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一种燃料电池极板金属碳化物涂层的四腔体沉积系统，主要包括：依次为进片腔室、过渡层沉积腔室、金属碳化物层沉积腔室和出片腔室；各个腔室的进出口均设有腔室阀门，腔室阀门将两侧的腔室相互隔开；样品传动装置穿过各个腔室内的底部，形成一条闭合回路；样品...
该专利属于上海治臻新能源装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海治臻新能源装备有限公司授权不得商用。

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