The processing method of the chip is provided, and the device chip is formed without reducing the quality. The processing method of the wafer divides the wafer with multiple devices in each area of the front side divided by the dividing predetermined line into device chips, wherein, the processing method of the wafer has the following processes: Polyolefin chip mounting process, positioning the wafer in the opening of the frame with the opening for chip storage, and polyolefin chip mounting on the back side of the wafer And the outer circumference of the frame; the integration process is to heat the polyolefin chip and integrate the chip and the frame with the help of the polyolefin chip through hot pressing; the segmentation process is to use a cutting device with a cutting tool in a rotatable manner to cut the chip along the predetermined line of segmentation and divide the chip into various device chips; and the pickup process is from The polyolefin chip picks up each device chip.
【技术实现步骤摘要】
晶片的加工方法
本专利技术涉及晶片的加工方法,将由分割预定线划分而在正面的各区域内形成有多个器件的晶片分割成各个器件。
技术介绍
在用于移动电话或个人计算机等电子设备的器件芯片的制造工序中,首先在由半导体等材料构成的晶片的正面上设定多条交叉的分割预定线(间隔道)。并且,在由该分割预定线划分的各区域内形成IC(IntegratedCircuit:集成电路)、LSI(LargeScaleIntegration:大规模集成)等器件。然后,将在具有开口的环状的框架上按照封住该开口的方式粘贴的被称为划片带的粘接带粘贴于该晶片的背面上,形成晶片、粘接带以及环状的框架成为一体的框架单元。并且,当沿着该分割预定线对框架单元所包含的晶片进行加工而分割时,形成各个器件芯片。在晶片的分割中例如使用切削装置。切削装置具有隔着粘接带而对晶片进行保持的卡盘工作台、对晶片进行切削的切削单元等。切削单元具有:切削刀具,其具有圆环状的磨具部;以及主轴,其穿过该切削刀具的中央的贯通孔,使切削刀具旋转。在对晶片进行切削时,将框架单元载置于卡盘工作台上,隔着粘接带而将晶片保持于卡盘工作台,通过使主轴旋转而使切削刀具旋转,使切削单元下降至规定的高度位置。然后,使卡盘工作台和切削单元沿着与卡盘工作台的上表面平行的方向相对移动,通过切削刀具沿着分割预定线对晶片进行切削。于是,对晶片进行分割。然后,将框架单元从切削装置搬出,实施对粘接带照射紫外线等处理而使粘接带的粘接力降低,并对器件芯片进行拾取。作为器件芯片的生产效率较高的加工装置 ...
【技术保护点】
1.一种晶片的加工方法,将在由分割预定线划分的正面的各区域内形成有多个器件的晶片分割成各个器件芯片,其特征在于,/n该晶片的加工方法具有如下的工序:/n聚烯烃系片配设工序,将晶片定位于具有对晶片进行收纳的开口的框架的该开口内,将聚烯烃系片配设在该晶片的背面和该框架的外周上;/n一体化工序,对该聚烯烃系片进行加热,通过热压接使该晶片和该框架借助该聚烯烃系片而一体化;/n分割工序,使用以能够旋转的方式具有切削刀具的切削装置,沿着分割预定线对该晶片进行切削而将该晶片分割成各个器件芯片;以及/n拾取工序,从该聚烯烃系片拾取各个器件芯片。/n
【技术特征摘要】
20180514 JP 2018-0928021.一种晶片的加工方法,将在由分割预定线划分的正面的各区域内形成有多个器件的晶片分割成各个器件芯片,其特征在于,
该晶片的加工方法具有如下的工序:
聚烯烃系片配设工序,将晶片定位于具有对晶片进行收纳的开口的框架的该开口内,将聚烯烃系片配设在该晶片的背面和该框架的外周上;
一体化工序,对该聚烯烃系片进行加热,通过热压接使该晶片和该框架借助该聚烯烃系片而一体化;
分割工序,使用以能够旋转的方式具有切削刀具的切削装置,沿着分割预定线对该晶片进行切削而将该晶片分割成各个器件芯片;以及
拾取工序,从该聚烯烃系片拾取各个器件芯片。
2.根据权利要求1所述的晶片的加工方法,其特征在于,
在该一体化工序中,通过红外线的照射来实施该热压接。
3.根据权利要求1所述的晶片的加工方法,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:原田成规,松泽稔,木内逸人,淀良彰,荒川太朗,上里昌充,河村慧美子,藤井祐介,宫井俊辉,大前卷子,
申请(专利权)人:株式会社迪思科,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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