氢化物气相外延用的浮舟及浮舟装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种氢化物气相外延用的浮舟及浮舟装置，其中，所述氢化物气相外延用的浮舟包括：舟体、连接于所述舟体上的进气管；所述舟体内部具有气体输送通道，该气体输送通道的进气口和出气口延伸至所述舟体的表面上，所述出气口为至少一个，所述进气管一端与所述进气口相连通；所述舟体能够浮在液体生长源中，其排开的生长源的重量＝舟体沉入液体生长源中的重量，所述舟体沉入液体生长源中的深度为固定值，所述出气口距离液体生长源的液面的距离，随液体生长源的液面的变化，保持固定。本发明专利技术的氢化物气相外延用的浮舟能够浮在液体生长源的表面，随着反应的进行，跟随液体生长源的液面下降，保证了氯化氢与液体生长源的充分反应。

Floating boat and floating boat device for hydride gas phase extension

The invention provides a floating boat and a floating boat device for extending the hydride gas phase, wherein the floating boat for extending the hydride gas phase comprises a boat body and an air inlet pipe connected to the boat body; the boat body is internally provided with a gas transmission channel, the air inlet and air outlet of the gas transmission channel extend to the surface of the boat body, the air outlet is at least one, and the air inlet is at least one One end of the tube is connected with the air inlet; the boat body can float in the liquid growth source, the weight of the excluded growth source = the weight of the boat body sunk in the liquid growth source, the depth of the boat body sunk in the liquid growth source is a fixed value, and the distance between the air outlet and the liquid level of the liquid growth source is fixed with the change of the liquid level of the liquid growth source. The floating boat for extending the hydride gas phase of the invention can float on the surface of the liquid growth source. With the reaction, the liquid level of the liquid growth source drops, ensuring the full reaction of hydrogen chloride and the liquid growth source.

【技术实现步骤摘要】
氢化物气相外延用的浮舟及浮舟装置
本专利技术涉及氢化物气相外延生长
，尤其涉及一种氢化物气相外延用的浮舟及浮舟装置。
技术介绍
气相外延是一种单晶薄层生长方法。气相外延广义上是化学气相沉积的一种特殊方式，其生长薄层的晶体结构是单晶衬底的延续，而且与衬底的晶向保持对应的关系。在半导体科学技术的发展中，气相外延发挥了重要作用，典型代表是Si气相外延和GaN气相外延。其中，GaN单晶气相外延通常采用氢化物气相外延，该技术工艺设备简单、生长的GaN纯度高、电学特性好，已广泛的应用于发光器件、场效应晶体管等微波器件、电力电子器件中。然而，目前在氢化物气相外延生长过程中，液体生长源随着反应的进行其液面会逐渐下降，而通入氯化氢气体的出气口的位置是固定的，如此容易导致氯化氢与液体生长源的反应不够充分。因此，针对上述问题，有必要提出进一步的解决方案。
技术实现思路
本专利技术旨在提供一种氢化物气相外延用的浮舟及浮舟装置，以克服现有技术中存在的不足。为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是：一种氢化物气相外延用的浮舟，其包括：舟体、连接于所述舟体上的进气管；所述舟体内部具有气体输送通道，该气体输送通道的进气口和出气口延伸至所述舟体的表面上，所述出气口为至少一个，所述进气管一端与所述进气口相连通；所述舟体能够浮在液体生长源中，其排开的生长源的重量＝舟体沉入液体生长源中的重量，所述舟体沉入液体生长源中的深度为固定值，所述出气口距离液体生长源的液面的距离，随液体生长源的液面的变化，保持固定。作为本专利技术的氢化物气相外延用的浮舟的改进，所述舟体为一圆盘，所述进气口位于所述圆盘的顶面，所述出气口位于所述圆盘的侧面。作为本专利技术的氢化物气相外延用的浮舟的改进，所述出气口为多个时，多个出气口周向地分布于所述圆盘的侧面。作为本专利技术的氢化物气相外延用的浮舟的改进，所述气体输送通道包括：进气通道和多个出气通道，所述进气通道一端为所述进气口，任一所述出气通道一端为所述出气口，各出气通道的另一端与所述进气通道的另一端相连通。作为本专利技术的氢化物气相外延用的浮舟的改进，所述浮舟的材质为石英或者三氧化二铝。作为本专利技术的氢化物气相外延用的浮舟的改进，所述出气口径向的形状为圆、半圆、椭圆、方形中的一种，尺寸为1mm至99mm，所述出气口距离液体生长源的液面的距离为零或者大于零。作为本专利技术的氢化物气相外延用的浮舟的改进，所述液体生长源为液体镓源。为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案是：一种氢化物气相外延生长用浮舟装置，其包括：反应器、位于所述反应器中的浮舟、气源、连接所述浮舟和气源的管道；所述浮舟为如上所述的浮舟，所述气源为氯化氢气源。作为本专利技术的氢化物气相外延生长用浮舟装置的改进，所述反应器为一桶体，所述桶体的桶盖上具有供所述进气管伸出的开口，所述舟体的四周与所述桶体的内侧壁之间保持有间距。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本专利技术的氢化物气相外延用的浮舟能够浮在液体生长源的表面，随着反应的进行，跟随液体生长源的液面下降，保证了氯化氢与液体生长源的充分反应。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术的氢化物气相外延用的浮舟的立体示意图；图2、3为本专利技术的氢化物气相外延用的浮舟浮在液体生长源时的状态示意图；图4为本专利技术的氢化物气相外延浮舟装置平面示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。如图1所示，本专利技术的氢化物气相外延用的浮舟包括：舟体1、连接于所述舟体1上的进气管2。所述舟体1能够浮在液体生长源中，并随所述液体生长源的液面的升降进行同步移动，在示例性实施例中，所述舟体1采用石英舟体或者三氧化二铝或者其他材质。相应的，所述进气管2同样采用石英进气管2。通过采用上述石英材质，舟体1及其上的进气管2能够始终浮在液体生长源上，且进行反应时不会由于反应放热发生形变。一个实施方式中，所述液体生长源为液体镓源。为了实现氯化氢气体的输送，所述舟体1内部具有气体输送通道11，该气体输送通道11的进气口和出气口延伸至所述舟体1的表面上，所述出气口为至少一个，所述进气管2一端与所述进气口相连通。如此，外部的氯化氢气体通过进气管2进入到舟体1中，再由舟体1分配给液体生长源进行反应。如图2、3所示，由于所述舟体1能够浮在液体生长源中，其排开的生长源的重量＝舟体沉入液体生长源中的重量。同时，所述舟体1沉入液体生长源中的深度为固定值，所述出气口距离液体生长源的液面的距离H，随液体生长源的液面的变化，保持固定。同时，液面高度不高于出气口最上端，也不高于所在容器的最上端。在示例性实施例中，所述舟体1为一圆盘，所述进气口位于所述圆盘的顶面，所述出气口位于所述圆盘的侧面。当所述出气口为多个时，多个出气口周向地分布于所述圆盘的侧面。如此，气体能够均匀地分配给液体生长源，进一步保证了反应的充分性。上述示例性的实施例中，所述气体输送通道11相应包括：进气通道111和多个出气通道112。其中，所述进气通道111一端为所述进气口，任一所述出气通道112一端为所述出气口。在示例性实施例中，所述出气口径向的形状为圆、半圆、椭圆、方形中的一种，尺寸为1mm至99mm，所述出气口距离液体生长源的液面的距离为零或者大于零。如图4所示，基于相同的技术构思，本专利技术还提供一种氢化物气相外延用生长源装置，其包括：反应器10、位于所述反应器10中的浮舟20、气源30、连接所述浮舟20和气源30的管道40。所述浮舟20为如上技术方案中所述的浮舟20，所述气源30为氯化氢气源30，由于软管的成本低于石英材质的，从而通过采用软管管道40有利于降低浮舟装置的成本，且方便管道40的架设。此时，由于软管不耐高温，所述进气管2的长度使得所述软管与反应器10之间具有安全距离。在示例性实施例中，所述反应器10为一桶体。此时，所述桶体的桶盖上具有供所述进气管2伸出的开口，所述舟体1的四周与所述桶体的内侧壁之间保持有间距，如此以方便浮舟20随所述液体生长源的液面的升降进行同步移动。综上所述，本专利技术的氢化物气相外延用的浮舟能够浮在液体生长源的表面，随着反应的进行，跟随液体生长源的液面下降，保证了氯化氢与液体生长源的充分反应。对于本领域技术人员而言，显然本专利技术不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本专利技术的精神或基本特本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氢化物气相外延用的浮舟，其特征在于，所述氢化物气相外延用的浮舟包括：舟体、连接于所述舟体上的进气管；/n所述舟体内部具有气体输送通道，该气体输送通道的进气口和出气口延伸至所述舟体的表面上，所述出气口为至少一个，所述进气管一端与所述进气口相连通；所述舟体能够浮在液体生长源中，其排开的生长源的重量＝舟体沉入液体生长源中的重量，所述舟体沉入液体生长源中的深度为固定值，所述出气口距离液体生长源的液面的距离，随液体生长源的液面的变化，保持固定。/n

【技术特征摘要】
1.一种氢化物气相外延用的浮舟，其特征在于，所述氢化物气相外延用的浮舟包括：舟体、连接于所述舟体上的进气管；
所述舟体内部具有气体输送通道，该气体输送通道的进气口和出气口延伸至所述舟体的表面上，所述出气口为至少一个，所述进气管一端与所述进气口相连通；所述舟体能够浮在液体生长源中，其排开的生长源的重量＝舟体沉入液体生长源中的重量，所述舟体沉入液体生长源中的深度为固定值，所述出气口距离液体生长源的液面的距离，随液体生长源的液面的变化，保持固定。


2.根据权利要求1所述的氢化物气相外延用的浮舟，其特征在于，所述舟体为一圆盘，所述进气口位于所述圆盘的顶面，所述出气口位于所述圆盘的侧面。


3.根据权利要求2所述的氢化物气相外延用的浮舟，其特征在于，所述出气口为多个时，多个出气口周向地分布于所述圆盘的侧面。


4.根据权利要求3所述的的氢化物气相外延用的浮舟，其特征在于，所述气体输送通道包括：进气通道和多个出气通道，所述进气通道一端为所述进气口，任一所述出气通道一端为所述出气...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡德敏，徐琳，沈振华，张波，徐科，王建峰，
申请(专利权)人：苏州纳维科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32