抽气管道及具有其的单晶炉制造技术

本申请涉及一种抽气管道及具有其的单晶炉，其中抽气管道包括清洁管路、清洁口封盖和燃烧阀。其中，清洁口封盖固定安装在清洁管路的第一开口端，用于密封清洁管路的第一开口，燃烧阀固定安装在清洁管路的管壁上，且邻近清洁口封盖，燃烧阀，适用于清理单晶炉的抽气管道时，在开启清洁口封盖之前打开，以使清洁管路的内腔与外部连通。通过提前开启燃烧阀使粉尘状氧化物先与外部少量空气中氧气充分燃烧，有效防止了清理抽气管道时产生的爆燃现象，大大提高了抽气管道清洁工作的安全性。

Extraction pipe and single crystal furnace with it

【技术实现步骤摘要】
抽气管道及具有其的单晶炉
本公开涉及半导体工艺
，尤其涉及一种抽气管道及具有其的单晶炉。
技术介绍
单晶炉是一种用于单晶硅生长的设备，在炉内，多晶硅料经过拉制变为单晶硅锭。单晶硅是光伏行业的重要原料，近些年来市场需求越来越大，单晶炉的生产时间也成倍增加。在生产单晶硅时，单晶炉内温度较高，炉内的热场坩埚会在高温下产生部分粉尘状氧化物。氧化物数量随着单晶炉生产时间的增加不断增加。其中，大部分氧化物会随着炉内气体通过抽气管道被带走，但还是会有部分氧化物沉积在管道中，尤其是沉积在气体流畅不通的抽气管道的清理口处。当单晶炉停炉清理抽气管道时，打开抽气管道清理口封盖会使得大量空气进入管道并与粉尘状氧化物迅速反应，产生爆炸现象，伤及人身安全。
技术实现思路
有鉴于此，本公开提出了一种抽气管道，可以在打开清洁口封盖进行清理前对抽气管道中沉积的粉尘状氧化物进行燃烧反应，避免了打开抽气管道清理口封盖后大量空气进入管道与粉尘状氧化物迅速反应，产生爆燃现象，伤及人身安全。根据本公开的一方面，提供了一种抽气管道，包括清洁管路、清洁口封盖和燃烧阀；其中，所述清洁口封盖固定安装在清洁管路的第一开口端，用于密封所述清洁管路的第一开口；所述燃烧阀固定安装在所述清洁管路的管壁上，且邻近所述清洁口封盖；所述燃烧阀，适用于清理单晶炉的抽气管道时，在开启所述清洁口封盖之前打开，以使所述清洁管路的内腔与外部连通。在一种可能的实现方式中，所述清洁口封盖与所述清洁管路的第一开口之间的连接方式为法兰连接或铰接。在一种可能的实现方式中，所述燃烧阀与所述清洁管路之间的连接方式为法兰连接、焊接或螺纹连接。在一种可能的实现方式中，所述燃烧阀包括流量阀和开关阀中的任意一种。在一种可能的实现方式中，还包括炉膛抽气管路，所述炉膛抽气管路安装在所述清洁管路的管壁上；其中，所述炉膛抽气管路与所述清洁管路的内腔连通；所述炉膛抽气管路未与所述清洁管路的管壁相连接的一侧，适用于连通单晶炉的炉膛。在一种可能的实现方式中，还包括抽气泵管路；所述抽气泵管路安装在所述清洁管路的第二开口端，并与所述清洁管路的内腔连通；其中，所述抽气泵管路与所述清洁管路的第二开口之间的连接方式为法兰连接或螺纹连接。在一种可能的实现方式中，所述清洁管路包括第一管件、第二管件和第三管件；所述第一管件、所述第二管件和所述第三管件依次连通后，呈直筒状；其中，所述第一管件未与所述第二管件相连通的管口为所述清洁管路的第一开口；所述第二管件为三通管件，且所述第二管件的第一管口与所述第一管件相连通，所述第二管件的第二管口与所述第三管件相连通，所述第三管件的第三管口与所述炉膛抽气管路相连通。在一种可能的实现方式中，炉膛抽气管路与所述第二管件的第三管口之间的连接方式为法兰连接。在一种可能的实现方式中，所述清洁口封盖形状呈圆盘状。根据本公开的另一方面，提供了一种单晶炉，包括前面任一项所述的抽气管道。本公开实施的抽气管道，通过在清洁管路的管壁上固定安装燃烧阀，在清洁抽气管路前，先打开燃烧阀，使清洁口管路内腔中沉积的粉尘状氧化物先与外部少量空气中的氧气反应燃烧，可有效防止直接打开抽气管道清理口封盖产生的燃爆现象。并且，方案操作简单高效，便于实现。根据下面参考附图对示例性实施例的详细说明，本公开的其它特征及方面将变得清楚。附图说明包含在说明书中并且构成说明书的一部分的附图与说明书一起示出了本公开的示例性实施例、特征和方面，并且用于解释本公开的原理。图1示出本公开实施例的抽气管道的主体结构图。具体实施方式以下将参考附图详细说明本公开的各种示例性实施例、特征和方面。附图中相同的附图标记表示功能相同或相似的元件。尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图。其中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术或简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在这里专用的词“示例性”意为“用作例子、实施例或说明性”。这里作为“示例性”所说明的任何实施例不必解释为优于或好于其它实施例。另外，为了更好的说明本公开，在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节。本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本公开同样可以实施。在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的方法、手段、元件和电路未作详细描述，以便于凸显本公开的主旨。图1示出根据本公开一实施例的抽气管道100的主体结构示意图。如图1所示，该抽气管道100包括：清洁口封盖110、燃烧阀120和清洁管路130，抽气管道100安装在单晶炉上，用于清理并排出单晶硅制备过程中产生的气体与部分粉尘状氧化物。其中，清洁口封盖110的形状呈圆盘状，且清洁口封盖110与清洁管路130的第一开口134之间固定连接，用于密封清洁管路130的第一开口134。在一种可能的实现方式中，清洁口封盖110的横截面面积大于清洁管路130的第一开口134的横截面面积，使在清洁口封盖110与第一开口134连接时，清洁口封盖110能够完全覆盖清洁管路130的第一开口134，防止设备运行时产生的气体及部分粉尘状氧化物在第一开口134处泄漏。清洁口封盖110与清洁管路130的第一开口134之间的固定方式可以选用铰接，清洁口封盖110边缘处与清洁管路130的第一开口134边缘处均设有通孔，用销轴穿过清洁口封盖110边缘处的通孔及第一开口134边缘处的通孔，使清洁口封盖110与第一开口134紧密连接，清洁口封盖110可以绕连接轴做开合运动。结构简单，易于实现。并且，通过对清洁口封盖110与清洁管路130的第一开口134采用铰接，当清洁口封盖110出现损坏时，只需将销轴拔出，更换清洁口封盖110即可。大大降低了成本，提高了效率。进一步的，清洁口封盖110与清洁管路130的第一开口134之间的固定方式也可以是其他可拆卸连接(如：法兰连接、螺纹连接等)，其原理与前面所述铰接的原理相似，此处不再进行赘述。燃烧阀120固定安装在清洁管路130的管壁上，适用于在清理单晶炉的抽气管道110中沉积的部分粉尘状氧化物时，实现对抽气管道110中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种抽气管道，其特征在于，包括清洁管路、清洁口封盖和燃烧阀；/n其中，所述清洁口封盖固定安装在清洁管路的第一开口端，用于密封所述清洁管路的第一开口；/n所述燃烧阀固定安装在所述清洁管路的管壁上，且邻近所述清洁口封盖；/n所述燃烧阀，适用于清理单晶炉的抽气管道时，在开启所述清洁口封盖之前打开，以使所述清洁管路的内腔与外部连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种抽气管道，其特征在于，包括清洁管路、清洁口封盖和燃烧阀；
其中，所述清洁口封盖固定安装在清洁管路的第一开口端，用于密封所述清洁管路的第一开口；
所述燃烧阀固定安装在所述清洁管路的管壁上，且邻近所述清洁口封盖；
所述燃烧阀，适用于清理单晶炉的抽气管道时，在开启所述清洁口封盖之前打开，以使所述清洁管路的内腔与外部连通。


2.根据权利要求1所述的抽气管道，其特征在于，所述清洁口封盖与所述清洁管路的第一开口之间的连接方式为法兰连接或铰接。


3.根据权利要求1所述的抽气管道，其特征在于，所述燃烧阀与所述清洁管路之间的连接方式为法兰连接、焊接或螺纹连接。


4.根据权利要求1所述的抽气管道，其特征在于，所述燃烧阀包括流量阀和开关阀中的任意一种。


5.根据权利要求1至4任一项所述的抽气管道，其特征在于，还包括炉膛抽气管路，所述炉膛抽气管路安装在所述清洁管路的管壁上；
其中，所述炉膛抽气管路与所述清洁管路的内腔连通；
所述炉膛抽气管路未与所述清洁管路的管壁相连接的一侧，适用于连通单晶炉的炉膛。

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【专利技术属性】
技术研发人员：吴天舒，关树军，陈辉，
申请(专利权)人：北京天能运通晶体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11