物料自动装卸载控制方法、装置、电子设备及存储介质制造方法及图纸

技术编号:24997657 阅读:58 留言:0更新日期:2020-07-24 17:59
本发明专利技术提供了一种物料自动装卸载控制方法、装置、电子设备及存储介质,所述方法包括:确定载具模板,所述载具模板包括晶片在载具中放置位置信息和晶片的类型信息;根据所述载具模板将目标晶片从第一栏具按照所述载具模板装载至载具的对应位置,所述目标晶片是与所述载具的目标装载位置相对应的晶片;创建第一物料信息表,所述第一物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第一栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。本发明专利技术提供的物料自动装卸载控制方法,能够根据载具模板自动完成物料装载控制,同时能够自动记录物料来源位置与物料在载具上位置的对应关系,从而便于后期对物料进行追溯管理。

【技术实现步骤摘要】
物料自动装卸载控制方法、装置、电子设备及存储介质
本专利技术涉及显示
,具体涉及一种物料自动装卸载控制方法、装置、电子设备及存储介质。
技术介绍
现有技术中,对于物料的装卸载过程需要人为进行控制。此外,物料在载具上的位置以及物料来源位置等信息一般通过手工的方式进行记录,这种处理方式效率低下,且容易出错。
技术实现思路
针对现有技术中的缺陷,本专利技术提供一种物料自动装卸载控制方法、装置、电子设备及存储介质。具体地,本专利技术提供了以下技术方案:第一方面,本专利技术提供了一种物料自动装卸载控制方法,包括:确定载具模板,所述载具模板包括晶片在载具中放置位置信息和晶片的类型信息;根据所述载具模板将目标晶片从第一栏具按照所述载具模板装载至载具的对应位置,所述目标晶片是与所述载具的目标装载位置相对应的晶片;创建第一物料信息表,所述第一物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第一栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。进一步地,将所述载具上完成相应生长工艺的晶片移动至第二栏具时,所述方法还包括:创建第二物料信息表,所述第二物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第二栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。进一步地,所述方法还包括:创建可视化视图信息表,将所述第一物料信息表和/或所述第二物料信息表中包括的信息在所述可视化视图信息表中显示。进一步地,在所述确定载具模板之前,所述方法还包括:创建载具模板;其中,所述创建载具模板,包括:确定载具模板包括的行数和列数,所述载具模板的行数和列数与所述载具的行数和列数相对应,所述载具模板上的一个行索引和列索引组成的索引对与载具中的一个晶片放置位置相对应;根据所述载具的质量验证区域和工艺需求,确定载具模板中晶片的放置位置和晶片类型;根据载具模板包括的行数和列数,以及,载具模板中晶片的放置位置和晶片类型,创建所述载具模板。进一步地,所述方法还包括:将创建的载具模板添加到载具模板库中。进一步地,所述确定载具模板,包括:根据所述载具的尺寸、质量验证区域和工艺需求,判断所述载具模板库中是否存在匹配的载具模板,若存在,则从所述载具模板库中选择匹配的载具模板,否则,创建载具模板。第二方面,本专利技术还提供了一种物料自动装卸载控制装置,包括:确定模块,用于确定载具模板,所述载具模板包括晶片在载具中放置位置信息和晶片的类型信息;装载模块,用于根据所述载具模板将目标晶片从第一栏具按照所述载具模板装载至载具的对应位置,所述目标晶片是与所述载具的目标装载位置相对应的晶片;第一创建模块,用于创建第一物料信息表,所述第一物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第一栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。进一步地,所述装置还包括:第二创建模块,用于在将所述载具上完成相应生长工艺的晶片移动至第二栏具时,创建第二物料信息表,所述第二物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第二栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。第三方面,本专利技术还提供了一种电子设备,包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序,所述处理器执行所述程序时实现如第一方面所述物料自动装卸载控制方法的步骤。第四方面,本专利技术还提供了一种计算机可读存储介质,其上存储有计算机程序,该计算机程序被处理器执行时实现如第一方面所述物料自动装卸载控制方法的步骤。由上面技术方案可知,本专利技术提供了一种物料自动装卸载控制方法,包括:确定载具模板,所述载具模板包括晶片在载具中放置位置信息和晶片的类型信息;根据所述载具模板将目标晶片从第一栏具按照所述载具模板装载至载具的对应位置,所述目标晶片是与所述载具的目标装载位置相对应的晶片;创建第一物料信息表,所述第一物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第一栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。本专利技术提供的物料自动装卸载控制方法,能够根据载具模板自动完成物料装载控制,同时能够自动记录物料来源位置与物料在载具上位置的对应关系,从而便于后期对物料进行追溯管理。附图说明为了更清楚地说明本实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本专利技术一实施例提供的物料自动装卸载控制方法的流程图;图2是本专利技术一个实施例提供的载具模板的示意图;图3是本专利技术一个实施例提供的根据载具模板进行装载控制的示意图;图4是本专利技术一实施例提供的物料信息表的示意图;图5是本专利技术一个实施例提供的卸载控制的示意图;图6是本专利技术一实施例提供的包括4个载具模板的载具模板库的示意图;图7是本专利技术另一实施例提供的物料自动装卸载控制装置的结构示意图;图8是本专利技术又一个实施例提供的电子设备的结构示意图。具体实施方式为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述,显然,所描述的实施例是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。在介绍本
技术实现思路
之前,先对本专利技术的应用背景进行简单阐述。在砷化镓薄膜太阳能电池制造设备领域,砷化镓薄膜太阳能电池制造设备一般采用金属有机化合物化学气相沉淀(Metal-organicChemicalVaporDeposition,MOCVD)技术路线制备砷化镓太阳能电池,在整个生产过程中,共会涉及两类工艺,一类是MOCVD生长工艺,另一类是腔室清洗工艺,这两类工艺都以载具(carrier)为单位进行。对于MOCVD生长工艺而言,使用一种称为processcarrier的载具,上面通常放置多片生长晶片(wafer),对于腔室清洗工艺而言,使用称为dummycarrier的载具,表面涂有抗Cl2腐蚀的材料,通常不再放置wafer。每次MOCVD生长工艺开始前,砷化镓薄膜太阳能电池制造设备的装载模块需要将wafer从cassette中取出放置到carrier上,生长工艺完成后,卸载模块需要将生长出砷化镓外延层的wafer从carrier取出放回cassette。由于砷化镓太阳能电池MOCVD工艺的复杂性,通常需要多次试验以获取反应腔室不同区域下的产品质量与生产过程控制的关系,以及腔室清洗工艺对产品质量的影响情况。为了节省试验成本,经常是在MOCVD工艺中将wafer放置到carrier的不同位置进行反复试验,MOCVD工艺间穿插腔室清洗工艺。整个试验过程需要记录wafer在cass本文档来自技高网
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【技术保护点】
1.一种物料自动装卸载控制方法,其特征在于,包括:/n确定载具模板,所述载具模板包括晶片在载具中放置位置信息和晶片的类型信息;/n根据所述载具模板将目标晶片从第一栏具按照所述载具模板装载至载具的对应位置,所述目标晶片是与所述载具的目标装载位置相对应的晶片;/n创建第一物料信息表,所述第一物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第一栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。/n

【技术特征摘要】
1.一种物料自动装卸载控制方法,其特征在于,包括:
确定载具模板,所述载具模板包括晶片在载具中放置位置信息和晶片的类型信息;
根据所述载具模板将目标晶片从第一栏具按照所述载具模板装载至载具的对应位置,所述目标晶片是与所述载具的目标装载位置相对应的晶片;
创建第一物料信息表,所述第一物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第一栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。


2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,将所述载具上完成相应生长工艺的晶片移动至第二栏具时,所述方法还包括:创建第二物料信息表,所述第二物料信息表包括载具信息、晶片信息以及晶片在第二栏具中的存放位置与晶片在载具中的放置位置之间的对应信息。


3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,所述方法还包括:
创建可视化视图信息表,将所述第一物料信息表和/或所述第二物料信息表中包括的信息在所述可视化视图信息表中显示。


4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述确定载具模板之前,所述方法还包括:创建载具模板;
其中,所述创建载具模板,包括:
确定载具模板包括的行数和列数,所述载具模板的行数和列数与所述载具的行数和列数相对应,所述载具模板上的一个行索引和列索引组成的索引对与载具中的一个晶片放置位置相对应;
根据所述载具的质量验证区域和工艺需求,确定载具模板中晶片的放置位置和晶片类型;
根据载具模板包括的行数和列数,以及,载具模板中晶片的放置位置和晶片类型,创建所述载具模板。


5.根据权利要求4所述的方法,其特征在于,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:谢凯王丽娜
申请(专利权)人:深圳市永盛隆科技有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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