薄膜剥离工艺的配置方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种薄膜剥离工艺的配置方法及装置。薄膜剥离工艺包括多个工艺步骤，多个工艺步骤包括预加热工艺步骤和刻蚀工艺步骤，上述配置方法包括：配置与预加热工艺步骤相对应的第一工艺信息，第一工艺信息包括预加热工艺步骤的工艺流程；配置与刻蚀工艺步骤相对应的第二工艺信息，第二工艺信息包括刻蚀工艺步骤的工艺流程。上述方法通过配置预加热工艺步骤的第一工艺信息以及刻蚀工艺步骤的第二工艺信息，将两个工艺步骤进行统一控制，从而将不同工艺槽工位的控制信息相互关系统一，将物料在工艺流程中经历的工位与控制信息关联到一起，实现了物料根据生产实际情况自动选择路径执行工艺的功能，使生产控制简单灵活。

【技术实现步骤摘要】
薄膜剥离工艺的配置方法及装置
本专利技术涉及光伏
，具体而言，涉及一种薄膜剥离工艺的配置方法及装置。
技术介绍
砷化镓薄膜太阳能电池的功能层是砷化镓薄膜，该薄膜是采用MOCVD工艺在砷化镓衬底上生长出来的，生长好的砷化镓薄膜需要从衬底上剥离出来，然后继续生长前金属层镀膜、抗反射涂层等其他辅助层。砷化镓薄膜的剥离通常采用外延层剥离技术(ELO，EpitaxialLift-off)，该技术因为使用氢氟酸(HF)，因此又称为湿法刻蚀技术。ELO工艺流程如图1所示，包括预热(Pre-heating)、湿法刻蚀(WetEtching)、清洗(Rinsing)及浸泡(Immersion)四个工艺任务。在一个例子中，ELO工艺流程的设备布局如图2所示，包括预热槽10(Pre-heatingTank)、湿法刻蚀槽20(WetetchingTank)、清洗槽30(RinseTank)和浸泡槽40(ImmersionTank)四种工艺工位。四种工位分别执行pre-heating、wetetching、rinse和immersion工艺任务。ELO设备的载具、物料及各工位的工艺任务包括：预热工艺步骤、刻蚀工艺步骤、清洗工艺步骤和浸泡工艺步骤。其中，预热工艺步骤通过预热槽(Pre-heatingTank)使用去离子水对laminatedwafer进行预热，保证工艺槽工艺温度的一种辅助手段。刻蚀工艺步骤通过湿法刻蚀槽(WetetchingTank)使用氢氟酸(HF)对laminatedwafer进行刻蚀，将砷化镓薄膜与衬底之间的连接层刻蚀掉。清洗工艺步骤是通过清洗槽(RinseTank)按照三阶梯模式设计，对完成刻蚀的砷化镓薄膜及衬底依次进入3个rinsetank进行清洗。浸泡工艺步骤是通过浸泡槽(ImmersionTank)对刻蚀后的砷化镓薄膜及衬底进行剥离前的静置浸泡。在现有的ELO工艺中，预先配置好预加热工艺步骤中所配置的加热温度以及刻蚀工艺步骤中所配置的刻蚀温度，然后使载具在预热槽中进行预加热工艺步骤，之后移动到工艺槽中进行刻蚀工艺步骤。然而，现有ELO工艺流程作为一个整体存在。同一工艺步骤中的不同配置不能相互替换，不便于新的工艺流程的创建。
技术实现思路
本专利技术的主要目的在于提供一种薄膜剥离工艺的配置方法及装置，以解决现有技术中薄膜剥离工艺在控制上复杂性高的问题。为了实现上述目的，提供了一种薄膜剥离工艺的配置方法，薄膜剥离工艺包括多个工艺步骤，多个工艺步骤包括预加热工艺步骤和刻蚀工艺步骤，配置方法包括：配置与预加热工艺步骤相对应的第一工艺信息，第一工艺信息包括预加热工艺步骤的工艺流程；配置与刻蚀工艺步骤相对应的第二工艺信息，第二工艺信息包括刻蚀工艺步骤的工艺流程。进一步地，在配置第一工艺信息的步骤之前，配置方法还包括：根据待剥离产品的刻蚀工艺要求和当前不同刻蚀槽中的刻蚀液体，确定刻蚀工艺步骤的工艺槽位，刻蚀工艺要求包括刻蚀液体配比和刻蚀温度。进一步地，配置第一工艺信息的步骤包括：根据刻蚀工艺步骤的工艺槽位和刻蚀温度，配置第一工艺信息，第一工艺信息包括预加热工艺步骤的加热控制信息，在配置第一工艺信息的步骤中，根据加热控制信息从多个预加热工艺信息表中确定相对应的第一工艺信息。进一步地，配置第二工艺信息的步骤包括：根据刻蚀工艺步骤的工艺槽位和刻蚀温度，配置第二工艺信息，第二工艺信息包括刻蚀工艺步骤的刻蚀控制信息，在配置第二工艺信息的步骤中，根据刻蚀控制信息从多个刻蚀工艺信息表中确定相对应的第二工艺信息。进一步地，刻蚀控制信息包括刻蚀时间，刻蚀时间是刻蚀工艺步骤开始执行的时间。进一步地，加热控制信息包括加热时间，加热时间是预加热工艺步骤开始执行的时间。进一步地，待剥离产品从预加热工艺步骤的预加热槽位到刻蚀工艺步骤的工艺槽位之间的温度损失为第一温度差，加热控制信息还包括加热温度，加热温度与第一温度差之和为刻蚀温度。进一步地，预加热工艺步骤包括第一步骤和第二步骤，加热控制信息包括用于控制第一步骤的第一加热控制信息以及用于控制第二步骤的第二加热控制信息，第一步骤为配置液体的步骤，第二步骤为使用第一步骤配置好的液体进行处理的步骤。进一步地，预加热工艺步骤和刻蚀工艺步骤均包括多个顺序执行的子步骤，预加热工艺步骤中各子步骤的控制信息一同保存在第一工艺信息中，刻蚀工艺步骤中各子步骤的控制信息一同保存在第二工艺信息中，每一条控制信息均包括：标识信息和至少一个子步骤的控制信息。进一步地，多个工艺步骤还包括清洗工艺步骤和浸泡工艺步骤。第二方面，本申请的具体实施例还提供一种薄膜剥离工艺的配置装置，薄膜剥离工艺包括多个工艺步骤，多个工艺步骤包括预加热工艺步骤和刻蚀工艺步骤，配置装置包括：第一配置单元，用于配置与预加热工艺步骤相对应的第一工艺信息，第一工艺信息包括预加热工艺步骤的工艺流程；第二配置单元，用于配置与刻蚀工艺步骤相对应的第二工艺信息，第二工艺信息包括刻蚀工艺步骤的工艺流程。进一步地，第一配置单元，配置第一工艺信息的步骤之前，还包括：确定单元，用于根据待剥离产品的刻蚀工艺要求和当前不同刻蚀槽中的刻蚀液体，确定刻蚀工艺步骤的工艺槽位，刻蚀工艺要求包括刻蚀液体配比和刻蚀温度。进一步地，第一配置单元，配置第一工艺信息的步骤包括：根据刻蚀工艺步骤的工艺槽位和刻蚀温度，配置第一工艺信息，第一工艺信息包括预加热工艺步骤的加热控制信息，在配置第一工艺信息的步骤中，根据加热控制信息从多个预加热工艺信息表中确定相对应的第一工艺信息。进一步地，第二配置单元，配置第二工艺信息的步骤包括：根据刻蚀工艺步骤的工艺槽位和刻蚀温度，配置第二工艺信息，第二工艺信息包括刻蚀工艺步骤的刻蚀控制信息，在配置第二工艺信息的步骤中，根据刻蚀控制信息从多个刻蚀工艺信息表中确定相对应的第二工艺信息。进一步地，刻蚀控制信息包括刻蚀时间，刻蚀时间是刻蚀工艺步骤开始执行的时间。进一步地，加热控制信息包括加热时间，加热时间是预加热工艺步骤开始执行的时间。进一步地，待剥离产品从预加热工艺步骤的预加热槽位到刻蚀工艺步骤的工艺槽位之间的温度损失为第一温度差，加热控制信息还包括加热温度，加热温度与第一温度差之和为刻蚀温度。进一步地，预加热工艺步骤包括第一步骤和第二步骤，加热控制信息包括用于控制第一步骤的第一加热控制信息以及用于控制第二步骤的第二加热控制信息，第一步骤为配置液体的步骤，第二步骤为使用第一步骤配置好的液体进行处理的步骤。进一步地，预加热工艺步骤和刻蚀工艺步骤均包括多个顺序执行的子步骤，预加热工艺步骤中各子步骤的控制信息一同保存在第一工艺信息中，刻蚀工艺步骤中各子步骤的控制信息一同保存在第二工艺信息中，每一条控制信息均包括：标识信息和至少一个子步骤的控制信息。应用本专利技术的技术方案，本专利技术针对ELO工艺流程的控制复杂性，提供了一种薄膜剥离工艺的配置方法，包括以下步骤：配置与预加热工艺步骤相对应的第一工艺信息，第一工艺信息包括预加热工艺步骤的工艺流程，并配本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄膜剥离工艺的配置方法，其特征在于，所述薄膜剥离工艺包括多个工艺步骤，所述多个工艺步骤包括预加热工艺步骤和刻蚀工艺步骤，所述配置方法包括：/n配置与所述预加热工艺步骤相对应的第一工艺信息，所述第一工艺信息包括所述预加热工艺步骤的工艺流程；/n配置与所述刻蚀工艺步骤相对应的第二工艺信息，所述第二工艺信息包括所述刻蚀工艺步骤的工艺流程。/n

【技术特征摘要】
1.一种薄膜剥离工艺的配置方法，其特征在于，所述薄膜剥离工艺包括多个工艺步骤，所述多个工艺步骤包括预加热工艺步骤和刻蚀工艺步骤，所述配置方法包括：
配置与所述预加热工艺步骤相对应的第一工艺信息，所述第一工艺信息包括所述预加热工艺步骤的工艺流程；
配置与所述刻蚀工艺步骤相对应的第二工艺信息，所述第二工艺信息包括所述刻蚀工艺步骤的工艺流程。


2.根据权利要求1所述的配置方法，其特征在于，在配置所述第一工艺信息的步骤之前，所述配置方法还包括：
根据待剥离产品的刻蚀工艺要求和当前不同刻蚀槽中的刻蚀液体，确定所述刻蚀工艺步骤的工艺槽位，所述刻蚀工艺要求包括刻蚀液体配比和刻蚀温度。


3.根据权利要求2所述的配置方法，其特征在于，配置所述第一工艺信息的步骤包括：
根据所述刻蚀工艺步骤的工艺槽位和所述刻蚀温度，配置所述第一工艺信息，所述第一工艺信息包括所述预加热工艺步骤的加热控制信息，在配置所述第一工艺信息的步骤中，根据所述加热控制信息从多个预加热工艺信息表中确定相对应的所述第一工艺信息。


4.根据权利要求2所述的配置方法，其特征在于，配置所述第二工艺信息的步骤包括：
根据所述刻蚀工艺步骤的工艺槽位和所述刻蚀温度，配置所述第二工艺信息，所述第二工艺信息包括所述刻蚀工艺步骤的刻蚀控制信息，在配置所述第二工艺信息的步骤中，根据所述刻蚀控制信息从多个刻蚀工艺信息表中确定相对应的所述第二工艺信息。


5.根据权利要求4所述的配置方法，其特征在于，所述刻蚀控制信息包括刻蚀时间，所述刻蚀时间是所述刻蚀工艺步骤开始执行的时间。

【专利技术属性】
技术研发人员：谢凯，王敬苗，
申请(专利权)人：深圳市永盛隆科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44