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本发明公开了一种外延生长设备、作业控制方法和装置。其中，该方法包括：确定目标载具的目标作业进入执行状态，其中，目标作业为目标载具对应的工艺，目标作业进入执行状态是外延生长设备开始对目标载具执行工艺；获取作业取消指令，作业取消指令是针对目标载...
该专利属于深圳市永盛隆科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市永盛隆科技有限公司授权不得商用。

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