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本发明涉及氯硅烷的净化领域，公开了一种氯硅烷净化装置及其净化方法，其中氯硅烷净化装置，包括存储器、过滤器、废液收集器以及汽化器，所述存储出口与所述过滤进口连通，所述过滤出口与所述原料进口连通，所述过滤排放口和残液排放口均与所述废液进口连通；...该专利属于广州汇富研究院有限公司;宜昌汇富硅材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州汇富研究院有限公司;宜昌汇富硅材料有限公司授权不得商用。