【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，尤其涉及腐蚀装置。
技术介绍
1、氮化镓是研制微电子器件、光电子器件的新型半导体材料，并与sic(碳化硅)、金刚石等半导体材料一起，被誉为是继第一代ge(锗)、si(硅)半导体材料、第二代gaas(砷化镓)、inp(磷化铟)化合物半导体材料之后的第三代半导体材料。氮化镓具有宽的直接带隙、强的原子键、高的热导率、化学稳定性好(几乎不被任何酸腐蚀)等性质和强的抗辐照能力。
2、为了使氮化镓的厚度达到目标厚度，通常的做法是化学腐蚀和机械抛光，但是传统的机械抛光会存在抛光时产生的划痕，而传统的化学腐蚀方式的腐蚀效率较低。
3、基于此，本申请提供了腐蚀装置，以解决上述现有技术中存在的问题。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供腐蚀装置，对多份样品同时进行腐蚀，提升腐蚀效率。
2、本申请的目的采用以下技术方案实现：
3、本申请提供一种腐蚀装置，包括：
4、腐蚀锅，所述腐蚀锅用于盛放腐蚀液；
5、花篮组件，所述花篮组件包括支架和至少一个花篮，每个所述花篮均与所述支架连接，每个所述花篮用于盛放样品，以使所述样品浸泡于所述腐蚀液中；
6、加热组件，所述加热组件用于加热所述腐蚀锅。
7、该技术方案的有益效果在于：腐蚀装置设置有多个与支架连接的花篮，多份样品可以同时盛放于不同的花篮上，在加热组件的加热作用下，腐蚀液快速升温，提升了腐蚀效率，采用上述腐蚀装置，可以对多份样品(例如是氮化镓单晶
8、在一些可选的实施例中，所述样品为氮化镓单晶，所述腐蚀液为磷酸溶液。
9、该技术方案的有益效果在于：对于氮化物单晶而言，其n面化学性质非常活泼，在相同的条件下，相比ga面更容易受到腐蚀和刻蚀作用，所以可以使用简单易操作的湿法刻蚀，用湿法腐蚀试剂进行浸泡腐蚀。适用的湿法腐蚀试剂可以采用磷酸溶液。
10、在一些可选的实施例中，每个所述花篮包括：
11、支撑板，所述支撑板设置有多个贯穿孔；
12、至少一个支撑柱，所述支撑柱设置于所述支撑板的朝向所述腐蚀锅的底部的表面。
13、该技术方案的有益效果在于：一方面，支撑板上的多个贯穿孔可以使得腐蚀液通过，增大氮化镓单晶与磷酸溶液的接触面积，提升浸泡效果，进一步提高腐蚀效率；另一方面，花篮设置有多个支撑柱，使得支撑板可以在腐蚀锅中保持一定的高度，避免支撑板贴着腐蚀锅锅底，影响腐蚀效果。
14、在一些可选的实施例中，多个所述贯穿孔呈阵列排列，任意相邻两行或任意相邻两列的贯穿孔的距离相等。
15、该技术方案的有益效果在于：贯穿孔呈阵列排列，一方面，相比于不规则排列设置的贯穿孔，其制造工艺相对简单；另一方面，有助于腐蚀液均匀地穿过贯穿孔，进一步提升氮化镓单晶的浸泡效果。
16、在一些可选的实施例中，每个所述贯穿孔的形状为圆形、扇形、矩形、三角形、正多边形或者不规则形状。
17、该技术方案的有益效果在于：贯穿孔的形状可以根据实际需要灵活设置，例如圆形、扇形、矩形、三角形、正多边形或者不规则形状。
18、在一些可选的实施例中，每个所述支撑板与所述腐蚀锅的底部的距离相同。
19、在一些可选的实施例中，每个所述贯穿孔的直径为0.5cm～3cm。
20、该技术方案的有益效果在于：一方面，贯穿孔的直径如果设置得过大，会使得氮化镓单晶在腐蚀过程中由于直径变小而从花篮的贯穿孔上脱落，另一方面，贯穿孔的直径如果设置得过小，氮化镓单晶的浸泡效果不充分，因此，每个贯穿孔的直径设置为0.5cm～3cm，既能避免氮化镓单晶从花篮上脱落，又能保证氮化镓单晶得到充分的浸泡。
21、在一些可选的实施例中，每个所述支撑板的边缘设置有环形凸部，用于防止所述样品从所述支撑板的边缘滑落。
22、在一些可选的实施例中，所述加热组件包括石棉套和环形加热丝，所述石棉套套设于所述腐蚀锅的外壁，所述环形加热丝设置于所述石棉套内部。
23、该技术方案的有益效果在于：加热组件包括石棉套和设置于石棉套内部的环形加热丝，石棉套可以避免环形加热丝与腐蚀锅直接接触，防止烧杯炸裂，一般而言，加热板只能加热腐蚀锅的锅底，加热所需的功率较大，且靠近锅底的腐蚀液和液位表面的腐蚀液热度不均匀，本申请采用环形加热丝，加热所需的功率较小，并且沿腐蚀锅的周向加热，使得腐蚀液的热度更均匀，加热效果更好。
24、在一些可选的实施例中，所述加热组件还包括温度控制器，所述温度控制器用于调节所述环形加热丝的加热温度。
25、该技术方案的有益效果在于：加热组件还包括温度控制器，通过温度控制器的调控可以使腐蚀液的温度保持在目标温度，温度一旦稳定，腐蚀速率也就相对稳定，便于把控。
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1.一种腐蚀装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的腐蚀装置，其特征在于，每个所述花篮包括：
3.根据权利要求2所述的腐蚀装置，其特征在于，多个所述贯穿孔呈阵列排列，任意相邻两行或任意相邻两列的贯穿孔的距离相等。
4.根据权利要求3所述的腐蚀装置，其特征在于，每个所述贯穿孔的形状为圆形、扇形、矩形、三角形、正多边形或者不规则形状。
5.根据权利要求2所述的腐蚀装置，其特征在于，每个所述支撑板与所述腐蚀锅的底部的距离相同。
6.根据权利要求2所述的腐蚀装置，其特征在于，每个所述支撑板与所述腐蚀锅的底部的距离不同。
7.根据权利要求3所述的腐蚀装置，其特征在于，每个所述贯穿孔的直径为0.5cm～3cm。
8.根据权利要求3所述的腐蚀装置，其特征在于，每个所述支撑板的边缘设置有环形凸部，防止样品从所述支撑板的边缘滑落。
9.根据权利要求1所述的腐蚀装置，其特征在于，所述加热组件包括石棉套和环形加热丝，所述石棉套套设于所述腐蚀锅的外壁，所述环形加热丝设置于所述石棉套内部。
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