【技术实现步骤摘要】
一种改善EL黑斑的硅片清洗装置
[0001]本技术涉及硅片清洗领域。
技术介绍
[0002]在晶硅电池制作过程中，湿法清洗工序主要进行电池正背面的抛光或清洗，在清洗过程中，再经HF酸洗槽之前，因为电池表面存在磷硅玻璃层，起到很好的保护作用，有效避免表面药液残留及污染。经HF酸洗槽过程后，因表面磷硅玻璃被去除，容易发生药液残留及污染，再经热氧或臭氧环境的影响，从而造成EL黑斑。
[0003]传统的硅片清洗采用水槽进行摆动清洗、鼓泡清洗、浸泡清洗等，但是仍然存在清洗不佳导致药液残留问题。
技术实现思路
[0004]本技术所要解决的技术问题是：如何提供一种更加的硅片清洗装置。
[0005]本技术所采用的技术方案是：一种改善EL黑斑的硅片清洗装置，包括多个敞口的水洗槽，硅片6依次通过每个水洗槽进行清洗，每个水洗槽的上部都安装有传送滚轴5、挡水滚轴7、喷淋装置8，最后一个水洗槽4上部还安装有风刀9，每个水洗槽中都安装有一个水泵10，多个水洗槽的相邻两个水洗槽中，后一个水洗槽的水泵10通过管道连接前一个水...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种改善EL黑斑的硅片清洗装置，包括多个敞口的水洗槽，硅片（6）依次通过每个水洗槽进行清洗，其特征在于：每个水洗槽的上部都安装有传送滚轴（5）、挡水滚轴（7）、喷淋装置（8），最后一个水洗槽（4）上部还安装有风刀（9），每个水洗槽中都安装有一个水泵（10），多个水洗槽的相邻两个水洗槽中，后一个水洗槽的水泵（10）通过管道连接前一个水洗槽的喷淋装置（8），每个喷淋装置（8）都通过阀门连接清洁水源，传送滚轴（5）上套有弹性套（51），每个传送滚轴（5）都连接外界动力源，每个挡水滚轴（7）都不连接外界动力源。2.根据权利要求1所述的一种改善EL黑斑的硅片清洗装置，其特征在于：每个水洗槽都对应两个喷淋装置（8），该两个喷淋装置（8）关于硅片（6）成对称关系。3.根据权利要求2所述的一种改善EL黑斑的硅片清洗装置，其特征在于：每个水洗槽对应的两个喷淋装置（8）在水平上处于水洗槽的长度的1/3处。4.根据权利要求1所述的一种改善EL黑斑的硅片清洗装置，其特征在于：传送滚轴（5）和挡水滚轴（7）都为成对的滚轴，每个水洗槽的上部都安装有2
‑
5对传送滚轴（5）和一对挡水滚轴（7），相邻两队传送滚轴（5）之间的间距小于硅片长度的1/2，挡水滚轴（7）处于最后两对传送滚轴（5）之间。5.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨飞飞，邱二波，张波，刘婷，王诗慧，杨旭彪，梁玲，
申请(专利权)人：山西潞安太阳能科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。