水冷热屏装置及具有其的单晶炉制造方法及图纸

本申请涉及一种水冷热屏装置及具有其的单晶炉，水冷热屏装置包括进水管、出水管、水冷热屏本体、第一承重块组和第二承重块组；第一承重块组包括用于悬挂单晶炉的第一热场装置的第一承重块和第二承重块；第一承重块固定安装在进水管邻近水冷热屏本体一侧的管面上，第二承重块固定安装在出水管邻近水冷热屏本体一侧的管面上；第二承重块组包括用于悬挂单晶炉的第二热场装置的第三承重块和第四承重块；第三承重块位于第一承重块上，并与第一承重块可拆卸连接；第四承重块位于第二承重块上，并与第二承重块可拆卸连接。通过第一承重块组悬挂安装第一热场装置，第二承重块组悬挂安装第二热场装置，有效提高了水冷热屏装置的灵活性。

Water cooling hot screen device and single crystal furnace with it

【技术实现步骤摘要】
水冷热屏装置及具有其的单晶炉
本公开涉及半导体工艺设备
，尤其涉及一种水冷热屏装置及具有其的单晶炉。
技术介绍
伴随着全球光伏市场需求的持续发展，国内去产能化的继续，降低单晶硅生产成本日益迫切。在此种背景下，急需一种既能提升拉速，又能充分利用复投多装料节约时间提高效率，用于单晶硅的水冷热屏装置。目前的水冷热屏普遍是只能适用于一种热场内的，适用性比较单一。
技术实现思路
有鉴于此，本公开提出了一种水冷热屏装置，能够兼容至少两种不同的热场，从而可以有效提高水冷热屏装置的适用性。根据本公开的一方面，提供了一种水冷热屏装置，包括进水管、出水管、水冷热屏本体、第一承重块组和第二承重块组；所述水冷热屏本体具有内腔，所述内腔内设置有水冷管道；所述进水管与所述水冷管道的进水口连通，所述出水管与所述水冷管道的出水口连通；所述第一承重块组包括用于悬挂单晶炉的第一热场装置的第一承重块和第二承重块；其中，所述第一承重块固定安装在所述进水管邻近所述水冷热屏本体一侧的管面上，所述第二承重块固定安装在所述出水管邻近所述水冷热屏本体一侧的管面上；所述第二承重块组包括用于悬挂所述单晶炉的第二热场装置的第三承重块和第四承重块；其中，所述第三承重块位于所述第一承重块上，并与所述第一承重块可拆卸连接；所述第四承重块位于所述第二承重块上，并与所述第二承重块可拆卸连接。在一种可能的实现方式中，所述第一承重块的主体为矩形块；其中，所述第一承重块与所述进水管邻近所述水冷热屏本体一侧的管面相连接的端面开设有凹槽；所述凹槽卡接在所述进水管邻近所述水冷热屏本体一侧的管面上，且所述凹槽的边缘与所述进水管邻近所述水冷热屏本体的管面固定连接。在一种可能的实现方式中，所述凹槽的边缘与所述进水管邻近所述水冷热屏本体的管面之间的固定连接方式为焊接。在一种可能的实现方式中，所述第一承重块的一端开设有第一开口；所述第二承重块的一端开设有第二开口；所述第一开口和所述第二开口均呈“U”形；所述第一开口和所述第二开口，分别适用于悬挂所述第一热场装置两端的连接件。在一种可能的实现方式中，所述第一开口的朝向与所述第二开口的朝向反向设置。在一种可能的实现方式中，所述第三承重块与所述第一承重块之间的可拆卸连接方式为螺接；所述第四承重块与所述第二承重块之间的可拆卸连接方式为螺接。在一种可能的实现方式中，所述第三承重块与所述第一承重块相贴合；所述第三承重块的一端开设有适用于悬挂所述第二热场装置的第三开口；所述第三承重块的另一端开设有第一螺孔，所述第一螺孔配置有第一螺栓；所述第一螺孔与所述第一承重块的所述第一开口相连通，所述第一螺栓穿过所述第一螺孔和所述第一开口后，通过螺母将所述第三承重块与所述第一承重块固定连接。在一种可能的实现方式中，所述第四承重块与所述第二承重块相贴合；且所述第四承重块的一端开设有适用于悬挂所述第二热场装置的第四开口；所述第四承重块的另一端开设有第二螺孔，所述第二螺孔配置有第二螺栓；所述第二螺孔与所述第二承重块的所述第二开口相连通，所述第二螺栓穿过所述第二螺孔和所述第二开口后，通过螺母将所述第四承重块与所述第二承重块固定连接。在一种可能的实现方式中，所述进水管包括依次连通的第一管件、第二管件和第三管件；所述第一管件与所述第二管件之间的连接角，以及所述第二管件与所述第三管件之间的连接角均设置有连接件；所述出水管包括第四管件、第五管件和第六管件；所述第四管件与所述第五管件之间的连接角，以及所述第五管件与所述第六管件之间的连接角均设置有所述连接件。根据本公开的一方面，还提供了一种单晶炉，包括如上任一所述的水冷热屏装置。本公开实施例的水冷热屏装置，通过设置两组承重块(即，第一承重块组和第二承重块组)，并设置第一承重块组和第二承重块组可拆卸连接，通过第一承重块组悬挂安装第一热场装置，第二承重块组悬挂安装第二热场装置，使得本公开实施例的水冷热屏装置能够兼容两种不同的热场，这也就有效提高了水冷热屏装置的灵活性。根据下面参考附图对示例性实施例的详细说明，本公开的其它特征及方面将变得清楚。附图说明包含在说明书中并且构成说明书的一部分的附图与说明书一起示出了本公开的示例性实施例、特征和方面，并且用于解释本公开的原理。图1示出本公开实施例的水冷热屏装置的主体结构图；图2示出本公开实施例的水冷热屏装置处于一种热场中时的主体结构图。具体实施方式以下将参考附图详细说明本公开的各种示例性实施例、特征和方面。附图中相同的附图标记表示功能相同或相似的元件。尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图。其中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术或简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在这里专用的词“示例性”意为“用作例子、实施例或说明性”。这里作为“示例性”所说明的任何实施例不必解释为优于或好于其它实施例。另外，为了更好的说明本公开，在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节。本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本公开同样可以实施。在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的方法、手段、元件和电路未作详细描述，以便于凸显本公开的主旨。图1示出根据本公开一实施例的水冷热屏装置的主体结构示意图。如图1所示，该水冷热屏装置100包括：进水管110、出水管120、第一承重块组130、第二承重块组140和水冷热屏本体150。此处，需要指出的是，在本公开实施例的水冷热屏装置100中，水冷热屏本体150具有内腔，内腔内设置有水冷管道(图中未示出)。进水管110与水冷管道的进水口连通，出水管120与水冷管道的出水口连通。即，通过进水管110、水冷管道和出水管120依次连通，形成水冷循环回路，从而对拉制出的单晶棒进行水冷降温处理。同时，在本公开实施例的水冷热屏装置100中，参阅图2，第一承重块组130包括用于悬挂单晶炉的第一热场装置的第一承重块131和第二承重块132。其中，第一承重块131固定安装在进水管110邻近水冷热屏本体150一侧的管本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种水冷热屏装置，其特征在于，包括进水管、出水管、水冷热屏本体、第一承重块组和第二承重块组；/n所述水冷热屏本体具有内腔，所述内腔内设置有水冷管道；/n所述进水管与所述水冷管道的进水口连通，所述出水管与所述水冷管道的出水口连通；/n所述第一承重块组包括用于悬挂单晶炉的第一热场装置的第一承重块和第二承重块；/n其中，所述第一承重块固定安装在所述进水管邻近所述水冷热屏本体一侧的管面上，所述第二承重块固定安装在所述出水管邻近所述水冷热屏本体一侧的管面上；/n所述第二承重块组包括用于悬挂所述单晶炉的第二热场装置的第三承重块和第四承重块；/n其中，所述第三承重块位于所述第一承重块上，并与所述第一承重块可拆卸连接；所述第四承重块位于所述第二承重块上，并与所述第二承重块可拆卸连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种水冷热屏装置，其特征在于，包括进水管、出水管、水冷热屏本体、第一承重块组和第二承重块组；
所述水冷热屏本体具有内腔，所述内腔内设置有水冷管道；
所述进水管与所述水冷管道的进水口连通，所述出水管与所述水冷管道的出水口连通；
所述第一承重块组包括用于悬挂单晶炉的第一热场装置的第一承重块和第二承重块；
其中，所述第一承重块固定安装在所述进水管邻近所述水冷热屏本体一侧的管面上，所述第二承重块固定安装在所述出水管邻近所述水冷热屏本体一侧的管面上；
所述第二承重块组包括用于悬挂所述单晶炉的第二热场装置的第三承重块和第四承重块；
其中，所述第三承重块位于所述第一承重块上，并与所述第一承重块可拆卸连接；所述第四承重块位于所述第二承重块上，并与所述第二承重块可拆卸连接。


2.根据权利要求1所述的水冷热屏装置，其特征在于，所述第一承重块的主体为矩形块；
其中，所述第一承重块与所述进水管邻近所述水冷热屏本体一侧的管面相连接的端面开设有凹槽；
所述凹槽卡接在所述进水管邻近所述水冷热屏本体一侧的管面上，且
所述凹槽的边缘与所述进水管邻近所述水冷热屏本体的管面固定连接。


3.根据权利要求2所述的水冷热屏装置，其特征在于，所述凹槽的边缘与所述进水管邻近所述水冷热屏本体的管面之间的固定连接方式为焊接。


4.根据权利要求2所述的水冷热屏装置，其特征在于，所述第一承重块的一端开设有第一开口；所述第二承重块的一端开设有第二开口；
所述第一开口和所述第二开口均呈“U”形；
所述第一开口和所述第二开口，分别适用于悬挂所述第一热场装置两端的连接件。


5.根据权利要求4所述的水冷热屏装置，其特征在于，所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：包娜娜，关树军，陈辉，
申请(专利权)人：北京天能运通晶体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11