【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种以流体压缸对换向阀进行开闭操作的缸操作型换向阀。作为对流体的流路进行切换的换向阀的一种，具有通过流体压力缸对阀机构构件进行操作的缸操作型换向阀。这种换向阀用于对半导体晶片制造装置等的加工用气体管线中的气体流动进行控制的场合等，常常在装置基板上靠近地设置多个换向阀，从与设置空间的关系考虑需要尽可能地小型化。可是，将换向阀小型化时，一体组装于其上的缸必然也小型化，活塞的受压面积变小，可能得不到所需要的操作力。为了由小直径的活塞获得大的操作力，可以串列方式连接多个缸，但在这样连接多个缸的方法中，构造复杂化，组装麻烦，设置用于相互连接的凸缘导致缸大直径化。另外，在连接精度差的场合，杆的滑动阻力增大，动作变得不稳定，滑动部分的磨损使得易于产生粉尘。本专利技术的技术课题在于提供一种小型缸操作型换向阀，其中，不以串列方式连接多个缸，由小直径的活塞即可获得大的操作力。为了解决上述课题，本专利技术提供一种缸操作型换向阀，该换向阀具有阀机构部和缸操作部，该阀机构部在阀壳内部具有流体流路、设于该流路中间的阀座、及与该阀座接离从而对上述流路进行开闭的隔膜阀，该缸操...
【技术保护点】
一种缸操作型换向阀，其特征在于：包含由隔膜阀的位移开闭流体流路的阀机构部和对上述隔膜阀进行开闭操作的缸操作部，该阀机构部在阀壳内具有上述流体流路、设于该流路中间的阀座、及与该阀座接离从而对流体流路进行开闭并被赋予离开该阀座的方向上的弹性力的上述隔膜阀；上述缸操作部具有１个缸筒、多个分隔壁、阀杆、多个活塞、多个压力室、共用的操作孔、连通孔、及阀簧，该１个缸筒与上述隔膜阀同轴地接合于上述阀壳，该多个分隔壁将该缸筒的内部分成多个活塞室，该阀杆可自由滑动地贯通这些各分隔壁的中心部，其前端延伸到接近上述阀壳内的隔膜阀的位置，通过前后移动从而开闭该隔膜阀，该多个活塞安装在阀杆上并分别可...
【技术特征摘要】
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