【技术实现步骤摘要】
一种MEMS超声波传感器的封装结构
本技术涉及微电子
,尤其是一种MEMS超声波传感器的封装结构。
技术介绍
超声波传感器可以用于煤气表、天然气表中用于对煤气、天然气的流量进行测量,也可应用于汽车倒车防撞雷达。目前的超声波传感器的封装方式是将压电陶瓷的超声波传感器芯片通过灌封胶水封装在传感器外壳内,声波自超声波传感器芯片的换能器的表面发出后历经海绵和金属而进入空气进行测试,声阻损耗较大且声波的特性也会有所改变。对于MEMS超声波传感器来说,换能器表面若通过有机灌封胶水或海绵接触,声波须穿透固化后的胶水、海绵及外壳,更会直接影响换能器的工作性能。
技术实现思路
本专利技术人针对上述问题及技术需求,提出了一种MEMS超声波传感器的封装结构,可在有效防护灰尘、砂石等颗粒物质,水、油等液体,腐蚀性气体的腐蚀的前提下,为MEMS超声波传感器芯片中换能器发出的声波提供一个损耗更小的传输途径。本技术的技术方案如下:一种MEMS超声波传感器的封装结构,该MEMS超声波传感器的封装结构包括:传感器底座、传感器外壳、隔尘织网、MEMS超声波传感器芯片、防水透声膜和电气接口;传感器外壳呈两端开口、内部中空的腔体结构,传感器外壳的一端固定在传感器底座上,隔尘织网固定在传感器外壳的另一端;MEMS超声波传感器芯片置于传感器外壳内部的腔体中且固定在传感器底座上;防水透声膜置于传感器外壳内部的腔体中且与传感器外壳的内壁周向固定密封,防水透声膜位于MEMS超声波传感器芯片的换能器的外表面且与MEMS超声波传感器 ...
【技术保护点】
1.一种MEMS超声波传感器的封装结构,其特征在于,所述MEMS超声波传感器的封装结构包括:传感器底座、传感器外壳、隔尘织网、MEMS超声波传感器芯片、防水透声膜和电气接口;所述传感器外壳呈两端开口、内部中空的腔体结构,所述传感器外壳的一端固定在所述传感器底座上,所述隔尘织网固定在所述传感器外壳的另一端;所述MEMS超声波传感器芯片置于所述传感器外壳内部的腔体中且固定在所述传感器底座上;所述防水透声膜置于所述传感器外壳内部的腔体中且与所述传感器外壳的内壁周向固定密封,所述防水透声膜位于所述MEMS超声波传感器芯片的换能器的外表面且与所述MEMS超声波传感器芯片的表面间隔预定距离;所述电气接口固定在所述传感器底座上,所述电气接口的一端位于所述传感器外壳的内部且与所述MEMS超声波传感器芯片电气相连,所述电气接口的另一端位于所述传感器外壳的外部。/n
【技术特征摘要】
1.一种MEMS超声波传感器的封装结构,其特征在于,所述MEMS超声波传感器的封装结构包括:传感器底座、传感器外壳、隔尘织网、MEMS超声波传感器芯片、防水透声膜和电气接口;所述传感器外壳呈两端开口、内部中空的腔体结构,所述传感器外壳的一端固定在所述传感器底座上,所述隔尘织网固定在所述传感器外壳的另一端;所述MEMS超声波传感器芯片置于所述传感器外壳内部的腔体中且固定在所述传感器底座上;所述防水透声膜置于所述传感器外壳内部的腔体中且与所述传感器外壳的内壁周向固定密封,所述防水透声膜位于所述MEMS超声波传感器芯片的换能器的外表面且与所述MEMS超声波传感器芯片的表面间隔预定距离;所述电气接口固定在所述传感器底座上,所述电气接口的一端位于所述传感器外壳的内部且与所述MEMS超声波传感器芯片电气相连,所述电气接口的另一端位于所述传感器外壳的外部。...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡国俊,夏登明,
申请(专利权)人:智驰华芯无锡传感科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。