电极孔堵板装置及具有其的单晶炉制造方法及图纸

本申请涉及电极孔堵板装置及具有其的单晶炉，电极孔堵板装置包括上压盖、下压盖和紧固件。上压盖的盖体的周边设置有卡接部，卡接部适用于卡接在电极座所围成的电极孔的第一开口处，以使上压盖覆盖第一开口；上压盖的盖体朝向电极孔的端面设置有第一凸台；下压盖的主体呈板状，且所述下压盖适用于覆盖与所述第一开口位置相对的所述电极孔的第二开口；其中，下压盖的端面开设有通孔，紧固件穿过通孔，并与上压盖的第一凸台固定连接。该电极孔堵板装置零部件减少至7件并且可拆卸，安装简单，节省材料，降低了加工成本，有效地简化了结构。

Electrode hole blocking device and single crystal furnace with it

【技术实现步骤摘要】
电极孔堵板装置及具有其的单晶炉
本公开涉及半导体工艺设备
，尤其涉及一种电极孔堵板装置及具有其的单晶炉。
技术介绍
近些年，在太阳能光伏行业，为了降低单晶硅片成本，其中一项措施就是不断研发、新上大规格单晶炉(炉膛内径≥1200mm)，而大规格单晶炉考虑到以后其热场能升级到更大都会预留一对电极孔，对预留一对电极孔堵起来的现有做法是：通过设置电极孔堵板，采用电极孔堵板将预留的电极孔进行密封。在相关技术中，所采用的电极孔堵板与其他主副电极孔的堵板结构相同，包含有陶瓷垫、电极杆及四氟套件等12种零件，结构非常复杂。
技术实现思路
有鉴于此，本公开提出了一种电极孔堵板装置，可以大大减少安装件的个数，有效简化电极孔的密封结构。根据本公开的一方面，提供了一种电极孔堵板装置，包括上压盖、下压盖和紧固件；所述上压盖的盖体的周边设置有卡接部，所述卡接部适用于卡接在电极座所围成的电极孔的第一开口处，以使所述上压盖覆盖所述第一开口；所述上压盖的盖体朝向所述电极孔的端面设置有第一凸台；所述下压盖的主体呈板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电极孔堵板装置，其特征在于，包括上压盖、下压盖和紧固件；/n所述上压盖的盖体的周边设置有卡接部，所述卡接部适用于卡接在电极座所围成的电极孔的第一开口处，以使所述上压盖覆盖所述第一开口；/n所述上压盖的盖体朝向所述电极孔的端面设置有第一凸台；/n所述下压盖的主体呈板状，且所述下压盖适用于覆盖与所述第一开口位置相对的所述电极孔的第二开口；/n其中，所述下压盖的端面开设有通孔，所述紧固件穿过所述通孔，并与所述上压盖的所述第一凸台固定连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种电极孔堵板装置，其特征在于，包括上压盖、下压盖和紧固件；
所述上压盖的盖体的周边设置有卡接部，所述卡接部适用于卡接在电极座所围成的电极孔的第一开口处，以使所述上压盖覆盖所述第一开口；
所述上压盖的盖体朝向所述电极孔的端面设置有第一凸台；
所述下压盖的主体呈板状，且所述下压盖适用于覆盖与所述第一开口位置相对的所述电极孔的第二开口；
其中，所述下压盖的端面开设有通孔，所述紧固件穿过所述通孔，并与所述上压盖的所述第一凸台固定连接。


2.根据权利要求1所述的电极孔堵板装置，其特征在于，所述上压盖的盖体与所述第一凸台为一体成型。


3.根据权利要求1所述的电极孔堵板装置，其特征在于，所述第一凸台为圆柱体；
其中，所述第一凸台的侧壁呈阶梯状。


4.根据权利要求1所述的电极孔堵板装置，其特征在于，所述紧固件包括螺栓；所述第一凸台开设有紧固孔；
其中，所述螺栓的螺杆的直径与所述通孔的孔径相同；且
所述紧固孔的内壁设置有与所述螺栓相匹配的螺纹。


5.根据权利要求4所述的电极孔堵板装置，其特征在于，所述螺栓的头部与...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐选林，关树军，陈辉，
申请(专利权)人：北京天能运通晶体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11