单晶炉炉体及具有其的单晶炉制造技术

本申请涉及一种单晶炉炉体，包括相配合的底座和炉筒，其中，底座的侧壁上安装有两个以上的炉筒导向装置，炉筒导向装置包括固定安装座和轴承组，固定安装座的一端与底座的侧壁固定连接，固定安装座的另一端朝向炉筒设置，轴承组固定安装在固定安装座的另一端上，且轴承组中的轴承，适用于在炉筒接触到轴承的表面时转动，以对炉筒进行导向。在炉筒归位降落时，炉筒接触到炉筒导向装置后，炉筒导向装置中的轴承发生转动，炉筒在轴承的转动下被导向至正确位置。保证了炉筒归位时的位置精准度，并降低了归位降落时的操作难度。

Single crystal furnace body and single crystal furnace with it

【技术实现步骤摘要】
单晶炉炉体及具有其的单晶炉
本公开涉及半导体工艺
，尤其涉及一种单晶炉炉体及具有其的单晶炉。
技术介绍
在单晶炉的拉晶过程中，停炉后需要将炉筒提起，旋转开，以便于清理热场，清理完成后再将炉筒旋回，降落到原来位置。为了保证炉筒归位时的位置度准确，一般会在连接处设有销轴来保证炉筒位置。随着单晶炉直径不断增大，主炉体的旋转提升机构都已经使用三爪式设计提升结构，但这种结构的缺点是归位降落时误差大，若用现有销轴保证位置的方式，可调范围小，操作难度大。
技术实现思路
有鉴于此，本公开提出了一种单晶炉炉体，可以在炉筒归位降落时，对归位降落的炉筒进行位置导向，保证了炉筒归位时的位置精准度，并降低了归位降落时的操作难度。根据本公开的一方面，提供了一种单晶炉炉体，包括相配合的底座和炉筒；其中，所述底座的侧壁上安装有两个以上的炉筒导向装置；所述炉筒导向装置包括固定安装座和轴承组；所述固定安装座的一端与所述底座的侧壁固定连接，所述固定安装座的另一端朝向所述炉筒设置；所述轴承组固定安装在所述固定安装座的另一端上，且所述轴承组中的轴承，适用于在所述炉筒接触到所述轴承的表面时转动，以对所述炉筒进行导向。在一种可能的实现方式中，所述炉筒导向装置的个数为四个，且四个所述炉筒导向装置等间隔安装在所述底座的侧壁上，且四个所述炉筒导向装置成对设置；其中，每对所述炉筒导向装置相对所述底座的中轴线对称。在一种可能的实现方式中，所述固定安装座的主体呈“L”型结构；其中，主体呈“L”型结构的所述固定安装座中，横截面面积较大的一端与所述底座的侧壁螺接，横截面面积较小的一端作为所述固定安装座的另一端，固定安装有所述轴承组。在一种可能的实现方式中，所述固定安装座的中轴线与所述底座的中轴线相平行。在一种可能的实现方式中，所述固定安装座与所述底座的侧壁相连接的一端开设有多个第一螺孔；所述底座的侧壁上开设有多个与所述第一螺孔相匹配的第二螺孔；所述固定安装座与所述底座的侧壁通过所述第一螺孔和所述第二螺孔进行螺纹连接。在一种可能的实现方式中，多个所述第一螺孔的孔径不完全相同；且多个所述第二螺孔的孔径不完全相同。在一种可能的实现方式中，所述轴承组还包括旋转轴；所述旋转轴的一端与所述轴承的内圈固定连接；其中，在所述炉筒接触到所述轴承的表面时，所述轴承的外圈能够以所述旋转轴的中轴线为转轴转动；所述固定安装座朝向所述炉筒设置的一端上开设有通孔；所述通孔的开口所在的平面与所述炉筒的横截面相垂直；所述旋转轴未与所述轴承相连接的一端穿插在所述通孔中，通过所述通孔与所述固定安装座固定连接。在一种可能的实现方式中，还包括螺母；所述旋转轴穿过所述通孔的一端的端面上设置有螺纹；所述螺母与所述螺纹相配合，以使所述旋转轴与所述固定安装座螺接。在一种可能的实现方式中，所述轴承组呈“T”型结构，且所述旋转轴的直径与所述固定安装座朝向所述炉筒端上的所述通孔的直径相同。根据本公开的另一方面，提供了一种单晶炉，包括前面任一所述的单晶炉炉体。本实施例的单晶炉炉体，通过在底座上安装两个以上的炉筒导向装置，在炉筒归位降落时，当炉筒接触到炉筒导向装置后，炉筒导向装置中的轴承发生转动，炉筒在轴承的转动下被导向至正确位置。操作方案简单高效，便于实现。根据下面参考附图对示例性实施例的详细说明，本公开的其它特征及方面将变得清楚。附图说明包含在说明书中并且构成说明书的一部分的附图与说明书一起示出了本公开的示例性实施例、特征和方面，并且用于解释本公开的原理。图1示出本公开实施例的单晶炉炉体的主视剖面图；图2示出本公开实施例的单晶炉炉体的俯视图。具体实施方式以下将参考附图详细说明本公开的各种示例性实施例、特征和方面。附图中相同的附图标记表示功能相同或相似的元件。尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图。其中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术或简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在这里专用的词“示例性”意为“用作例子、实施例或说明性”。这里作为“示例性”所说明的任何实施例不必解释为优于或好于其它实施例。另外，为了更好的说明本公开，在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节。本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本公开同样可以实施。在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的方法、手段、元件和电路未作详细描述，以便于凸显本公开的主旨。图1示出根据本公开一实施例的单晶炉炉体100主视剖面图。如图1所示，该单晶炉炉体100包括：相配合的底座120和炉筒110。此处，本领域技术人员可以理解的是，底座120和炉筒110之间的配合指的是，在使用单晶炉进行单晶拉制时，单晶炉炉体100中的炉筒110扣合在底座120上，与底座120形成一封闭空间。在单晶拉制工艺结束，停炉后，炉筒110通过提升机构可以由底座120上提起，旋转开。其中，底座120的侧壁上安装有两个以上的炉筒导向装置130。炉筒导向装置130包括固定安装座132和轴承组131。固定安装座132的一端与所述底座120的侧壁固定连接，所述固定安装座132的另一端朝向所述炉筒110设置；轴承组131固定安装在所述固定安装座132的另一端上，且轴承组131中的轴承1312，适用于在所述炉筒110接触到所述轴承1312的表面时转动，以对所述炉筒110进行导向。由此，本公开实施例的单晶炉炉体100，通过在底座120的侧壁上安装两个以上的炉筒导向装置130，每个炉筒导向装置130朝向炉筒110的一端均固定安装有轴承组131。其中，轴承组131的轴承1312，适用于在炉筒110接触到轴承1312的表面时转动，以实现对炉筒110的导向。其通过采用轴承1312的转动来实现对炉筒110安装到底座120上时的导向，从而使得炉筒110在轴承1312的转动下能够实现自动归位的目的，相较于相关技术中采用销孔与销轴的配合进行炉筒110的归位操作方式，有效简化了炉筒110的归位操作，降低了炉筒110归位难度，最终有效提高了炉筒110安装到底本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉炉体，其特征在于，包括相配合的底座和炉筒；/n其中，所述底座的侧壁上安装有两个以上的炉筒导向装置；/n所述炉筒导向装置包括固定安装座和轴承组；/n所述固定安装座的一端与所述底座的侧壁固定连接，所述固定安装座的另一端朝向所述炉筒设置；/n所述轴承组固定安装在所述固定安装座的另一端上，且/n所述轴承组中的轴承，适用于在所述炉筒接触到所述轴承的表面时转动，以对所述炉筒进行导向。/n

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉炉体，其特征在于，包括相配合的底座和炉筒；
其中，所述底座的侧壁上安装有两个以上的炉筒导向装置；
所述炉筒导向装置包括固定安装座和轴承组；
所述固定安装座的一端与所述底座的侧壁固定连接，所述固定安装座的另一端朝向所述炉筒设置；
所述轴承组固定安装在所述固定安装座的另一端上，且
所述轴承组中的轴承，适用于在所述炉筒接触到所述轴承的表面时转动，以对所述炉筒进行导向。


2.根据权利要求1所述的单晶炉炉体，其特征在于，所述炉筒导向装置的个数为四个，且
四个所述炉筒导向装置等间隔安装在所述底座的侧壁上，且四个所述炉筒导向装置成对设置；
其中，每对所述炉筒导向装置相对所述底座的中轴线对称。


3.根据权利要求1所述的单晶炉炉体，其特征在于，所述固定安装座的主体呈“L”型结构；
其中，主体呈“L”型结构的所述固定安装座中，横截面面积较大的一端与所述底座的侧壁螺接，横截面面积较小的一端作为所述固定安装座的另一端，固定安装有所述轴承组。


4.根据权利要求1所述的单晶炉炉体，其特征在于，所述固定安装座的中轴线与所述底座的中轴线相平行。


5.根据权利要求3所述的单晶炉炉体，其特征在于，所述固定安装座与所述底座的侧壁相连接的一端开设有多个第一螺孔；
所述底座的侧壁上开...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁静，关树军，陈辉，
申请(专利权)人：北京天能运通晶体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11