弹性波装置、高频前端电路以及通信装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种不易产生层叠膜的破裂、碎片且支承基板和层叠膜不易剥离的弹性波装置、高频前端电路以及通信装置。弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；层叠膜(3)，设置在支承基板(2)上，在俯视的情况下设置得比支承基板(2)的外缘的至少一部分靠内侧，且包含压电薄膜(6)；IDT电极(16)，设置在层叠膜(3)上；绝缘层(19)，设置在支承基板(2)上以及层叠膜(3)上，从支承基板(2)上到达层叠膜(3)上；连接电极(17)，设置在绝缘层(19)上，与IDT电极(16)电连接；以及外部连接端子，与连接电极(17)电连接，直接或间接地设置在连接电极(17)上，且在俯视的情况下设置在支承基板(2)上且设置在设置有层叠膜(3)的区域的外侧，支承基板(2)中的层叠膜(3)侧的主面在俯视的情况下在层叠膜(3)的外缘的位置具有凹部(12)，凹部(12)被绝缘层(19)覆盖。

Elastic wave device, high frequency front-end circuit and communication device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置、高频前端电路以及通信装置
本专利技术涉及弹性波装置、高频前端电路以及通信装置。
技术介绍
以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。在下述的专利文献1公开了弹性波装置的一个例子。该弹性波装置具有：支承基板；层叠膜，设置在支承基板上，包含压电薄膜；IDT电极，设置在层叠膜上；绝缘层，设置在支承基板上以及层叠膜上，从支承基板上到达层叠膜上；布线电极，设置在绝缘层上，与IDT电极电连接；以及外部连接端子，与布线电极电连接。而且，外部连接端子在俯视的情况下设置在不存在层叠膜的区域，因此接合外部连接端子时的应力不直接施加于层叠膜，使得不易产生包含压电薄膜的层叠膜的破裂、碎片。在先技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2016/208428号
技术实现思路
专利技术要解决的课题在专利文献1记载的弹性波装置中，层叠膜以及支承基板的热膨胀系数不同，因此在热施加于弹性波装置时等，会在层叠膜与支承基板之间附加应力。特别是，有应力集中在层叠膜的外缘与支承基板接触的部分的倾向。因此，容易在层叠膜产生破裂、碎片，或者层叠膜容易从支承基板剥离。本专利技术的目的在于，提供一种不易产生层叠膜的破裂、碎片且支承基板和层叠膜不易剥离的弹性波装置、高频前端电路以及通信装置。用于解决课题的技术方案本专利技术涉及的弹性波装置具备：支承基板；层叠膜，设置在所述支承基板上，在俯视的情况下设置得比所述支承基板的外缘的至少一部分靠内侧，且包含压电薄膜；IDT电极，设置在所述层叠膜上；绝缘层，设置在所述支承基板上以及所述层叠膜上，从所述支承基板上到达所述层叠膜上；连接电极，设置在所述绝缘层上，与所述IDT电极电连接；以及外部连接端子，与所述连接电极电连接，直接或间接地设置在所述连接电极上，且在俯视的情况下设置在所述支承基板上且设置在设置有所述层叠膜的区域的外侧，所述支承基板中的所述层叠膜侧的主面在俯视的情况下在所述层叠膜的外缘的位置具有凹部，所述凹部被所述绝缘层覆盖。在本专利技术涉及的弹性波装置的某个特定的方面中，所述层叠膜的线膨脤系数与所述支承基板的线膨胀系数不同。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的方面中，所述凹部在俯视的情况下形成在所述支承基板上且形成在设置有所述层叠膜的区域的外侧的整体。在该情况下，支承基板和层叠膜更加不易剥离。在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个特定的方面中，所述凹部设置为包围所述层叠膜。在该情况下，支承基板和层叠膜更加不易剥离。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述支承基板由传播的体波(bulkwave)的声速比在所述压电薄膜传播的弹性波的声速高的材料构成，所述层叠膜包含传播的体波的声速比在所述压电薄膜传播的弹性波的声速低的低声速膜，在所述低声速膜上设置有所述压电薄膜。在该情况下，能够有效地封闭弹性波的能量。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述层叠膜包含：高声速膜，传播的体波的声速比在所述压电薄膜传播的弹性波的声速高；以及低声速膜，传播的体波的声速比在所述压电薄膜传播的弹性波的声速低，在所述高声速膜上设置有所述低声速膜，在所述低声速膜上设置有所述压电薄膜。在该情况下，能够有效地封闭弹性波的能量。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述层叠膜包含：声反射层，具有声阻抗相对高的高声阻抗膜和声阻抗比所述高声阻抗膜低的低声阻抗膜，在所述声反射层上设置有所述压电薄膜。在该情况下，能够有效地封闭弹性波的能量。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，还具备：支承构件，在俯视的情况下，直接或间接地设置在所述支承基板上且设置在设置有所述层叠膜的区域的外侧的区域，并具有包围所述IDT电极的开口部；覆盖构件，设置在所述支承构件上，使得覆盖所述开口部；以及凸块下金属层，贯通所述支承构件以及所述覆盖构件，使得与所述连接电极连接，所述外部连接端子是经由所述凸块下金属层间接地设置在所述连接电极上的凸块，所述IDT电极位于被所述支承基板、所述支承构件以及所述覆盖构件包围的中空空间内。在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个特定的方面中，所述外部连接端子是直接设置在所述连接电极上的凸块。本专利技术的高频前端电路具备按照本专利技术构成的弹性波装置和功率放大器。本专利技术的通信装置具备按照本专利技术构成的高频前端电路和RF信号处理电路。专利技术效果根据本专利技术，能够提供一种不易产生层叠膜的破裂、碎片且支承基板和层叠膜不易剥离的弹性波装置、高频前端电路以及通信装置。附图说明图1是本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置的简图式剖视图。图2是本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置的简图式俯视剖视图。图3是示出本专利技术的第一实施方式中的弹性波谐振器附近的示意性放大俯视图。图4是示出本专利技术的第一实施方式中的支承基板的除去区域附近的、图1的放大图。图5是本专利技术的第一实施方式的变形例涉及的弹性波装置的简图式剖视图。图6是本专利技术的第二实施方式涉及的弹性波装置的示意性放大剖视图。图7是本专利技术的第三实施方式涉及的弹性波装置的示意性放大剖视图。图8是本专利技术的第四实施方式涉及的弹性波装置的示意性放大剖视图。图9是本专利技术的第四实施方式的第一变形例涉及的弹性波装置的示意性放大剖视图。图10是本专利技术的第四实施方式的第二变形例涉及的弹性波装置的示意性放大剖视图。图11是本专利技术的第五实施方式涉及的弹性波装置的简图式剖视图。图12是本专利技术的第六实施方式涉及的弹性波装置安装构造体的简图式剖视图。图13是具有高频前端电路的通信装置的结构图。图14是示出本专利技术的第三实施方式涉及的弹性波装置的一部分的扫描型显微镜照片。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的具体的实施方式进行说明，由此明确本专利技术。另外，需要指出，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。图1是本专利技术的第一实施方式涉及的弹性波装置的简图式剖视图。图2是第一实施方式涉及的弹性波装置的简图式俯视剖视图。另外，图1是相当于沿着图2中的I-I线的部分的剖视图。通过在矩形中添加了两条对角线的简图示出图1以及图2中的弹性波谐振器。如图1以及图2所示，弹性波装置1具有支承基板2。支承基板2例如由玻璃、Si等适当的材料构成。在支承基板2上设置有包含压电薄膜6的层叠膜3。具体地，层叠膜3在俯视的情况下设置得比支承基板2的外缘的至少一部分靠内侧。另外，在本说明书中，所谓俯视，是指从支承基板2的设置有层叠膜3的主面侧在支承基板2的厚度方向上观察弹性波装置1。如图1所示，层叠膜3除了压电薄膜6以外还具有高声速膜4以及低声速膜5。更具体地，在支承基板2上设置有高声速膜4，在高声速膜4上设置有低声速膜5，在低声速膜5上设置有压电薄膜6。在本实施方式中，压电薄膜6由LiNbO3、LiTaO3等的压电单晶构成。另外，压本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波装置，具备：/n支承基板；/n层叠膜，设置在所述支承基板上，在俯视的情况下设置得比所述支承基板的外缘的至少一部分靠内侧，且包含压电薄膜；/nIDT电极，设置在所述层叠膜上；/n绝缘层，设置在所述支承基板上以及所述层叠膜上，从所述支承基板上到达所述层叠膜上；/n连接电极，设置在所述绝缘层上，与所述IDT电极电连接；以及/n外部连接端子，与所述连接电极电连接，直接或间接地设置在所述连接电极上，且在俯视的情况下设置在所述支承基板上且设置在设置有所述层叠膜的区域的外侧，/n所述支承基板中的所述层叠膜侧的主面在俯视的情况下在所述层叠膜的外缘的位置具有凹部，/n所述凹部被所述绝缘层覆盖。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170829 JP 2017-1641131.一种弹性波装置，具备：
支承基板；
层叠膜，设置在所述支承基板上，在俯视的情况下设置得比所述支承基板的外缘的至少一部分靠内侧，且包含压电薄膜；
IDT电极，设置在所述层叠膜上；
绝缘层，设置在所述支承基板上以及所述层叠膜上，从所述支承基板上到达所述层叠膜上；
连接电极，设置在所述绝缘层上，与所述IDT电极电连接；以及
外部连接端子，与所述连接电极电连接，直接或间接地设置在所述连接电极上，且在俯视的情况下设置在所述支承基板上且设置在设置有所述层叠膜的区域的外侧，
所述支承基板中的所述层叠膜侧的主面在俯视的情况下在所述层叠膜的外缘的位置具有凹部，
所述凹部被所述绝缘层覆盖。


2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，
所述层叠膜的线膨脤系数与所述支承基板的线膨胀系数不同。


3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，
所述凹部在俯视的情况下形成在所述支承基板上且形成在设置有所述层叠膜的区域的外侧的整体。


4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，
所述凹部设置为包围所述层叠膜。


5.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，
所述支承基板由传播的体波的声速比在所述压电薄膜传播的弹性波的声速高的材料构成，
所述层叠膜包含传播的体波的声速比在所述压电薄膜传播的弹性波的声速低的低声速膜，
在所述低声速膜上设置有所述压电薄膜。


6...

【专利技术属性】
技术研发人员：山本浩司，中川贤俊，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP