一种接触式芯片检测设备及方法技术

本发明专利技术公开了一种接触式芯片检测设备及方法，包括机架及直接或间接地安装在机架上的顶升检测组件、探针组件、多轴芯片承载组件、摄像组件，所述多轴芯片承载组件用于承载被检测芯片，所述顶升检测组件设置在多轴芯片承载组件底部，顶升检测组件包括芯片检测装置并可驱动芯片检测装置上升并使得芯片检测装置与多轴芯片承载组件上的被检测芯片接触，所述探针组件可打开一个分隔间隙并供摄像组件对被检测芯片进行摄像标记。该种接触式芯片检测设备及方法具有结构简单、实施成本低、性能稳定可靠、检测精度高、检测效率高、节省时间等现有技术所不具备的优点。

A contact chip testing device and method

【技术实现步骤摘要】
一种接触式芯片检测设备及方法
本专利技术涉及芯片检测领域，特别是一种接触式芯片检测设备及方法。
技术介绍
在芯片检测领域，现有芯片检测设备中，芯片在检测时需要先导通芯片，芯片发光后其光线需要透过一个隔空空间或隔空玻璃再被芯片检测装置进行检测分析，由于隔空空间或隔空玻璃的影响，芯片检测的精确度及准确度会降低，且容易受到周围环境的影响，检测效果不佳；另外，在现有芯片检测设备中，探针组件是闭合不可打开的，在需要对芯片进行摄像定位时，整个设备需要进行较大幅度及较多步骤的动作才能完成整个摄像标记工作，耗费的时间成本高，降低了检测效率；再有，在现有设备中，探针组件的探针需要运动到芯片的触脚处并对芯片导通，在该种动作模式容易导致触脚接触不良，一次检测过程需要多个组件配合运动，检测动作工序多，进一步耗费大量的时间，也进一步降低检测效率，整个设备的结构也更加复杂，安装难度更高，实施成本高，性能稳定性差。有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种新的技术方案以解决现存的技术缺陷。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本专利技术提供一种接触式芯片检测设备及方法，解决了现有技术存在的结构复杂、性能稳定性差、检测精度及准确度低、检测动作工作工序多、时间成本高、检测效率低下等技术缺陷。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种接触式芯片检测设备，包括机架及直接或间接地安装在机架上的顶升检测组件、探针组件、多轴芯片承载组件、摄像组件，所述多轴芯片承载组件用于承载被检测芯片，所述顶升检测组件设置在多轴芯片承载组件底部，顶升检测组件包括芯片检测装置顶升检测组件可驱动芯片检测装置上升并使得芯片检测装置与多轴芯片承载组件上的被检测芯片接触。作为上述技术方案的改进，所述顶升检测组件包括直接或间接固定在机架上的检测组件安装板及设置在检测组件安装板上的检测组件水平导轨、检测组件水平气缸，所述检测组件导轨上设置有检测组件水平滑动安装板，所述检测组件水平气缸的输出端连接到检测组件水平滑动安装板上并可推动检测组件水平滑动安装板在检测组件水平导轨上滑动，所述检测组件水平滑动安装板上设置有检测组件竖直安装板，所述检测组件竖直安装板上设置有检测组件竖直导轨、检测组件顶升丝杆螺母副及检测组件顶升驱动电机，所述检测组件竖直导轨上设置有检测组件竖直滑动安装座，所述检测组件顶升驱动电机的输出端连接到检测组件顶升丝杆螺母副的丝杆一端，所述检测组件顶升丝杆螺母副的螺母连接到检测组件竖直滑动安装座上，所述检测组件竖直滑动安装座上固定安装有所述的芯片检测装置。作为上述技术方案的进一步改进，所述芯片检测装置为积分球检测装置，所述积分球检测装置的上部孔口处设置有透明玻璃盖；所述检测组件水平气缸通过水平气缸安装座固定安装在检测组件安装板底部，检测组件水平气缸的输出端通过水平气缸连接块固定连接到检测组件水平滑动安装板上；作为上述技术方案的进一步改进，所述检测组件水平滑动安装板侧部设置有水平滑动限位块，所述检测组件安装板底部设置有配合所述水平滑动限位块使用的水平滑动限位座，所述水平滑动限位座上设置有弹性限位杆；作为上述技术方案的进一步改进，所述检测组件顶升驱动电机通过顶升驱动电机安装座安装在检测组件竖直安装板底部，检测组件顶升驱动电机的输出端设置有检测组件联轴器并通过所述检测组件联轴器连接到检测组件顶升丝杆螺母副的丝杆一端；作为上述技术方案的进一步改进，所述检测组件竖直安装板侧壁设置有检测组件顶升传感器，所述检测组件竖直滑动安装座上设置有配合所述检测组件顶升传感器的检测组件顶升感应片；作为上述技术方案的进一步改进，所述检测组件水平滑动安装板通过检测组件水平滑座安装在检测组件水平导轨上，所述检测组件竖直滑动安装座通过检测组件竖直滑座安装到检测组件竖直导轨上；作为上述技术方案的进一步改进，所述检测组件竖直安装板侧部设置有检测组件侧部加强板。作为上述技术方案的进一步改进，所述探针组件包括直接或间接安装在机架上的探针组件安装底板，所述探针组件安装底板上设置有开合滑动导轨，所述开合滑动导轨上设置有第一探针滑动安装板及第二探针滑动安装板，所述第一探针滑动安装板上设置有至少一个第一探针模组，所述第二探针滑动安装板上设置有数量匹配第一探针模组的第二探针模组，所述探针组件安装底板上还设置有第一开合驱动气缸及第二开合驱动气缸，所述第一开合驱动气缸的输出端连接到第一探针滑动安装板并可驱动第一探针滑动安装板在开合滑动导轨上滑动，所述第二开合驱动气缸的输出端连接到第二探针滑动安装板上并可驱动第二探针滑动安装板在开合滑动导轨上滑动。作为上述技术方案的进一步改进，所述探针组件安装底板上具有一安装凹位，所述开合滑动导轨、第一探针滑动安装板、第二探针滑动安装板及第一开合驱动气缸、第二开合驱动气缸均设置在所述安装凹位中；作为上述技术方案的进一步改进，所述开合滑动导轨具有两根，所述第一探针滑动安装板及第二探针滑动安装板均通过开合滑动导轨座横跨设置在两根开合滑动导轨上；作为上述技术方案的进一步改进，所述第一探针滑动安装板的一端及第二探针滑动安装板的一端分别固定设置有第一滑动安装板连接块及第二滑动安装板连接块，所述第一开合驱动气缸的输出端通过第一气缸接头连接到第一滑动安装板连接块上，所述第二开合驱动气缸的输出端通过第二气缸接头连接到第二滑动安装板连接块上，所述第一开合驱动气缸可通过第一气缸接头、第一滑动安装板连接块驱动第一探针滑动安装板在开合滑动导轨上滑动，所述第二开合驱动气缸可通过第二气缸接头、第二滑动安装板连接块驱动第二探针滑动安装板在开合滑动导轨上滑动；作为上述技术方案的进一步改进，所述第一探针滑动安装板及第二探针滑动安装板上具开设有用于第一探针模组及第二探针模组的探针穿过的探针滑动安装板缺口，所述探针组件安装底板上开设有配合所述探针滑动安装板缺口的底板缺口；作为上述技术方案的进一步改进，所述第一探针滑动安装板在其靠近第二探针滑动安装板的一侧设置有第一半圆缺口，所述第二探针滑动安装板在其靠近第一探针滑动安装板的一侧设置有第二半圆缺口，第一探针滑动安装板与第二探针滑动安装板靠近闭合后，所述第一半圆缺口和第二半圆缺口共同组成探针滑动安装板圆形缺口，所述探针滑动安装板圆形缺口的圆心位于第一探针滑动安装板与第二探针滑动安装板的闭合线处，所述第一探针模组绕着第一半圆缺口均匀分布，所述第二探针模组绕着第二半圆缺口均匀分布，所述探针组件安装底板上开设有位置匹配所述探针滑动安装板圆形缺口的底板圆形缺口，所述底板圆形缺口的尺寸大于或等于探针滑动安装板圆形缺口的尺寸；作为上述技术方案的进一步改进，所述第一探针模组包括安装在第一探针滑动安装板上的探针安装底板，所述探针安装底板上设置有探针X轴直线轴承，所述探针X轴直线轴承上设置有探针Y轴直线轴承，所述Y轴直线轴承上设置有探针中间安装板，所述探针中间安装板侧部设置有探针Z轴直线轴承，所述探针Z轴直线轴承侧部设置有探针安装板，所述探针安装板上设置有芯片探针；所述探针X轴直线轴承、探针Y轴直线本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种接触式芯片检测设备，其特征在于：包括机架(1)及直接或间接地安装在机架(1)上的顶升检测组件(2)、探针组件(3)、多轴芯片承载组件(4)、摄像组件(5)，所述多轴芯片承载组件(4)用于承载被检测芯片(9)，所述顶升检测组件(2)设置在多轴芯片承载组件(4)底部，顶升检测组件(2)包括芯片检测装置(20)顶升检测组件(2)可驱动芯片检测装置(20)上升并使得芯片检测装置(20)与多轴芯片承载组件(4)上的被检测芯片(9)接触。/n

【技术特征摘要】
1.一种接触式芯片检测设备，其特征在于：包括机架(1)及直接或间接地安装在机架(1)上的顶升检测组件(2)、探针组件(3)、多轴芯片承载组件(4)、摄像组件(5)，所述多轴芯片承载组件(4)用于承载被检测芯片(9)，所述顶升检测组件(2)设置在多轴芯片承载组件(4)底部，顶升检测组件(2)包括芯片检测装置(20)顶升检测组件(2)可驱动芯片检测装置(20)上升并使得芯片检测装置(20)与多轴芯片承载组件(4)上的被检测芯片(9)接触。


2.根据权利要求1所述的一种接触式芯片检测设备，其特征在于：所述顶升检测组件(2)包括直接或间接固定在机架(1)上的检测组件安装板(21)及设置在检测组件安装板(21)上的检测组件水平导轨(221)、检测组件水平气缸(222)，所述检测组件导轨(221)上设置有检测组件水平滑动安装板(223)，所述检测组件水平气缸(222)的输出端连接到检测组件水平滑动安装板(223)上并可推动检测组件水平滑动安装板(223)在检测组件水平导轨(221)上滑动，所述检测组件水平滑动安装板(223)上设置有检测组件竖直安装板(23)，所述检测组件竖直安装板(23)上设置有检测组件竖直导轨(231)、检测组件顶升丝杆螺母副(232)及检测组件顶升驱动电机(233)，所述检测组件竖直导轨(231)上设置有检测组件竖直滑动安装座(234)，所述检测组件顶升驱动电机(233)的输出端连接到检测组件顶升丝杆螺母副(232)的丝杆一端，所述检测组件顶升丝杆螺母副(232)的螺母连接到检测组件竖直滑动安装座(234)上，所述检测组件竖直滑动安装座(234)上固定安装有所述的芯片检测装置(20)。


3.根据权利要求2所述的一种接触式芯片检测设备，其特征在于：所述芯片检测装置(20)为积分球检测装置，所述积分球检测装置的上部孔口处设置有透明玻璃盖(202)；
所述检测组件水平气缸(222)通过水平气缸安装座(2221)固定安装在检测组件安装板(21)底部，检测组件水平气缸(222)的输出端通过水平气缸连接块(2222)固定连接到检测组件水平滑动安装板(223)上；
所述检测组件水平滑动安装板(223)侧部设置有水平滑动限位块(2231)，所述检测组件安装板(21)底部设置有配合所述水平滑动限位块(2231)使用的水平滑动限位座(211)，所述水平滑动限位座(211)上设置有弹性限位杆(212)；
所述检测组件顶升驱动电机(233)通过顶升驱动电机安装座(2331)安装在检测组件竖直安装板(23)底部，检测组件顶升驱动电机(233)的输出端设置有检测组件联轴器(236)并通过所述检测组件联轴器(236)连接到检测组件顶升丝杆螺母副(232)的丝杆一端；
所述检测组件竖直安装板(23)侧壁设置有检测组件顶升传感器(2371)，所述检测组件竖直滑动安装座(234)上设置有配合所述检测组件顶升传感器(2371)的检测组件顶升感应片(2372)；
所述检测组件水平滑动安装板(223)通过检测组件水平滑座(2211)安装在检测组件水平导轨(221)上，所述检测组件竖直滑动安装座(234)通过检测组件竖直滑座(2311)安装到检测组件竖直导轨(23)上；
所述检测组件竖直安装板(23)侧部设置有检测组件侧部加强板(238)。


4.根据权利要求1所述的一种接触式芯片检测设备，其特征在于：所述探针组件(3)包括直接或间接安装在机架(1)上的探针组件安装底板(31)，所述探针组件安装底板(31)上设置有开合滑动导轨(311)，所述开合滑动导轨(311)上设置有第一探针滑动安装板(321)及第二探针滑动安装板(322)，所述第一探针滑动安装板(321)上设置有至少一个第一探针模组(33)，所述第二探针滑动安装板(322)上设置有数量匹配第一探针模组(33)的第二探针模组(34)，所述探针组件安装底板(31)上还设置有第一开合驱动气缸(351)及第二开合驱动气缸(352)，所述第一开合驱动气缸(351)的输出端连接到第一探针滑动安装板(321)并可驱动第一探针滑动安装板(321)在开合滑动导轨(311)上滑动，所述第二开合驱动气缸(352)的输出端连接到第二探针滑动安装板(322)上并可驱动第二探针滑动安装板(322)在开合滑动导轨(311)上滑动。


5.根据权利要求4所述的一种接触式芯片检测设备，其特征在于：所述探针组件安装底板(31)上具有一安装凹位(312)，所述开合滑动导轨(311)、第一探针滑动安装板(321)、第二探针滑动安装板(322)及第一开合驱动气缸(351)、第二开合驱动气缸(352)均设置在所述安装凹位(312)中；
所述开合滑动导轨(311)具有两根，所述第一探针滑动安装板(321)及第二探针滑动安装板(322)均通过开合滑动导轨座(3111)横跨设置在两根开合滑动导轨(311)上；
所述第一探针滑动安装板(321)的一端及第二探针滑动安装板(322)的一端分别固定设置有第一滑动安装板连接块(3211)及第二滑动安装板连接块(3221)，所述第一开合驱动气缸(351)的输出端通过第一气缸接头(3511)连接到第一滑动安装板连接块(3211)上，所述第二开合驱动气缸(352)的输出端通过第二气缸接头(3521)连接到第二滑动安装板连接块(3221)上，所述第一开合驱动气缸(351)可通过第一气缸接头(3511)、第一滑动安装板连接块(3211)驱动第一探针滑动安装板(321)在开合滑动导轨(311)上滑动，所述第二开合驱动气缸(352)可通过第二气缸接头(3521)、第二滑动安装板连接块(3221)驱动第二探针滑动安装板(322)在开合滑动导轨(311)上滑动；
所述第一探针滑动安装板(321)及第二探针滑动安装板(322)上具开设有用于第一探针模组(33)及第二探针模组(34)的探针穿过的探针滑动安装板缺口，所述探针组件安装底板(31)上开设有配合所述探针滑动安装板缺口的底板缺口；
所述第一探针滑动安装板(321)在其靠近第二探针滑动安装板(322)的一侧设置有第一半圆缺口，所述第二探针滑动安装板(322)在其靠近第一探针滑动安装板(321)的一侧设置有第二半圆缺口，第一探针滑动安装板(321)与第二探针滑动安装板(322)靠近闭合后，所述第一半圆缺口和第二半圆缺口共同组成探针滑动安装板圆形缺口，所述探针滑动安装板圆形缺口的圆心位于第一探针滑动安装板(321)与第二探针滑动安装板(322)的闭合线处，所述第一探针模组(33)绕着第一半圆缺口均匀分布，所述第二探针模组(34)绕着第二半圆缺口均匀分布，所述探针组件安装底板(31)上开设有位置匹配所述探针滑动安装板圆形缺口的底板圆形缺口，所述底板圆形缺口的尺寸大于或等于探针滑动安装板圆形缺口的尺寸；
所述第一探针模组(33)包括安装在第一探针滑动安装板(321)上的探针安装底板(331)，所述探针安装底板(331)上设置有探针X轴直线轴承(332)，所述探针X轴直线轴承(332)上设置有探针Y轴直线轴承(333)，所述Y轴直线轴承(333)上设置有探针中间安装板(334)，所述探针中间安装板(334)侧部设置有探针Z轴直线轴承(335)，所述探针Z轴直线轴承(335)侧部设置有探针安装板(336)，所述探针安装板(336)上设置有芯片探针(337)；所述探针X轴直线轴承(332)、探针Y轴直线轴承(333)及探针Z轴直线轴承(335)上分别设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭义青，冼平东，黄明春，王量，容金波，吴述林，黄为民，周厚利，黎启造，谭建军，
申请(专利权)人：深圳市泰克光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44