单晶PERC背钝化层自动化设备吸盘制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶PERC生成领域。单晶PERC背钝化层自动化设备吸盘，包括碗装的吸盘体、吸盘托、与吸盘体底部一体化连接的吸盘法兰盘、卡垫，吸盘体底部中心有通孔，卡垫整体为哑铃状，卡垫由一体化的上盘、连接柱、下盘构成，下盘为内部中空且充有空气的橡胶泡（与气球类似，厚度为1‑2mm），连接柱直径小于通孔直径且连接柱插入通孔中，上盘和下盘分别卡在通孔的两端，上盘的直径比下盘直径小，弹簧套在连接柱上且弹簧处于下盘与吸盘体底部之间，吸盘体底部的通孔的外侧有通气孔，吸盘体底部的通气孔的外侧有与吸盘体一体化连接的引管。

Suction cup for automation equipment of single crystal perc back passivation layer

【技术实现步骤摘要】
单晶PERC背钝化层自动化设备吸盘
本技术涉及单晶PERC生成领域。
技术介绍
单晶PERC全称为发射极及背表面钝化的太阳能电池，是一种高效的晶硅光伏电池结构，主要生产流程是:制绒—扩散—碱抛—去PSG—氧化—正PECVD—背PECVD—激光—丝网印刷—烧结—测试分选。背PECVD是单晶PERC生产线的必备工艺，利用在电池背面形成钝化层，与薄膜的氢钝化效应，将硅片的有效载流子寿命从10-20µs提高到100-200µs，这样可以极大地提升电池片的内量子效率，从而提高单晶电池片转换效率。在电池片生产过程中的自动化设备吸盘吸取硅片时，极易对背钝化层造成吸盘印。在EL测试中，可以明显的表现出来，降低硅片背钝化层的吸盘印比例问题迫在眉睫。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是：如何硅片中减少吸盘印的比例。本技术所采用的技术方案是：单晶PERC背钝化层自动化设备吸盘，包括碗装的吸盘体（5）、吸盘托（8）、与吸盘体（5）底部一体化连接的吸盘法兰盘（4）、卡垫（7），吸盘体（5）底部中心有通孔（10），卡垫（7）整体为哑铃状，卡垫（7）由一体化的上盘、连接柱、下盘构成，下盘为内部中空且充有空气的橡胶泡（与气球类似，厚度为1-2mm），连接柱直径小于通孔（10）直径且连接柱插入通孔（10）中，上盘和下盘分别卡在通孔（10）的两端，上盘的直径比下盘直径小，弹簧（6）套在连接柱上且弹簧（6）处于下盘与吸盘体（5）底部之间，吸盘体（5）底部的通孔（10）的外侧有通气孔（3），吸盘体（5）底部的通气孔（3）的外侧有与吸盘体（5）一体化连接的引管（1），在下盘与吸盘体（5）底部接触时，通气孔（3）被下盘堵住，在上盘与吸盘体（5）底部接触时，通气孔（3）不被上盘堵住，吸盘托（8）的中部有大量小孔（9）。吸盘托（8）与吸盘体（5）一体化连接或者沉头螺栓连接。吸盘法兰盘（4）上有法兰连接孔用于与机械手连接。引管（1）通过管道连接外界的真空泵。本技术的有益效果是：本技术采用带孔的吸盘托与硅片接触，增加了接触面积，减少了接触面受到的压力，减少或者避免了吸盘印。本技术采用卡垫，等吸盘内部的压力小于减少时，橡胶泡膨胀，当橡胶泡膨胀到一定程度后，下盘压紧通气孔和通孔，吸盘内部的压力不再减少，避免了吸盘内部压力过小，吸力过大在硅片上形成吸盘印。附图说明图1是本技术的结构示意图；图2是吸盘托结构示意图；图3是卡垫结构示意图；其中，1、引管，2、法兰连接孔，3、通气孔，4、吸盘法兰盘，5、吸盘体，6、弹簧，7、卡垫，8、吸盘托，9、小孔，10、通孔。具体实施方式如图1到图3所示，单晶PERC背钝化层自动化设备吸盘，包括碗装的吸盘体5、吸盘托8、与吸盘体5底部一体化连接的吸盘法兰盘4、卡垫7，吸盘体5底部中心有通孔10，卡垫7整体为哑铃状，卡垫7由一体化的上盘、连接柱、下盘构成，下盘为内部中空且充有空气的橡胶泡，连接柱直径小于通孔10直径且连接柱插入通孔10中，上盘和下盘分别卡在通孔10的两端，上盘的直径比下盘直径小，弹簧6套在连接柱上且弹簧6处于下盘与吸盘体5底部之间，吸盘体5底部的通孔10的外侧有通气孔3，吸盘体5底部的通气孔3的外侧有与吸盘体5一体化连接的引管1，在下盘与吸盘体5底部接触时，通气孔3被下盘堵住，在上盘与吸盘体5底部接触时，通气孔3不被上盘堵住，吸盘托8的中部有大量小孔9。吸盘托8与吸盘体5沉头螺栓连接。吸盘法兰盘4上有法兰连接孔2用于与机械手连接。引管1通过管道连接外界的真空泵。使用过程中，机械手带动吸盘使吸盘托贴到待吸附的硅片表面，启动真空泵开始吸附，一方面本技术通过吸盘托增加吸附时的接触面积，减少了吸附压力，另一方面，通过卡垫控制最大吸附压力，使得在硅片上不会形成吸盘印。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.单晶PERC背钝化层自动化设备吸盘，其特征在于：包括碗装的吸盘体（5）、吸盘托（8）、与吸盘体（5）底部一体化连接的吸盘法兰盘（4）、卡垫（7），吸盘体（5）底部中心有通孔（10），卡垫（7）整体为哑铃状，卡垫（7）由一体化的上盘、连接柱、下盘构成，下盘为内部中空且充有空气的橡胶泡，连接柱直径小于通孔（10）直径且连接柱插入通孔（10）中，上盘和下盘分别卡在通孔（10）的两端，上盘的直径比下盘直径小，弹簧（6）套在连接柱上且弹簧（6）处于下盘与吸盘体（5）底部之间，吸盘体（5）底部的通孔（10）的外侧有通气孔（3），吸盘体（5）底部的通气孔（3）的外侧有与吸盘体（5）一体化连接的引管（1），在下盘与吸盘体（5）底部接触时，通气孔（3）被下盘堵住，在上盘与吸盘体（5）底部接触时，通气孔（3）不被上盘堵住，吸盘托（8）的中部有大量小孔（9）。/n

【技术特征摘要】
1.单晶PERC背钝化层自动化设备吸盘，其特征在于：包括碗装的吸盘体（5）、吸盘托（8）、与吸盘体（5）底部一体化连接的吸盘法兰盘（4）、卡垫（7），吸盘体（5）底部中心有通孔（10），卡垫（7）整体为哑铃状，卡垫（7）由一体化的上盘、连接柱、下盘构成，下盘为内部中空且充有空气的橡胶泡，连接柱直径小于通孔（10）直径且连接柱插入通孔（10）中，上盘和下盘分别卡在通孔（10）的两端，上盘的直径比下盘直径小，弹簧（6）套在连接柱上且弹簧（6）处于下盘与吸盘体（5）底部之间，吸盘体（5）底部的通孔（10）的外侧有通气孔（3），吸盘体（5）底部的通气孔（3）的外侧有与吸盘体（5）一体化连接的引...

【专利技术属性】
技术研发人员：张云鹏，王玉，赵科巍，鲁桂林，梁玲，
申请(专利权)人：山西潞安太阳能科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：山西;14