外延生长设备、作业控制方法和装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种外延生长设备、作业控制方法和装置。其中，该方法包括：确定目标载具的目标作业进入执行状态，其中，目标作业为目标载具对应的工艺，目标作业进入执行状态是外延生长设备开始对目标载具执行工艺；获取作业取消指令，作业取消指令是针对目标载具的作业执行取消指令；根据作业取消指令，控制目标作业禁止对目标载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，并将目标载具按照预设路径传输至卸载工位，一项或多项预设的作业任务为目标作业中的一项或多项，其中，一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却。本发明专利技术解决了任意一个载具的作业停止后难以自动传输回卸载工位，导致阻塞其它载具的作业的技术问题，提高工作效率。

Epitaxial growth equipment, operation control method and device

【技术实现步骤摘要】
外延生长设备、作业控制方法和装置
本专利技术涉及流水线作业领域，具体而言，涉及一种外延生长设备、作业控制方法和装置。
技术介绍
随着化合物半导体器件(如GaAsMMIC、InPMMIC以及GaN蓝光LED)市场的不断扩大，金属有机物化学气相沉积(Metal-OrganicChemicalVaporDeposition，MOCVD)系统的需求量不断增长。MOCVD设备几乎可以生长所有化合物及合金半导体，并可以进行大规模生产。GaAs薄膜太阳能电池的MOCVD生长工艺是利用金属有机化合物作为源物质的一种CVD工艺，通常，一个完整的GaAs薄膜太阳能电池外延层生长工艺作业主要承担三个任务，分别是传输模块中的加热、生长工艺模块中的外延层生长和传输模块中的冷却。因此，在整个生长工艺作业执行过程中，衬底随着载具而传输，需要依次经过以下工位：自动装载衬底(SubstrateLoading)、自动装载载具(CarrierLoading)、加热(TLLHeating)、外延层生长(PMProcessing)、冷却(TLLCooling)、自动卸载载具(CarrierUnloading)和自动卸载衬底(SubstrateUnloading)，如附图1所示。受GaAs薄膜太阳能电池制造设备结构特点所致，当载具传输按照固定路径的流水线方向进行时，如果流水线发生故障，则需要停止作业以对流水线进行调整。在停止作业之后，工位上的载具自然无法及时传出，导致后面的载具无法传入，与载具对应的作业调度也会有同样的困扰。现有的作业调度控制模型中，当用户向某一正在运行的作业发送停止操作指令后，作业将进入停止状态，该状态下的作业不能回到执行状态，并且模型中缺少一种能够让作业终止执行任务，但能够自动将载具传输回自动卸载载具工位的方式，就上述设备结构而言，用户只能手动将多个载具依次传输回自动卸载载具工位，耗时费力，降低工作效率。针对现有技术中任意一个载具的作业停止后难以自动传输回卸载工位，导致阻塞其它载具的作业的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现思路
本专利技术实施例提供了一种外延生长设备、作业控制方法和装置，以至少解决任意一个载具的作业停止后难以自动传输回卸载工位，导致阻塞其它载具的作业的技术问题。根据本专利技术实施例的一个方面，提供了一种外延生长设备的作业控制方法，包括：确定目标载具的目标作业进入执行状态，其中，目标作业为目标载具对应的工艺，目标作业进入执行状态是外延生长设备开始对目标载具执行工艺；获取作业取消指令，作业取消指令是针对目标载具的作业执行取消指令；根据作业取消指令，控制目标作业禁止对目标载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，并将目标载具按照预设路径传输至卸载工位，一项或多项预设的作业任务为目标作业中的一项或多项，其中，一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却。上述方法对现有的作业调度控制模型进行了优化设计，用户通过作业取消指令即可取消某个作业中待执行的任务，但保留该作业按照固定路径传输载具的功能，这样就不会阻塞作业队列中后序待执行的作业，避免了用户只能通过手动方式将多个载具依次传输回卸载工位，提高了工作效率。进一步地，获取故障消息，其中，故障消息用于表征加热腔室、外延生长腔室或冷却腔室中的任意一个或多个载具发生故障；确定外延生长设备中包括的载具；根据故障消息，禁止对外延生长设备中包括的载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却；外延生长设备还根据故障消息将外延生长设备中包括的载具按照预设路径传输至卸载工位。进一步地，在根据作业取消指令，控制目标作业禁止对目标载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，并将目标载具按照预设路径传输至卸载工位之前，获取目标载具的标识信息，其中，目标载具的标识信息与目标载具一一对应；将目标载具所处的腔室信息与目标载具的标识信息相关联。上述标识信息包括目标作业正在执行的任务，所处的腔室，可供工作人员追溯载具上衬底物料的信息，知晓生长工艺的哪一环节出现的问题最多，作为后续改进方向的参考。进一步地，外延生长设备为砷化镓薄膜太阳能电池制造设备。进一步地，外延生长设备包括加热腔室、外延生长腔室和冷却腔室，根据取消指令控制接收到取消指令的目标载具停止执行作业任务；将外延生长设备的加热腔室中的目标载具，或，外延生长腔室中的目标载具，或，冷却腔室中的目标载具分别传输至预设的卸载工位。目标载具可以按照固定路径传输至卸载工位，这样就不会阻塞作业队列中后序载具执行作业，保证了流水线的畅通。根据本专利技术实施例的另一个方面，还提供了一种外延生长设备，包括：加热腔室、冷却腔室、外延生长腔室和控制系统，其中，加热腔室用于对载具中的衬底进行加热，外延生长腔室用于对载具中加热完成后的衬底进行外延生长，冷却腔室用于对载具中外延生长完成后的衬底进行冷却，控制系统用于对加热腔室、冷却腔室和生长腔室进行控制；控制系统，还用于获取作业取消指令，根据作业取消指令，控制目标作业停止对目标载具上的物料执行一项或多项预设的作业任务，并将目标载具按照预设路径传输至卸载工位，一项或多项预设的作业任务为目标作业中的一项或多项，其中，一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却，作业取消指令是针对目标载具的作业执行取消指令。上述设备对现有的作业调度控制模型进行了优化设计，用户通过取消指令即可取消某个作业中待执行的任务，但保留该作业按照固定路径传输载具的功能，这样就不会阻塞作业队列中后序待执行的作业，避免了用户只能通过手动方式将多个载具依次传输回卸载工位，提高了工作效率。根据本专利技术实施例的另一个方面，还提供了一种外延生长设备的作业控制装置，包括：确定模块，用于确定目标载具的目标作业进入执行状态，其中，目标作业为目标载具对应的工艺，目标作业进入执行状态是外延生长设备开始对目标载具执行工艺；检测模块，用于获取作业取消指令，作业取消指令是针对目标载具的作业执行取消指令；控制模块，用于根据作业取消指令，控制目标作业禁止对目标载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，并将目标载具按照预设路径传输至卸载工位，一项或多项预设的作业任务为目标作业中的一项或多项，其中，一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却。进一步地，控制模块包括：第一获取子模块，用于获取故障消息，其中，故障消息用于表征加热腔室、外延生长腔室或冷却腔室中的任意一个或多个载具发生故障；确定子模块，用于确定所述外延生长设备中包括的载具；禁止子模块，用于根据所述故障消息，禁止对所述外延生长设备中包括的载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，所述一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却；第一传输子模块，用于所述外延生长设备还根据所述故障消息将所述外延生长设备中包括的载具按照预设路径传输至卸载工位。进一步地，控制模块还包括：第二获取子模块，用于获取目标载具的标识信息，其中，目标载具的标识信息与目标载具一一对应；关联模块，用于将目标载具所处的腔室信息与目标载具的标识信息相本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种外延生长设备的作业控制方法，其特征在于，包括：/n确定目标载具的目标作业进入执行状态，其中，所述目标作业为所述目标载具对应的工艺，所述目标作业进入执行状态是外延生长设备开始对所述目标载具执行工艺；/n获取作业取消指令，所述作业取消指令是针对所述目标载具的作业执行取消指令；/n根据所述作业取消指令，控制所述目标作业禁止对所述目标载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，并将所述目标载具按照预设路径传输至卸载工位，所述一项或多项预设的作业任务为所述目标作业中的一项或多项，其中，所述一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却。/n

【技术特征摘要】
1.一种外延生长设备的作业控制方法，其特征在于，包括：
确定目标载具的目标作业进入执行状态，其中，所述目标作业为所述目标载具对应的工艺，所述目标作业进入执行状态是外延生长设备开始对所述目标载具执行工艺；
获取作业取消指令，所述作业取消指令是针对所述目标载具的作业执行取消指令；
根据所述作业取消指令，控制所述目标作业禁止对所述目标载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，并将所述目标载具按照预设路径传输至卸载工位，所述一项或多项预设的作业任务为所述目标作业中的一项或多项，其中，所述一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，控制所述目标作业禁止对所述目标载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，并将所述目标载具按照预设路径传输至卸载工位，包括：
获取故障消息，其中，所述故障消息用于表征加热腔室、外延生长腔室或冷却腔室中的任意一个或多个载具发生故障；
确定所述外延生长设备中包括的载具；
根据所述故障消息，禁止对所述外延生长设备中包括的载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，所述一项或多项预设的作业任务包括：加热、外延层生长和冷却；
所述外延生长设备还根据所述故障消息将所述外延生长设备中包括的载具按照预设路径传输至卸载工位。


3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在根据所述作业取消指令，控制所述目标作业禁止对所述目标载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，并将所述目标载具按照预设路径传输至卸载工位之前，所述方法还包括：
获取所述目标载具的标识信息，其中，所述目标载具的标识信息与所述目标载具一一对应；
将所述目标载具所处的腔室信息与所述目标载具的标识信息相关联。


4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述外延生长设备为砷化镓薄膜太阳能电池制造设备。


5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述外延生长设备包括加热腔室、外延生长腔室和冷却腔室；
控制所述目标作业禁止对所述目标载具中的物料执行一项或多项预设的作业任务，并将所述目标载具按照预设路径传输至卸载工位，包括：
根据所述取消指令控制接收到取消指令的目标载具停止执行所述作业任务；
将所述外延生长设备的加热腔室中的目标载具，或，所述外延生长腔室中的目标载具，或，所述冷却腔室中的目标载具分别传输至预设的卸载工位。


6.一种外延生长设备，其特征在于，包括：
加热腔室、冷却腔室、外延生长腔室和控制系统，其中，所述加热腔室用于对载具中的衬底进行加热，所述外延生长腔室用于对载具中加热完成后的衬底进行外延生长，所述冷却腔室用于对载具中外延生长完成后的衬底进行冷却，...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢凯，张博，王丽娜，赵昂，
申请(专利权)人：深圳市永盛隆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44