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本实用新型涉及硅片清洗领域。一种改善EL黑斑的硅片清洗装置，包括多个敞口的水洗槽，硅片6依次通过每个水洗槽进行清洗，每个水洗槽的上部都安装有传送滚轴5、挡水滚轴7、喷淋装置8，最后一个水洗槽4上部还安装有风刀9，每个水洗槽中都安装有一个水泵...
该专利属于山西潞安太阳能科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过山西潞安太阳能科技有限责任公司授权不得商用。

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