【技术实现步骤摘要】
氯硅烷净化装置及其净化方法
本专利技术涉及氯硅烷的净化领域，特别是一种氯硅烷净化装置及其净化方法。
技术介绍
目前气相二氧化硅生产用的氯硅烷原材料主要有四氯化硅、甲基三氯硅烷、甲基氯硅烷、三氯氢硅、二甲基二氯硅烷、三甲基氯硅烷，以及他们两种或者多种的混合物。其中最主要原料是四氯化硅和甲基三氯硅烷，他们分别作为多晶硅和有机硅的副产物存在，其中含有一定量金属杂质；在存储或者运输过程中，也容易发生水解，产生悬浮物杂质；同时氯硅烷中也含有一定量的高沸物杂质；如果这些金属杂质或是悬浮杂质随着氯硅烷进入到原料进入到气相二氧化硅合成装置，导致生产出来的气相二氧化硅外观存在较多的黑点、白点杂质，直接影响到产品质量。
技术实现思路
本专利技术的目的在于改善现有技术的缺点，提供一种氯硅烷净化装置及其净化方法，净化提存氯硅烷原料。其技术方案如下：氯硅烷净化装置，包括存储器、过滤器、废液收集器以及汽化器，所述存储器包括存储进口和存储出口，所述过滤器包括过滤进口、过滤出口和过滤排放口，所述废液收集器包括废液进口，所...
【技术保护点】
1.氯硅烷净化装置，其特征在于，包括存储器、过滤器、废液收集器以及汽化器，所述存储器包括存储进口和存储出口，所述过滤器包括过滤进口、过滤出口和过滤排放口，所述废液收集器包括废液进口，所述汽化器包括原料进口、原料出口、热工质进口、热工质出口和残液排放口；/n所述存储出口与所述过滤进口连通，所述过滤出口与所述原料进口连通，所述过滤排放口和残液排放口均与所述废液进口连通；/n所述汽化器设置有汽化腔和热工质通道，所述汽化腔与所述热工质通道相隔绝，所述汽化腔的进口和出口分别为所述原料进口和原料出口，所述热工质通道的进口和出口分别为所述热工质进口和热工质出口，所述残液排放口与所述汽化腔相通。/n
【技术特征摘要】
1.氯硅烷净化装置，其特征在于，包括存储器、过滤器、废液收集器以及汽化器，所述存储器包括存储进口和存储出口，所述过滤器包括过滤进口、过滤出口和过滤排放口，所述废液收集器包括废液进口，所述汽化器包括原料进口、原料出口、热工质进口、热工质出口和残液排放口；
所述存储出口与所述过滤进口连通，所述过滤出口与所述原料进口连通，所述过滤排放口和残液排放口均与所述废液进口连通；
所述汽化器设置有汽化腔和热工质通道，所述汽化腔与所述热工质通道相隔绝，所述汽化腔的进口和出口分别为所述原料进口和原料出口，所述热工质通道的进口和出口分别为所述热工质进口和热工质出口，所述残液排放口与所述汽化腔相通。
2.如权利要求1所述氯硅烷净化装置，其特征在于，所述存储进口设置有存储控制阀，所述过滤进口设置有第一控制阀，所述过滤出口设置有第二控制阀，所述过滤排放口设置有反洗控制阀，所述热工质进口设置有热工质控制阀，所述残液排放口设置有残液控制阀。
3.如权利要求1所述氯硅烷净化装置，其特征在于，所述汽化器包括内壁和外壁，所述内壁和外壁之间存在间隙，所述热工质通道包括所述内壁和外壁之间的间隙形成的通道，所述热工质进口和所述热工质出口开设在所述外壁上，所述内壁内侧形成所述汽化腔，所述原料进口和所述原料出口开设在所述内壁上，所述原料进口和所述原料出口的壁体穿过所述外壁。
4.如权利要求3所述氯硅烷净化装置，其特征在于，所述汽化器还包括热工质管道，所述热工质管道从所述外壁穿至汽化腔，再从所述汽化腔穿至外壁，所述热工质通道包括所述热工质管道形成的通道，所述热工质进口包括所述热工质管道的进口，所述热工质出口包括所述热工质管道的出口。
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【专利技术属性】
技术研发人员：吴春蕾，段先健，王跃林，
申请(专利权)人：广州汇富研究院有限公司，宜昌汇富硅材料有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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