电极孔堵板装置及具有其的单晶炉制造方法及图纸

本申请涉及电极孔堵板装置及具有其的单晶炉，电极孔堵板装置包括上压盖、下压盖和紧固件。上压盖的盖体的周边设置有卡接部，卡接部适用于卡接在电极座所围成的电极孔的第一开口处，以使上压盖覆盖第一开口；上压盖的盖体朝向电极孔的端面设置有第一凸台；下压盖的主体呈板状，且所述下压盖适用于覆盖与所述第一开口位置相对的所述电极孔的第二开口；其中，下压盖的端面开设有通孔，紧固件穿过通孔，并与上压盖的第一凸台固定连接。该电极孔堵板装置零部件减少至7件并且可拆卸，安装简单，节省材料，降低了加工成本，有效地简化了结构。

Electrode hole blocking device and single crystal furnace with it

【技术实现步骤摘要】
电极孔堵板装置及具有其的单晶炉
本公开涉及半导体工艺设备
，尤其涉及一种电极孔堵板装置及具有其的单晶炉。
技术介绍
近些年，在太阳能光伏行业，为了降低单晶硅片成本，其中一项措施就是不断研发、新上大规格单晶炉(炉膛内径≥1200mm)，而大规格单晶炉考虑到以后其热场能升级到更大都会预留一对电极孔，对预留一对电极孔堵起来的现有做法是：通过设置电极孔堵板，采用电极孔堵板将预留的电极孔进行密封。在相关技术中，所采用的电极孔堵板与其他主副电极孔的堵板结构相同，包含有陶瓷垫、电极杆及四氟套件等12种零件，结构非常复杂。
技术实现思路
有鉴于此，本公开提出了一种电极孔堵板装置，可以大大减少安装件的个数，有效简化电极孔的密封结构。根据本公开的一方面，提供了一种电极孔堵板装置，包括上压盖、下压盖和紧固件；所述上压盖的盖体的周边设置有卡接部，所述卡接部适用于卡接在电极座所围成的电极孔的第一开口处，以使所述上压盖覆盖所述第一开口；所述上压盖的盖体朝向所述电极孔的端面设置有第一凸台；所述下压盖的主体呈板状，且所述下压盖适用于覆盖与所述第一开口位置相对的所述电极孔的第二开口；其中，所述下压盖的端面开设有通孔，所述紧固件穿过所述通孔，并与所述上压盖的所述第一凸台固定连接。在一种可能的实现方式中，所述上压盖的盖体与所述第一凸台为一体成型。在一种可能的实现方式中，所述第一凸台为圆柱体；其中，所述第一凸台的侧壁呈阶梯状。在一种可能的实现方式中，所述紧固件包括螺栓；所述第一凸台开设有紧固孔；其中，所述螺栓的螺杆的直径与所述通孔的孔径相同；且所述紧固孔的内壁设置有与所述螺栓相匹配的螺纹。在一种可能的实现方式中，所述螺栓的头部与所述通孔相接触的位置处安装有垫圈；所述垫圈的内径与所述螺栓的螺杆的直径相同。在一种可能的实现方式中，所述下压盖朝向所述电极孔的端面设置有第二凸台；其中，所述第二凸台呈圆柱体，且所述第二凸台的侧壁与所述通孔的孔壁相贴合。在一种可能的实现方式中，所述下压盖的盖体与所述第二凸台相连接的位置处开设有环形结构的第一密封槽；所述第一密封槽内安装有第一密封圈；所述第一密封圈的内径与所述通孔的孔径相同。在一种可能的实现方式中，所述下压盖背向所述电极孔的所述第二开口的端面开设有第二密封槽；所述第二密封槽位于所述通孔的周边，并围绕所述通孔设置；所述第二密封槽内安装有第二密封圈；所述第二密封圈的内径与所述通孔的孔径相同。在一种可能的实现方式中，所述下压盖的盖体与所述第二凸台一体成型。根据本公开的一方面，还提供了一种单晶炉，包括如上任一所述的电极孔堵板装置。本公开实施例的电极孔堵板装置，通过设置上压盖和下压盖，由上压盖和下压盖分别覆盖电极孔的第一开口和第二开口，并通过紧固件穿过下压盖所开设的通孔，与上压盖固定连接来实现对电极孔的密封，相较于相关技术中需要采用12个零部件来进行电极孔的密封的方式，大大减少了零部件的个数，从而降低了电极孔的密封难度，并且方便拆卸，安装简单，节省材料，降低了加工成本，有效地简化了结构。根据下面参考附图对示例性实施例的详细说明，本公开的其它特征及方面将变得清楚。附图说明包含在说明书中并且构成说明书的一部分的附图与说明书一起示出了本公开的示例性实施例、特征和方面，并且用于解释本公开的原理。图1示出本公开实施例的电极孔堵板装置的主体结构剖面图；图2示出本公开实施例的电极孔堵板装置的主体俯视图。具体实施方式以下将参考附图详细说明本公开的各种示例性实施例、特征和方面。附图中相同的附图标记表示功能相同或相似的元件。尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除非特别指出，不必按比例绘制附图。其中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术或简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在这里专用的词“示例性”意为“用作例子、实施例或说明性”。这里作为“示例性”所说明的任何实施例不必解释为优于或好于其它实施例。另外，为了更好的说明本公开，在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节。本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本公开同样可以实施。在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的方法、手段、元件和电路未作详细描述，以便于凸显本公开的主旨。图1示出根据本公开一实施例的电极孔堵板装置的主体结构剖面图。如图1所示，该电极孔堵板装置包括：上压盖110、下压盖120和紧固件130。其中，上压盖110的盖体的周边设置有卡接部，卡接部适用于卡接在电极座200所围成的电极孔的第一开口处，以使上压盖110覆盖第一开口。上压盖110的盖体朝向电极孔的端面设置有第一凸台180，下压盖120的主体呈板状，且下压盖120适用于覆盖与第一开口位置相对的电极孔的第二开口。其中，下压盖120的端面开设有通孔，紧固件130穿过通孔，并与上压盖110的第一凸台180固定连接。由此，本公开实施例的电极孔堵板装置，通过设置上压盖110和下压盖120，由上压盖110和下压盖120分别覆盖电极孔的第一开口和第二开口，并通过紧固件130穿过下压盖120所开设的通孔，与上压盖110固定连接来实现对电极孔的密封，相较于相关技术中需要采用12个零部件来进行电极孔的密封的方式，大大减少了零部件的个数，从而简化了电极孔的密封结构，同时还降低了电极孔的密封难度。在一种可能的实现方式中，上压盖110的第一凸台180与下压盖120可以为螺接。如：参阅图1，在本公开实施例的电极孔堵板装置中，紧固件130为螺栓，第一凸台180开设有紧固孔，其中，螺栓的螺杆的直径与通孔的孔径相同；且紧固孔的内壁设置有与螺栓相匹配的螺纹。由此，在进行电极孔的堵封时，直接将螺栓的螺杆穿过通孔，与第一凸台180的紧固孔螺接，使下压盖120与上压盖110覆盖电极座200的电极孔的第一开口与第二开口，达到密封的效果即可。其安装方式简单，易于实现。需要指出的是，在本公开实施例的电极孔堵板装置中，参阅图2，上压盖110与下压盖120均可为圆形盖体。其中，电极座200围设成电极孔，上压盖110与下压盖120本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电极孔堵板装置，其特征在于，包括上压盖、下压盖和紧固件；/n所述上压盖的盖体的周边设置有卡接部，所述卡接部适用于卡接在电极座所围成的电极孔的第一开口处，以使所述上压盖覆盖所述第一开口；/n所述上压盖的盖体朝向所述电极孔的端面设置有第一凸台；/n所述下压盖的主体呈板状，且所述下压盖适用于覆盖与所述第一开口位置相对的所述电极孔的第二开口；/n其中，所述下压盖的端面开设有通孔，所述紧固件穿过所述通孔，并与所述上压盖的所述第一凸台固定连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种电极孔堵板装置，其特征在于，包括上压盖、下压盖和紧固件；
所述上压盖的盖体的周边设置有卡接部，所述卡接部适用于卡接在电极座所围成的电极孔的第一开口处，以使所述上压盖覆盖所述第一开口；
所述上压盖的盖体朝向所述电极孔的端面设置有第一凸台；
所述下压盖的主体呈板状，且所述下压盖适用于覆盖与所述第一开口位置相对的所述电极孔的第二开口；
其中，所述下压盖的端面开设有通孔，所述紧固件穿过所述通孔，并与所述上压盖的所述第一凸台固定连接。


2.根据权利要求1所述的电极孔堵板装置，其特征在于，所述上压盖的盖体与所述第一凸台为一体成型。


3.根据权利要求1所述的电极孔堵板装置，其特征在于，所述第一凸台为圆柱体；
其中，所述第一凸台的侧壁呈阶梯状。


4.根据权利要求1所述的电极孔堵板装置，其特征在于，所述紧固件包括螺栓；所述第一凸台开设有紧固孔；
其中，所述螺栓的螺杆的直径与所述通孔的孔径相同；且
所述紧固孔的内壁设置有与所述螺栓相匹配的螺纹。


5.根据权利要求4所述的电极孔堵板装置，其特征在于，所述螺栓的头部与...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐选林，关树军，陈辉，
申请(专利权)人：北京天能运通晶体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11