一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统技术方案

一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统，主要包括：依次为进片腔室、过渡层沉积腔室、金属碳化物层沉积腔室和出片腔室；各个腔室的进出口均设有腔室阀门，腔室阀门将两侧的腔室相互隔开；样品传动装置穿过各个腔室内的底部，形成一条闭合回路；样品架设在样品传动装置上，带着样品从左至右依次穿过各个腔室。本发明专利技术采用非平衡磁场和平衡磁场的结合，对磁场方式，电源系统和靶基距的匹配优化，提高了金属碳化物涂层的结合性能和稳定性能；采用连续化的小型沉积设备，引入机械手等自动化设备实现对金属碳化物涂层的快速沉积，可降低涂层制备成本。

A four chamber deposition system of metal carbide coating on fuel cell plate

The invention relates to a four chamber deposition system for metal carbide coating of fuel cell plate, which mainly includes: the inlet chamber, the transition layer deposition chamber, the metal carbide layer deposition chamber and the outlet chamber in sequence; the inlet and outlet of each chamber are provided with chamber valves, which separate the chambers on both sides from each other; the sample transmission device passes through the bottom of each chamber to form a closed loop The sample is mounted on the sample transmission device, and the sample is taken to pass through each chamber from left to right. The invention adopts the combination of unbalanced magnetic field and balanced magnetic field, optimizes the matching of magnetic field mode, power supply system and target base distance, improves the binding performance and stability performance of metal carbide coating; adopts continuous small-scale deposition equipment, introduces automatic equipment such as manipulator to realize the rapid deposition of metal carbide coating, which can reduce the coating preparation cost.

【技术实现步骤摘要】
一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统
本专利技术属于燃料电池
，涉及一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统。
技术介绍
随着社会的不断发展，煤炭石油等化石能源储量有限以及对生态环境产生的恶劣影响，清洁和可再生能源得到广泛应用并获得巨大重视。其中燃料电池作为一种通过电化学反应直接产生电能的发电装置已经得到诸多机构和人员的关注，以氢气为燃料的质子交换膜燃料电池（ProtonExchangeMembraneFuelCell，简称PEMFC）更是得到广泛的应用，应用范围已经包括汽车，无人机、固定电站等。在质子交换膜燃料电池当中，极板承担着分配气体，传到热量，支撑膜电极等作用，此外，在燃料电池运行过程当中，极板工作温度可达65～85℃，同时处在pH=3的酸性溶液环境当中，并且存在着一定的电位，电位大小从0.6～1.6V变化不等。没有经过任何处理的金属极板来说，在这种环境下持续工作会产生严重的电化学腐蚀，进而造成燃料电池性能的衰减和寿命的下降。通过对极板进行相应的表面改性，如沉积涂层，以进一步提高燃料电池极板的导电性能和耐腐蚀性能。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统，其特征在于，主要包括：依次为进片腔室（1）、过渡层沉积腔室（2）、金属碳化物层沉积腔室（3）和出片腔室（4）；各个腔室的进出口均设有腔室阀门（5）将两侧的腔室相互隔开；样品传动装置（8）穿过各个腔室内的底部，形成一条闭合回路；样品架（6）设在所述样品传动装置（8）上，带动着样品（7）从左至右依次穿过各个腔室，完成涂层的制备。/n

【技术特征摘要】
1.一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统，其特征在于，主要包括：依次为进片腔室（1）、过渡层沉积腔室（2）、金属碳化物层沉积腔室（3）和出片腔室（4）；各个腔室的进出口均设有腔室阀门（5）将两侧的腔室相互隔开；样品传动装置（8）穿过各个腔室内的底部，形成一条闭合回路；样品架（6）设在所述样品传动装置（8）上，带动着样品（7）从左至右依次穿过各个腔室，完成涂层的制备。


2.根据权利要求1所述的四腔体沉积系统，其特征在于，在所述进片腔室（1）、过渡层沉积腔室（2）、金属碳化物层沉积腔室（3）和出片腔室（4）内，还分别配备有独立的真空系统、电源系统以及气路系统。


3.根据权利要求1所述的四腔体沉积系统，其特征在于，所述样品架（6）上可以悬挂2～20片燃料电池极板。


4.根据权利要求1所述的四腔体沉积系统，其特征在于，分别在所述过渡层沉积腔室（2）和所述金属碳化物层沉积腔室（3）的两侧壁面对称均匀布置一定数量的加热装置（12）。


5.根据权利要求1所述的四腔体沉积系统，其特征在于，分别在所述过渡层沉积腔室（2）和所述金属碳化物层沉积腔室（3）内的两侧壁面上设有阴极磁场（13），与所述加热装置（12）间隔排列。


6.根据权利要求5所述的四腔体沉积系统，其特征在于，所述阴极磁场（13）采用5～9道磁铁。


7.根据权利要求1所述的四腔体沉积系统，其特征在于，所述过渡层沉积腔室（2）的阴极磁场（13）...

【专利技术属性】
技术研发人员：毕飞飞，黎焕明，姜天豪，蓝树槐，彭林法，
申请(专利权)人：上海治臻新能源装备有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31