用于激光镭射的空气轴承组件及ITO玻璃激光蚀刻加工方法技术

本发明专利技术公开了一种用于激光镭射的空气轴承组件及ITO玻璃激光蚀刻加工方法。用于激光镭射的空气轴承组件包括安装支架、第一平衡板、第二平衡板、接气嘴、进气嘴以及气体稳压器，第一平衡板与第二平衡板均连接在安装支架上，第一平衡板的下底面与第二平衡板的下底面齐平且均用于平衡玻璃板材，第一平衡板的上表面、下底面与第二平衡板的上表面、下底面分别贯穿有第一吹气通道、第二吹气通道，第一平衡板上与第二平衡板上均连接有接气嘴，接气嘴与设在所述安装支架上的所述气体稳压器的出气口连接，所述气体稳压器的进气口用于外接气源。该用于激光镭射的空气轴承组件不需要横梁支撑、ITO玻璃加工时可自由排版、生产良率高。

Laser etching of air bearing assembly and ITO glass for laser

【技术实现步骤摘要】
用于激光镭射的空气轴承组件及ITO玻璃激光蚀刻加工方法
本专利技术涉及蚀刻领域，特别是涉及一种用于激光镭射的空气轴承组件及ITO玻璃激光蚀刻加工方法。
技术介绍
随着电子产品的发展，人机界面交流应用更加广泛，大部分的人机界面要用触摸屏，触摸屏需要蚀刻触控图案，形成电极。触控图案的加工方法主要有黄光蚀刻和激光蚀刻，其中激光蚀刻需要平台或横梁来支撑所加工的ITO玻璃，以保证ITO玻璃的加工面在同一水平上。黄光蚀刻，需要开模版，成本昂贵；需要经过涂布、曝光、显影、清洗等工艺，对环境污染大。而激光蚀刻需要平台或横梁支撑ITO玻璃，如果是整面平台支撑，只能单面蚀刻，加工效率慢；如果是横梁支撑，可以双面加工，但排版需要错开横梁位置，材料利用率低，且对产品尺寸有限制。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种不需要横梁支撑、ITO玻璃加工时可自由排版、生产良率高的用于激光镭射的空气轴承组件及ITO玻璃激光蚀刻加工方法。一种用于激光镭射的空气轴承组件，包括安装支架、第一平衡板、第二平衡板、接气嘴、进气嘴以及气体稳压器，所述第一平衡板与所述第二平衡板均连接在所述安装支架上，所述第一平衡板的下底面与所述第二平衡板的下底面齐平且均用于平衡玻璃板材，所述第一平衡板的上表面、下底面与所述第二平衡板的上表面、下底面分别贯穿有第一吹气通道、第二吹气通道，所述第一平衡板上与所述第二平衡板上均连接有所述接气嘴，所述接气嘴与设在所述安装支架上的所述气体稳压器的出气口连接，所述气体稳压器的进气口用于外接气源。在其中一个实施例中，所述第一平衡板、所述第二平衡板在所述安装支架上的位置可调。在其中一个实施例中，还包括第一连接臂以及第二连接臂，所述第一平衡板连接在所述第一连接臂上，所述第一平衡板在所述第一连接臂上的位置可调；所述第二平衡板连接在所述第二连接臂上，所述第二平衡板在所述第二连接臂上的位置可调。在其中一个实施例中，所述第一平衡板通过至少一个第一调节螺母连接于所述第一连接臂，所述第一调节螺母用于调节所述第一平衡板的水平度，所述第二平衡板通过至少一个第二调节螺母连接于所述第二连接臂，所述第二调节螺母用于调节所述第二平衡板的水平度。在其中一个实施例中，所述第一连接臂呈L型，所述第二连接臂呈L型。在其中一个实施例中，所述第一连接臂在所述安装支架上的位置可调，所述第二连接臂在所述安装支架上的位置可调。在其中一个实施例中，所述安装支架呈L型，所述第一平衡板与所述第二平衡板均连接在所述安装支架水平方向的横梁上。在其中一个实施例中，所述安装支架竖直方向的竖梁上设置有长条形的调节孔，所述竖梁用于与外接平台安装固定。在其中一个实施例中，所述气体稳压器的气压调节范围为0.15Mpa-0.20Mpa。一种使用所述的用于激光镭射的空气轴承组件的ITO玻璃激光蚀刻加工方法，包括如下步骤：(1)将ITO玻璃放置光刻设备的激光平台上；(2)压缩空气进入所述空气轴承组件的气体稳压器，所述气体稳压器的气压调节范围为0.15Mpa-0.20Mpa，压缩空气经过第一吹气通道、第二吹气通道吹向所述ITO玻璃，所述ITO玻璃上表面的空气流动较快，所述ITO玻璃的上表面的压强比其下表面的压强低，压强差将所述ITO玻璃托举，所述第一平衡板的下底面、所述第二平衡板的下底面与所述ITO玻璃的间隙为15μm-20μm；(3)位于所述ITO玻璃的上表面及下底面的所述光刻设备的两个激光头分别蚀刻所述ITO玻璃。本专利技术的用于激光镭射的空气轴承组件可适用于ITO玻璃加工，加工时，ITO玻璃不需要横梁支撑、ITO玻璃可自由排版、生产良率高，可以控制ITO玻璃的平整度在10μm之内，提高ITO玻璃利用率，提高ITO玻璃光刻良率。本专利技术的用于激光镭射的空气轴承组件在用于ITO玻璃加工时，压缩气体从气体稳压器出来后，分别接入第一平衡板与第二平衡板上，压缩气体吹在ITO玻璃表面，并向四周扩散，根据伯努利原理，ITO玻璃上表面的空气流动较快，ITO玻璃上表面的压强比其下表面的压强低，压强差将ITO玻璃托举起来，所需加工的ITO玻璃中间位置可处在同一水平面上，有利于激光加工，光刻设备的两个激光头分别位于两块平衡板中间位置且分别位于ITO玻璃的上方和下方，通过第一调节螺栓、第二调节螺栓调节第一平衡板、第二平衡板的水平度，并调节尺第一平衡板、第二平衡板与ITO玻璃的间隙至15μm-20μm。ITO玻璃在激光平台上，通过空气轴承组件实现托举，优化了ITO玻璃在激光平台上的平整度，使得加工点的平整度小于10μm，利于激光蚀刻，提高生产良率。附图说明图1为本专利技术一实施例所述的用于激光镭射的空气轴承组件示意图；图2为图1所示的用于激光镭射的空气轴承组件的第一平衡板与ITO玻璃配合时侧面示意图。附图标记说明10：用于激光镭射的空气轴承组件；100：安装支架；110：横梁；120：竖梁；121：调节孔；200：第一平衡板；210：第一吹气通道；300：第二平衡板；400：接气嘴；500：进气嘴；600：气体稳压器；610：出气口；710：第一连接臂；720：第二连接臂；810：第一调节螺母；820：第二调节螺母；20：ITO玻璃；30：激光头。具体实施方式为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对本专利技术进行更全面的描述。附图中给出了本专利技术的较佳实施例。但是，本专利技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本专利技术的公开内容的理解更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接固定在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。当一个元件被认为是“安装在”另一个元件，它可以是直接安装在另一个元件或者可能同时存在居中元件。当一个元件被认为是“设在”另一个元件，它可以是直接设在另一个元件或者可能同时存在居中元件。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。实施例1参见图1所示，本实施例提供了一种用于激光镭射的空气轴承组件10，其包括安装支架100、第一平衡板200、第二平衡板300、接气嘴400、进气嘴500以及气体稳压器600。第一平衡板200与第二平衡板300均连接在安装支架100上，安装支架100用于安装固定在预定位置以用于与光刻设备配合使用。第一平衡板200的下底面与第二平衡板300的下底面齐平且均用于平衡玻璃板材。第一平衡板200的上表面、下底面与第二平衡板300的上表面、下底面分别贯穿有第一吹气通道210、第二吹气通道。第一平衡板200上与第二平衡板300本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于激光镭射的空气轴承组件，其特征在于，包括安装支架、第一平衡板、第二平衡板、接气嘴、进气嘴以及气体稳压器，所述第一平衡板与所述第二平衡板均连接在所述安装支架上，所述第一平衡板的下底面与所述第二平衡板的下底面齐平且均用于平衡玻璃板材，所述第一平衡板的上表面、下底面与所述第二平衡板的上表面、下底面分别贯穿有第一吹气通道、第二吹气通道，所述第一平衡板上与所述第二平衡板上均连接有所述接气嘴，所述接气嘴与设在所述安装支架上的所述气体稳压器的出气口连接，所述气体稳压器的进气口用于外接气源。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于激光镭射的空气轴承组件，其特征在于，包括安装支架、第一平衡板、第二平衡板、接气嘴、进气嘴以及气体稳压器，所述第一平衡板与所述第二平衡板均连接在所述安装支架上，所述第一平衡板的下底面与所述第二平衡板的下底面齐平且均用于平衡玻璃板材，所述第一平衡板的上表面、下底面与所述第二平衡板的上表面、下底面分别贯穿有第一吹气通道、第二吹气通道，所述第一平衡板上与所述第二平衡板上均连接有所述接气嘴，所述接气嘴与设在所述安装支架上的所述气体稳压器的出气口连接，所述气体稳压器的进气口用于外接气源。


2.根据权利要求1所述的用于激光镭射的空气轴承组件，其特征在于，所述第一平衡板、所述第二平衡板在所述安装支架上的位置可调。


3.根据权利要求2所述的用于激光镭射的空气轴承组件，其特征在于，还包括第一连接臂以及第二连接臂，所述第一平衡板连接在所述第一连接臂上，所述第一平衡板在所述第一连接臂上的位置可调；所述第二平衡板连接在所述第二连接臂上，所述第二平衡板在所述第二连接臂上的位置可调。


4.根据权利要求3所述的用于激光镭射的空气轴承组件，其特征在于，所述第一平衡板通过至少一个第一调节螺母连接于所述第一连接臂，所述第一调节螺母用于调节所述第一平衡板的水平度，所述第二平衡板通过至少一个第二调节螺母连接于所述第二连接臂，所述第二调节螺母用于调节所述第二平衡板的水平度。


5.根据权利要求3所述的用于激光镭射的空气轴承组件，其特征在于，所述第一连接臂呈L型，所述第二连接臂呈L型。

【专利技术属性】
技术研发人员：邹贤锋，姜志栋，林文涛，
申请(专利权)人：盈天实业深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44