一种提拉法晶体生长设备用冷却装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种提拉法晶体生长设备用冷却装置，包括支撑座、籽晶杆和冷却套，在周向阵列分布的滑轨、压头、滑动柱、滑套和弹簧的作用下可以压紧籽晶杆，减缓籽晶杆的晃动进而保证了晶体的生产质量，同时由于压头内设置有球头安装座和球头，所以在压紧的过程中并不会影响籽晶杆作旋转运动；在循环泵的作用下使储液箱内的冷却液在冷却管内循环流动，螺旋形的冷却管可以增大冷却面积提高冷却效果，进而提高了籽晶杆的使用寿命。

A cooling device for Czochralski crystal growth equipment

【技术实现步骤摘要】
一种提拉法晶体生长设备用冷却装置
本技术涉及晶体生长设备领域，特别是涉及一种提拉法晶体生长设备用冷却装置。
技术介绍
直拉单晶制造法是一种常见的从熔体种提拉生长高质量晶体的方法，该方法可以用于生产无色蓝宝石、红宝石、钇铝榴石、钆镓榴石、变石和尖晶石等重要的宝石晶体。其基本原理如下：是把原料多硅晶块放入石英坩埚中，在炉中加热融化，在熔体表面接籽晶提拉熔体，在一定条件下，使籽晶和熔体在交界面上不断进行原子或者分子的重新排列，随着温度逐渐凝固而生长出晶体，在熔化和凝固的过程中，需要提拉设备不断的提拉和旋转，才能达到符合晶体生长的条件。现有的提拉法晶体生长设备工作时由于籽晶杆会作提拉旋转运动，会在生产过程中晃动，籽晶杆的晃动会出现产品不良的情况，且现有的冷却套结构简单冷却效果不好，进而降低了籽晶杆的使用寿命。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种提拉法晶体生长设备用冷却装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种提拉法晶体生长设备用冷却装置，包括支撑座、籽晶杆和冷却套，所述冷却套通过连接件与支撑座底部固连，籽晶杆依次穿过支撑座和冷却套，其特征在于，所述籽晶杆位于冷却套内腔部分的外侧设置有冷却管，冷却管固定安装于冷却套内壁，冷却管的两个管口穿出冷却套侧壁分别与循环泵和储液箱连通，循环泵和储液箱相互连通，循环泵和储液箱固定安装于支撑座底部；所述冷却套内壁顶部和底部周向通有多个限位安装槽，限位安装槽内壁固连有滑轨和滑套，滑轨上滑动连接有压头，压头背向籽晶杆一端固连有滑动柱，滑套与滑动柱滑动连接，滑套外侧设置有弹簧，弹簧两端分别与压头和限位安装槽内壁固连；所述压头朝向籽晶杆一端嵌装有多个球头安装座，球头安装座内安装有球头。所述压头朝向籽晶杆一端为弧面，弧面半径与籽晶杆匹配设置。所述限位安装槽沿籽晶杆中心轴线阵列分布。所述球头安装座呈阵列分布。所述冷却管为螺旋状，增加了冷却面积。所述储液箱侧壁设置有充液管口。本技术的有益效果是：在周向阵列分布的滑轨、压头、滑动柱、滑套和弹簧的作用下可以压紧籽晶杆，减缓籽晶杆的晃动进而保证了晶体的生产质量，同时由于压头内设置有球头安装座和球头所以在压紧的过程中并不会影响籽晶杆作旋转运动；在循环泵的作用下使储液箱内的冷却液在冷却管内循环流动，螺旋形的冷却管可以增大冷却面积提高冷却效果，进而提高了籽晶杆的使用寿命。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为本技术中A处的局部放大图；图3为本技术中B向的局部示意图；图4为本技术中冷却管的结构示意图。图中:支撑座1、籽晶杆2、冷却套3、冷却管4、循环泵5、储液箱6、限位安装槽7、滑轨8、压头9、滑套10、滑动柱11、弹簧12、球头安装座13、球头14。具体实施方式下面结合附图进一步详细描述本技术的技术方案，但本技术的保护范围不局限于以下所述。请参阅图1～4，本技术实施例中一种提拉法晶体生长设备用冷却装置，包括支撑座1、籽晶杆2和冷却套3，所述冷却套3通过连接件与支撑座1底部固连，籽晶杆2依次穿过支撑座1和冷却套3，籽晶杆2下端固连有籽晶杆定位盘，籽晶杆2会随着支撑座1上下运动，籽晶杆2会在电机和皮带轮的作用下作旋转运动，所述籽晶杆2位于冷却套3内腔部分的外侧设置有螺旋状的冷却管4，冷却管4固定安装于冷却套3内壁，冷却管4的两个管口穿出冷却套3侧壁分别与循环泵5和储液箱6连通，循环泵5和储液箱6相互连通，循环泵5和储液箱6固定安装于支撑座1底部，储液箱6侧壁设置有充液管口用来更换冷却液。所述冷却套3内壁顶部和底部周向通有多个限位安装槽7，限位安装槽7沿籽晶杆2中心轴线阵列分布，限位安装槽7内壁固连有滑轨8和滑套10，滑轨8设置在限位安装槽7内壁沿籽晶杆2径向方向上，滑套10设置在限位安装槽7内壁沿籽晶杆2轴向方向上，滑轨8上滑动连接有压头9，压头9朝向籽晶杆2一端为弧面，弧面半径与籽晶杆2匹配设置，压头9背向籽晶杆2一端固连有滑动柱1，滑套10与滑动柱11滑动连接，滑套10外侧设置有弹簧12，弹簧12两端分别与压头9和限位安装槽7内壁固连；所述压头9朝向籽晶杆2一端嵌装有多个球头安装座13且球头安装座13呈阵列分布，球头安装座13内安装有球头14。本技术的工作原理是：本技术涉及一种提拉法晶体生长设备用冷却装置，在用提拉法制备晶体的过程中，籽晶杆2会在驱动装置的作用下作旋转运动，同时会随支撑座1上下移动，所以在制备晶体的过程中籽晶杆2会有一定程度的晃动，进而影响晶体的质量，在周向阵列分布的滑轨8、压头9、滑动柱11、滑套10和弹簧12的作用下可以压紧籽晶杆2，减缓籽晶杆2的晃动进而保证了晶体的生产质量，同时由于压头9内设置有球头安装座13和球头14所以在压紧的过程中并不会影响籽晶杆2作旋转运动；在循环泵5的作用下使储液箱6内的冷却液在冷却管4内循环流动，螺旋形的冷却管4可以增大冷却面积提高冷却效果，进而提高了籽晶杆2的使用寿命。以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当理解本技术并非局限于本文所披露的形式，不应看作是对其他实施例的排除，而可用于各种其他组合、修改和环境，并能够在本文所述构想范围内，通过上述教导或相关领域的技术或知识进行改动。而本领域人员所进行的改动和变化不脱离本技术的精神和范围，则都应在本技术所附权利要求的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种提拉法晶体生长设备用冷却装置，包括支撑座(1)、籽晶杆(2)和冷却套(3)，所述冷却套(3)通过连接件与支撑座(1)底部固连，籽晶杆(2)依次穿过支撑座(1)和冷却套(3)，其特征在于，所述籽晶杆(2)位于冷却套(3)内腔部分的外侧设置有冷却管(4)，冷却管(4)固定安装于冷却套(3)内壁，冷却管(4)的两个管口穿出冷却套(3)侧壁分别与循环泵(5)和储液箱(6)连通，循环泵(5)和储液箱(6)相互连通，循环泵(5)和储液箱(6)固定安装于支撑座(1)底部；/n所述冷却套(3)内壁顶部和底部周向通有多个限位安装槽(7)，限位安装槽(7)内壁固连有滑轨(8)和滑套(10)，滑轨(8)上滑动连接有压头(9)，压头(9)背向籽晶杆(2)一端固连有滑动柱(11)，滑套(10)与滑动柱(11)滑动连接，滑套(10)外侧设置有弹簧(12)，弹簧(12)两端分别与压头(9)和限位安装槽(7)内壁固连；所述压头(9)朝向籽晶杆(2)一端嵌装有多个球头安装座(13)，球头安装座(13)内安装有球头(14)。/n

【技术特征摘要】
1.一种提拉法晶体生长设备用冷却装置，包括支撑座(1)、籽晶杆(2)和冷却套(3)，所述冷却套(3)通过连接件与支撑座(1)底部固连，籽晶杆(2)依次穿过支撑座(1)和冷却套(3)，其特征在于，所述籽晶杆(2)位于冷却套(3)内腔部分的外侧设置有冷却管(4)，冷却管(4)固定安装于冷却套(3)内壁，冷却管(4)的两个管口穿出冷却套(3)侧壁分别与循环泵(5)和储液箱(6)连通，循环泵(5)和储液箱(6)相互连通，循环泵(5)和储液箱(6)固定安装于支撑座(1)底部；
所述冷却套(3)内壁顶部和底部周向通有多个限位安装槽(7)，限位安装槽(7)内壁固连有滑轨(8)和滑套(10)，滑轨(8)上滑动连接有压头(9)，压头(9)背向籽晶杆(2)一端固连有滑动柱(11)，滑套(10)与滑动柱(11)滑动连接，滑套(10)外侧设置有弹簧(12)，弹簧(12)两端分别与压头(9)和限位安装槽(7...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘刚，
申请(专利权)人：成都晶九科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51