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本申请涉及一种抽气管道及具有其的单晶炉，其中抽气管道包括清洁管路、清洁口封盖和燃烧阀。其中，清洁口封盖固定安装在清洁管路的第一开口端，用于密封清洁管路的第一开口，燃烧阀固定安装在清洁管路的管壁上，且邻近清洁口封盖，燃烧阀，适用于清理单晶炉的...
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