本实用新型专利技术涉及半导体加工领域，具体涉及一种晶圆切割机除水装置，包括连为一体的安装部和吹气帘，所述安装部用于将所述吹气帘安装到所述晶圆切割机内部，所述吹气帘为中空结构，所述吹气帘侧壁设有若干气孔，所述吹气帘通过连接管与外接气源连通。通过安装部将装置本体安装到晶圆切割机内部，并对吹气帘通气，吹气帘通过气孔释放气体，加快晶圆切割机内部的空气流动，利用空气流动循环加快露水蒸发，增加了设备零部件的使用寿命，本装置结构简单，成本低且效果明显，节约人力还高了生产效率。
A water removing device of wafer cutting machine and its wafer cutting machine
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆切割机除水装置及其晶圆切割机
本技术涉及一种半导体加工领域，特别是一种晶圆切割机除水装置及其晶圆切割机。
技术介绍
晶圆切割，有时也叫做“划片”。一个晶圆上做出来的独立的IC有几百个到几千个甚至上万个，切割的目的是将整个晶圆上每一个独立的IC通过高速旋转的金刚石刀片切割开来，为后面的工序做准备。在切割机对晶圆进行切割时我们会用到一台辅助设备叫纯水机，因为切割中要用水温为14摄氏度的冷冻水来冲去切割产生的废渣和降低切割中产生的高温，长期使用水使得空气中水分增加，同时冷冻水使得设备的温度通常偏低，且设备内部空气流动性较低，从而导致设备内部易出现结露的情况。设备内部结露对正常生产造成严重影响：1、备件成本的增加：零部件生锈更换；2、产品成本的增加：报警频繁甚至停机影响产量；3、人力成本的增加：需要大力花时间维修更换；4、产品质量风险：生锈腐蚀和频繁的更换配件降低了设备的精度，影响切割质量；5、造成安全事故：元器件、传感器等失效可能造成人身、设备的安全事故。
技术实现思路
本技术的专利技术目的在于：针对现有技术存在晶圆切割机内部结露的问题，提供一种晶圆切割机除水装置，该装置提高了晶圆切割机内部空气流速，利用空气流动循环加快露水的蒸发，并有效防止设备内部结露，此改进简单有效，降低成本的同时还提高了生产效率。为了实现上述目的，本技术采用的技术方案为：一种晶圆切割机除水装置，其特征在于，包括连为一体的安装部和吹气帘，所述安装部用于将所述吹气帘安装到所述晶圆切割机内部，所述吹气帘为中空结构，所述吹气帘侧壁设有若干气孔，所述吹气帘通过连接管与外接气源连通。该晶圆切割机除水装置，通过安装部将装置本体安装到晶圆切割机内部，并对吹气帘通气，吹气帘通过气孔释放气体，加快晶圆切割机内部的空气流动，利用空气流动循环加快露水蒸发，增加了设备零部件的使用寿命，节约了人力还一高了生产效率。作为本技术的优选方案，所述吹气帘为空心圆柱结构，该吹气帘一端封堵。吹气帘一端封堵，另一端通过连接管与外接气源相连，使得气源气体可从气孔快速喷出，对切割机内部各处进行干燥。作为本技术的优选方案，所述安装部包括若干安装单元，所述安装单元包括连为一体的安装片和卡箍，所述安装片上设有若干安装孔，所述卡箍用于锁紧所述吹气帘。安装片用于将除水装置安装到切割机内部，卡箍锁紧吹气帘，避免在通气时，吹气帘因晃动而掉落，防松卡箍时可以对吹气帘的气孔角度进行调节，适应不同角度的通气需求，从而实现切割机内部不同方位的干燥。作为本技术的优选方案，所述吹气帘长度为800mm，外径为10mm，壁厚为0.5mm，所述吹气帘连有4个宽为20mm、间距为200mm的安装单元。在吹气帘上均匀连接安装单元，使得吹气帘安装更加稳定、可靠。作为本技术的优选方案，在所述吹气帘上布置有16个同一直线的、直径为1mm、间距为50mm的气孔。作为本技术的优选方案，所述气孔沿吹气帘外壁螺旋布置。气孔呈螺旋状布置，使得吹气帘可对360度范围内进气吹气，其干燥范围更加全面。作为本技术的优选方案，所述吹气帘及安装部均为不锈钢制造。采用不锈钢制造除水装置可减缓其腐蚀速度，提高其使用寿命，有利于降低成本。本技术还提供了一种晶圆切割机，其内部安装有如上所述的晶圆切割机除水装置。本方案中，晶圆切割机内部采用了如上所述的晶圆切割机除水装置，使得晶圆切割机内部空气流速加快，防止了内部出现结露的情况，提高了切割机的零部件使用寿命，减小了设备的故障率，从而提高了生产效率和产品质量。综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：1、该装置提高了晶圆切割机内部空气流速，利用空气流动循环加快露水的蒸发，并有效防止设备内部结露，此改进简单有效，降低成本的同时还提高了生产效率；2、零部件使用寿命增加，同时保证了产品的质量；3、节约了人力成本，同时保证了工作人员的安全。附图说明图1是本技术晶圆切割机除水装置的结构示意图。图2为本技术晶圆切割机除水装置的另一实施例的结构示意图。图3为本技术安装到晶圆切割机上的结示意图。图中标记：1-安装部，101-安装单元，1011-安装片，1012-安装孔，1013-卡箍，1014-锁紧装置，2-吹气帘，201-气孔，3-晶圆切割机，4-连接管。具体实施方式下面结合附图，对本技术作详细的说明。为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。实施例1如图1所示，本技术晶圆切割机除水装置，包括连为一体的安装部1和吹气帘2，所述安装部1用于将所述吹气帘2安装到所述晶圆切割机内部3，所述吹气帘2为中空结构，所述吹气帘2侧壁设有若干气孔201，所述吹气帘201通过连接管4与外接气源连通。具体的，吹气帘2为空心圆柱结构，末端封堵使得气体不会在吹气帘2末端泄露，而由吹气帘2各气孔201喷出，从而实现对切割机内部的干燥。；所述安装部1包括若干安装单元101，所述安装单元101包括连为一体的安装片1011和卡箍1013，所述安装片1011上设有若干安装孔1012，卡箍1013上设有锁紧装置1014，安装片1011用于将除水装置安装到切割机3内部，卡箍1013用于锁紧吹气帘2，避免在通气时，吹气帘2因晃动而掉落，防松锁紧装置1014时可以对吹气帘2的气孔201角度进行调节，适应不同角度的通气需求，从而实现晶圆切割机3内部不同方位的干燥。更具体的，所述吹气帘2长度为800mm，外径为10mm，壁厚为0.5mm，所述吹气帘2连有4个宽为20mm、间距为200mm的安装单元101；在吹气帘2上均匀连接安装单元101，使得吹气帘2安装更加稳定、可靠。在所述吹气帘2上布置有16个同一直线的、直径为1mm、间距为50mm的气孔201。进一步的，所述吹气帘2及安装部1均为不锈钢制造。采用不锈钢制造除水装置可减缓其腐蚀速度，提高其使用寿命，有利于降低成本。实施例2如图2所示，本实施例中，与实施例1的区别在于，所述气孔201沿吹气帘外壁螺旋布置，气孔201呈螺旋状布置，其干燥范围更大。实施例3晶圆切割机，本实施例提供了一种晶圆切割机，其内部安装有如上所述的晶圆切割机除水装置。本方案中，晶圆切割机3内部采用了如上所述的晶圆切割机除水装置，使得晶圆切割机内部空气流速加快，防止了内部出现结露的情况，提高了切割机的零部件使用寿命，减小了设备的故障率，从而提高了生产效率和产品质量。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆切割机除水装置，其特征在于，包括连为一体的安装部（1）和吹气帘（2），所述安装部（1）用于将所述吹气帘（2）安装到所述晶圆切割机内部（3），所述吹气帘（2）为中空结构，所述吹气帘（2）侧壁设有若干气孔（201），所述吹气帘（2）通过连接管（4）与外接气源连通。/n
【技术特征摘要】
1.一种晶圆切割机除水装置，其特征在于，包括连为一体的安装部（1）和吹气帘（2），所述安装部（1）用于将所述吹气帘（2）安装到所述晶圆切割机内部（3），所述吹气帘（2）为中空结构，所述吹气帘（2）侧壁设有若干气孔（201），所述吹气帘（2）通过连接管（4）与外接气源连通。
2.根据权利要求1所述的晶圆切割机除水装置，其特征在于，所述吹气帘（2）为空心圆柱结构，该吹气帘（2）一端封堵。
3.根据权利要求2所述的晶圆切割机除水装置，其特征在于，所述安装部（1）包括若干安装单元（101），所述安装单元（101）包括连为一体的安装片（1011）和卡箍（1013），所述安装片（1011）上设有若干安装孔（1012），所述卡箍（1013）用于锁紧所述吹气帘（2）。
4.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘剑，汤开荣，
申请(专利权)人：成都先进功率半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51
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