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本发明提供了一种薄膜剥离工艺的配置方法及装置。薄膜剥离工艺包括多个工艺步骤，多个工艺步骤包括预加热工艺步骤和刻蚀工艺步骤，上述配置方法包括：配置与预加热工艺步骤相对应的第一工艺信息，第一工艺信息包括预加热工艺步骤的工艺流程；配置与刻蚀工艺步...
该专利属于深圳市永盛隆科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市永盛隆科技有限公司授权不得商用。

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