封套为磁流体管，所述磁流体管密封且与所述转动轴通过轴承连接。其中，所述转动轴位于所述真空腔室与所述磁流体管之间的部分套设波纹管，所述波纹管一端与所述真空腔室侧壁连接，另一端与所述磁流体管连接。其中，所述支撑部件包括滚轮，所述滚轮安装于所述转动轴的端部且与所述转动轴同轴设置，所述滚轮由耐高温耐腐蚀材料制成。其中，还包括冷却装置，所述冷却装置包括旋转接头和冷却源，所述旋转接头连接于所述转动轴位于所述真空腔室外的一端，并且所述旋转接头位于所述驱动部件外侧，所述转动轴的内部与所述旋转接头的内部形成冷却液回路，所述冷却液回路的进液口与出液口设置于所述旋转接头内部，所述进液口与所述冷却源连接。其中，所述转动轴内设有第一冷却孔，所述旋转接头内具有第二冷却孔，所述第一冷却孔与第二冷却孔相连通，且所述第一冷却孔与所述第二冷却孔的内部由冷却液管贯穿，所述冷却液管内腔形成进液通道，所述冷却液管管壁与所述第一冷却孔孔壁之间及所述冷却液管与所述第二冷却孔孔壁之间形成出液通道，所述进液口与位于所述第二冷却孔内的所述冷却液管的管端连通，所述出液口与所述出液通道连通。其中，还包括检测装置，所述检测装置包括多组位置传感器，多组所述位置传感器沿所述被载物的输送方向依次设置于所述真空腔室的侧壁上，以检测所述被载物在所述输送装置上到达的位置。其中，所述位置传感器在所述真空腔室沿所述被载物输送方向的进口和出口处各设置一组，所述位置传感器还设置在相邻的两个所述输送装置之间，每组所述位置传感器包括两个对射光电传感器，两个所述对射光电传感器分别位于所述真空腔室的两个侧壁上且相对设置。其中，所述检测装置还包括测距传感器，所述测距传感器设置于所述真空腔室沿所述被载物输送方向的出口处，设置高度与所述被载物齐平。其中，所述驱动部件包括伺服电机、传动带和皮带轮，所述皮带轮与所述转动轴同轴设置于所述转动轴上，所述伺服电机的输出端通过所述传动带与一个所述皮带轮连接，相邻的两个所述皮带轮通过所述传动带连接。其中，所述输送装置在所述真空腔室的两侧对称设置。(三)有益效果本专利技术的上述技术方案具有如下优点：本专利技术的输送系统可适用于真空环境下的输送作业，被载物通过输送装置在真空腔室内进行输送运动，驱动部件驱动转动轴转动，转动轴伸入真空腔室连接支撑部件，从而带动支撑部件转动，被载物放置在支撑部件上，通过支撑部件的转动向前输送。由于工艺生产过程中，需要使用许多有毒气体，真空腔室气密性必须良好，所以本专利技术输送装置采用回转密封套对伸入真空腔室的转动轴进行密封，回转密封套可实现不含油的真空密封，避免在真空环境油液微量挥发对真空环境造成污染，不易磨损老化失效，寿命长，可减少后期维护工作，达到输送动力传输部分较高的密封性能要求和环境使用要求，解决在输送系统在真空环境中传输的密封以及适用调整的问题。除了上面所描述的本专利技术解决的技术问题、构成的技术方案的技术特征以及有这些技术方案的技术特征所带来的优点之外，本专利技术的其他技术特征及这些技术特征带来的优点，将结合附图作出进一步说明。附图说明图1是本专利技术实施例输送系统的俯视图；图2是本专利技术实施例输送系统的侧视图；图3是本专利技术实施例输送系统的真空腔室内的结构示意图；图4是本专利技术实施例输送系统的输送装置的结构示意图；图5是本专利技术实施例输送系统的冷却装置的结构示意图；图6是本专利技术实施例输送系统的输送装置的结构示意图。图中：1：真空腔室；2：输送装置；3：冷却装置；4：检测装置；5：被载物；21：驱动部件；22：传动部件；23：支撑部件；31：旋转接头；32：冷却液管；41：位置传感器；42：测距传感器；211：伺服电机；212：传动带；213：皮带轮；221：转动轴；222：波纹管；223：回转密封套；311：第二冷却孔；312：进液口；313：出液口；411：对射光电传感器；2211：第一冷却孔。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。此外，在本专利技术的描述中，除非另有说明，“多个”、“多根”、“多组”的含义是两个或两个以上，“若干个”、“若干根”、“若干组”的含义是一个或一个以上。如图1、图4和图6所示，本专利技术实施例提供的输送系统，包括真空腔室1和沿被载物5的输送方向设置的多个输送装置2，各输送装置2分别包括驱动部件21、传动部件22和支撑部件23，传动部件22包括转动轴221及回转密封套223，转动轴221穿过真空腔本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种输送系统，其特征在于：包括真空腔室和沿被载物的输送方向设置的多个输送装置，各所述输送装置分别包括驱动部件、传动部件和支撑部件，所述传动部件包括转动轴及回转密封套，所述转动轴穿过所述真空腔室侧壁进入所述真空腔室内部，所述支撑部件设置于所述转动轴位于所述真空腔室内部的一端，所述支撑部件用于支撑所述被载物，所述驱动部件设置于所述转动轴位于所述真空腔室外部的一端，所述驱动部件用于驱动所述转动轴转动输送所述被载物，所述回转密封套套在所述转动轴位于所述真空腔室外的部分，并且所述回转密封套位于所述真空腔室与所述驱动部件之间。/n

【技术特征摘要】
1.一种输送系统，其特征在于：包括真空腔室和沿被载物的输送方向设置的多个输送装置，各所述输送装置分别包括驱动部件、传动部件和支撑部件，所述传动部件包括转动轴及回转密封套，所述转动轴穿过所述真空腔室侧壁进入所述真空腔室内部，所述支撑部件设置于所述转动轴位于所述真空腔室内部的一端，所述支撑部件用于支撑所述被载物，所述驱动部件设置于所述转动轴位于所述真空腔室外部的一端，所述驱动部件用于驱动所述转动轴转动输送所述被载物，所述回转密封套套在所述转动轴位于所述真空腔室外的部分，并且所述回转密封套位于所述真空腔室与所述驱动部件之间。


2.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于：所述回转密封套为磁流体管，所述磁流体管密封且与所述转动轴通过轴承连接。


3.根据权利要求2所述的输送系统，其特征在于：所述转动轴位于所述真空腔室与所述磁流体管之间的部分套设波纹管，所述波纹管一端与所述真空腔室侧壁连接，另一端与所述磁流体管连接。


4.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于：所述支撑部件包括滚轮，所述滚轮安装于所述转动轴的端部且与所述转动轴同轴设置，所述滚轮由耐高温耐腐蚀材料制成。


5.根据权利要求1所述的输送系统，其特征在于：还包括冷却装置，所述冷却装置包括旋转接头和冷却源，所述旋转接头连接于所述转动轴位于所述真空腔室外的一端，并且所述旋转接头位于所述驱动部件外侧，所述转动轴的内部与所述旋转接头的内部形成冷却液回路，所述冷却液回路的进液口与出液口设置于所述旋转接头内部，所述进液口与所述冷却源连接。


6.根据权利要求5所述的输送系统...

【专利技术属性】
技术研发人员：张进秋，
申请(专利权)人：深圳市永盛隆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44