用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及薄膜制备技术，具体涉及一种用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置。为了解决现有方式得到的镀膜条带连续性、导电性差的问题，本发明专利技术提出的用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置包括基体和控制部，基体上设置有：转接口，其用于使基体连接到镀膜仪上；条带运载头，其末端固定在基体上，在基体连接于镀膜仪之后，条带运载头的前端伸入到镀膜仪的真空腔内；主腔室，在基体连接于镀膜仪之后，主腔室与镀膜仪的真空腔连通；送带卷轴和收带卷轴，其位于主腔室内；控制部能够控制送带卷轴和收带卷轴转动以使条带沿条带运载头绕转，并因此使条带从送带卷轴运转到收带卷轴上。利用本发明专利技术的装置能够有效改善制备的连续导电薄膜材料表面导电性差的问题。

A device for preparing continuous conductive film by coater

The invention relates to a film preparation technology, in particular to a device for preparing a continuous conductive film by a coating instrument. In order to solve the problems of poor continuity and conductivity of the coating strip obtained by the existing method, the device for preparing the continuous conductive film of the coating instrument proposed by the invention includes a substrate and a control part, on the substrate is provided with: a rotating interface, which is used to connect the substrate to the coating instrument; a strap carrying head, whose end is fixed on the substrate, after the substrate is connected to the coating instrument, the strap carrying head The front end of the main chamber is extended into the vacuum cavity of the coater; after the substrate is connected to the coater, the main chamber is connected with the vacuum cavity of the coater; the belt feeding roller and the belt retracting roller are located in the main chamber; the control unit can control the rotation of the belt feeding roller and the belt retracting roller to make the belt rotate along the belt carrying head, and thus the belt moves from the belt feeding roller to the belt retracting roller. The device can effectively improve the poor surface conductivity of the prepared continuous conductive film material.

【技术实现步骤摘要】
用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置
本专利技术涉及薄膜制备技术，具体涉及一种用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置。
技术介绍
随着近年来基于连续超薄切片扫描电镜成像的方法(ssSEM)的广泛应用，使得神经生物学、细胞生物学等对细胞、乃至组织层面的更大尺度立方毫米级别的三维结构信息获取得以快速实现。该技术主要是通过收集带、钻石刀及超薄切片机对树脂包埋样品的连续超薄切片进行自动化收集，然后将切片进行等离子体减薄显著化处理、原子力显微镜测量、切片表面镀导电膜后转移至扫描电镜，再对获得的系列电子显微图像进行高分辨率的大尺度三维重构。它的独特优势在于序列切片可以保存，同时可在不同分辨率下多次成像，因此，一些珍贵的样品就像图书馆里的书一样可供研究者反复“查阅”，且科研人员可针对感兴趣的切片区分次研究，从而提高了采集效率和灵活性。市面在售的表面平整度和柔韧度均符合连续超薄切片自动收集需求的条带宽度恒定为8mm，材料多为聚酰亚胺等高分子薄膜材料，受材料组分影响条带表面导电性都很差。如将切片收集在其表面后，如果直接用于扫描电镜成像，表面荷电会非常严重，不但无法本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置，其特征在于，该装置包括基体和控制部，所述基体上设置有：/n转接口，所述转接口用于使所述基体连接到镀膜仪上；/n条带运载头，所述条带运载头的末端固定在所述基体上，在所述基体连接于所述镀膜仪之后，所述条带运载头的前端伸入到所述镀膜仪的真空腔内；/n主腔室，在所述基体连接于所述镀膜仪之后，所述主腔室与所述镀膜仪的真空腔连通；/n送带卷轴和收带卷轴，所述送带卷轴和所述收带卷轴位于所述主腔室内，并且，位于所述送带卷轴上的条带绕过所述条带运载头并粘贴到所述收带卷轴；/n所述控制部能够控制所述送带卷轴和所述收带卷轴转动以使所述条带沿所述条带运载头绕转，并因此使所述条...

【技术特征摘要】
1.一种用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置，其特征在于，该装置包括基体和控制部，所述基体上设置有：
转接口，所述转接口用于使所述基体连接到镀膜仪上；
条带运载头，所述条带运载头的末端固定在所述基体上，在所述基体连接于所述镀膜仪之后，所述条带运载头的前端伸入到所述镀膜仪的真空腔内；
主腔室，在所述基体连接于所述镀膜仪之后，所述主腔室与所述镀膜仪的真空腔连通；
送带卷轴和收带卷轴，所述送带卷轴和所述收带卷轴位于所述主腔室内，并且，位于所述送带卷轴上的条带绕过所述条带运载头并粘贴到所述收带卷轴；
所述控制部能够控制所述送带卷轴和所述收带卷轴转动以使所述条带沿所述条带运载头绕转，并因此使所述条带从所述送带卷轴运转到所述收带卷轴上；其中，在所述条带沿所述条带运载头绕转的过程中，所述镀膜仪对所述条带进行镀膜。


2.根据权利要求1所述的用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置，其特征在于，所述主腔室内靠近所述条带运载头末端的位置设置有第一条带限位模块和第二条带限位模块，
位于所述送带卷轴上的条带穿过所述第一条带限位模块后绕过所述条带运载头，再穿过所述第二条带限位模块之后粘贴到所述收带卷轴。


3.根据权利要求2所述的用于镀膜仪制备连续导电薄膜的装置，其特征在于，所述第一条带限位模块位于所述第二条带限位模块的上方；
所述第一条带限位模块由安装于所述主腔室内的第一圆柱体和第二圆柱体组成，所述第一圆柱体和所述第二圆柱体之间留有用于条带穿过的缝隙，通过所述缝隙以防止条带在运动过程中发生偏离；
所述第二条带限位模块由安装于所述主腔室内的第三圆柱体和第四圆柱体组成，所述第三圆柱体和所述第四圆柱体之间留有用于条带穿过的缝隙，通过所述缝...

【专利技术属性】
技术研发人员：马宏图，张丽娜，李琳琳，李国庆，何伟，李帅，韩华，
申请(专利权)人：中国科学院自动化研究所，聚束科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11