本实用新型专利技术公开了一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置及该装置加工的安全防爆膜，包括密封的矩形的壳体、送料辊和收料辊，所述壳体的内部设置有阴极靶材、阳极基片、进气圆盘和两个辊道。可以保持介质薄膜的平整性，从而在溅射镀膜的过程中，镀层可以保持均一性，在送料辊和收料辊在拉扯的情况下容易出现介质受力不均匀，这里可以防止介质由于张力的影响导致镀层不均一的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置及该装置加工的安全防爆膜
本技术涉及电容器的工艺
，尤其涉及一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置及该装置加工的安全防爆膜。
技术介绍
电容器作为基本的电子元器件之一，在电子行业如家用电器、显示器、照明电器、通讯产品、电源及仪器、仪表等电子设备中广泛应用。常用电容按介质区分有纸介电容、云母电容、薄膜电容、陶瓷电容、电解电容等,而薄膜电容因其具有优良的特性，如体积小，质量轻、容值稳定、耐压性能好、绝缘阻抗高、频率响应宽、介质损耗小等正逐步占据越来越大的市场。真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术，在现实生产生活中有着广泛的应用，真空镀膜技术有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。溅射镀膜通常将欲沉积的材料制成板材-靶，固定在阴极上，基面置于正对靶面的阳极上，距靶面一定的距离，系统所在的区域抽空，填充氩气作为保护气，在阴极和阳极之间加几千伏的电压，两极间即产生辉光放电。放电产生的正离子在电场作用下飞向阴极，与靶表面原理碰撞，受碰撞从靶表面溢出的靶原子称为溅射原子，其能量在1至几十电子伏范围，溅射的原子在基片的表面沉积成膜。本技术主要解决的是：溅射镀膜的过程中，由于送料辊和收料辊之间拉力影响介质薄膜平整性，从而导致的溅射膜层不均一问题。
技术实现思路
本技术针对现有技术的不足，提供一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置及该装置加工的安全防爆膜，主要解决的是：溅射镀膜的过程中，由于送料辊和收料辊之间拉力影响介质薄膜平整性，从而导致的溅射膜层不均一问题。本技术通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置，包括密封的矩形的壳体、送料辊和收料辊，所述壳体的内部设置有阴极靶材、阳极基片、进气圆盘和两个辊道；所述阴极靶材和阳极基片上、下平行设置，所述阴极靶材和阳极基片之间设置有所述辊道，所述阳极基片的下方设置有进气圆盘；两个所述辊道前、后相对设置，所述辊道包括两个上滚轮和两个下滚轮，两个所述上滚轮分别与两个下滚轮上、下一一对应安装，两个所述上滚轮之间和两个下滚轮之间均设置有履带，所述上滚轮与壳体上壁之间设置有支撑杆I，所述下滚轮与壳体下壁之间设置有支撑杆II，所述支撑杆I包括管槽I、滑竿I、弹簧I和丝杆，所述滑竿I的下端与上滚轮固接，所述管槽I的上端与壳体上壁垂直固接，所述滑竿I的上端延伸至管槽I中并与管槽I内壁之间滑动配合，所述丝杆的上端穿过壳体上壁并且与壳体上壁之间螺接配合，所述丝杆的上端设置有旋钮，所述丝杆的下端延伸至管槽I中，所述丝杆的下端与滑杆I的上端之间设置有所述弹簧I；所述支撑杆II包括管槽II、滑竿II和弹簧II，所述管槽II的下端垂直固定在壳体下侧壁上，所述滑竿II的上端与下滚轮固定，所述滑竿II的下端延伸至管槽II中并与管槽II内壁之间滑动配合，所述滑竿II的下端与壳体下侧壁之间设置有所述弹簧II。优选的，所述进气圆盘下侧设置有螺纹轴，所述进气圆盘的上侧均匀设置有若干个气孔，所述螺纹轴的上端与进气圆盘的中央固接，所述螺纹轴的下端与壳体下侧壁滑动配合，所述螺纹轴的中进气通道，若干个所述气孔均与进气通道连通。优选的，所述壳体的下侧还设置有电机和进气管，所述电机与螺纹轴通过齿轮传动配合，所述进气管延伸至进气通道中。优选的，所述壳体的左侧壁设置有进料口，所述壳体的右侧壁设置与出料口，所述进料口和出料口水平相对安装，所述进料口与出料口的位置均设置有吸气机。一种安全防爆膜，所述安全防爆膜采用权利要求1～4任一项所述安全防爆膜均匀溅射镀膜装置加工而成。本技术的优点在于：可以保持介质薄膜的平整性，从而在溅射镀膜的过程中，镀层可以保持均一性，在送料辊和收料辊在拉扯的情况下容易出现介质受力不均匀，这里可以防止介质由于张力的影响导致镀层不均一的问题；在壳体中，进气管连通进气圆盘，通过进气圆盘释放保护气，使保护气在壳体中的散布更加均匀，所以最终的镀层厚度也更加的均一。附图说明图1：本技术正视结构示意图。图2：本技术侧视结构示意图。图3：本技术支撑杆I结构示意图。图4：本技术支撑杆II结构示意图。图5：本技术进气圆盘结构示意图。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本文中的上、下、左、右、前、后，均相对于图1所示为标准。实施例：如图1、图2所示：一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置，包括密封的矩形的壳体1、送料辊2和收料辊3，所述壳体1的内部设置有阴极靶材11、阳极基片12、进气圆盘4和两个辊道；所述阴极靶材11和阳极基片12上、下平行设置，所述阴极靶材11和阳极基片12之间设置有所述辊道，所述阳极基片12的下方设置有进气圆盘4；两个所述辊道前、后相对设置，所述辊道包括两个上滚轮13和两个下滚轮14，两个所述上滚轮13分别与两个下滚轮14上、下一一对应安装，两个所述上滚轮13之间和两个下滚轮14之间均设置有履带5，所述上滚轮13与壳体1上壁之间设置有支撑杆I6，所述下滚轮14与壳体1下壁之间设置有支撑杆II7；如图3所示：所述支撑杆I6包括管槽I61、滑竿I62、弹簧I63和丝杆64，所述滑竿I62的下端与上滚轮13固接，所述管槽I61的上端与壳体1上壁垂直固接，所述滑竿I62的上端延伸至管槽I61中并与管槽I61内壁之间滑动配合，所述丝杆65的上端穿过壳体1上壁并且与壳体1上壁之间螺接配合，所述丝杆65的上端设置有旋钮66，所述丝杆65的下端延伸至管槽I61中，所述丝杆65的下端与滑杆I62的上端之间设置有所述弹簧I64；如图4所示：所述支撑杆II7包括管槽II71、滑竿II72和弹簧II73，所述管槽II71的下端垂直固定在壳体1下侧壁上，所述滑竿II72的上端与下滚轮14固定，所述滑竿II72的下端延伸至管槽II71中并与管槽II71内壁之间滑动配合，所述滑竿II72的下端与壳体1下侧壁之间设置有所述弹簧II73。如图5所示：所述进气圆盘4下侧设置有螺纹轴41，所述进气圆盘4的上侧均匀设置有若干个气孔42，所述螺纹轴41的上端与进气圆盘4的中央固接，所述螺纹轴41的下端与壳体1下侧壁滑动配合，所述螺纹轴41的中进气通道43，若干个所述气孔42均与进气通道43连通。所述壳体1的下侧还设置有电机44和进气管45，所述电机44与螺纹轴41通过齿轮46传动配合，所述进气管45延伸至进气通道43中。所述壳体1的左侧壁设置有进料口15，所述壳体1的右侧壁设置与出料口16，所述进料口15和出料口16水平相对安装，所述进料口15与出料口16的位置均设置有吸气机17。一种安全防爆膜，所述安全防爆膜采用权利要求1～4任一项所述安全防爆膜均匀溅射镀膜装置加工而成。整个装置的特点在于，可以保持介质薄膜的平整性，从而在溅射镀膜的过程中，镀层可以保持均一性，在送料辊和收料辊的拉扯情况下容易出现介质受力不均匀，这里可以防止介质由于张力的影响导致镀层不均一的问本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置，其特征在于：包括密封的矩形的壳体、送料辊和收料辊，所述壳体的内部设置有阴极靶材、阳极基片、进气圆盘和两个辊道；所述阴极靶材和阳极基片上、下平行设置，所述阴极靶材和阳极基片之间设置有所述辊道，所述阳极基片的下方设置有进气圆盘；两个所述辊道前、后相对设置，所述辊道包括两个上滚轮和两个下滚轮，两个所述上滚轮分别与两个下滚轮上、下一一对应安装，两个所述上滚轮之间和两个下滚轮之间均设置有履带，所述上滚轮与壳体上壁之间设置有支撑杆I，所述下滚轮与壳体下壁之间设置有支撑杆II，所述支撑杆I包括管槽I、滑竿I、弹簧I和丝杆，所述滑竿I的下端与上滚轮固接，所述管槽I的上端与壳体上壁垂直固接，所述滑竿I的上端延伸至管槽I中并与管槽I内壁之间滑动配合，所述丝杆的上端穿过壳体上壁并且与壳体上壁之间螺接配合，所述丝杆的上端设置有旋钮，所述丝杆的下端延伸至管槽I中，所述丝杆的下端与滑杆I的上端之间设置有所述弹簧I；所述支撑杆II包括管槽II、滑竿II和弹簧II，所述管槽II的下端垂直固定在壳体下侧壁上，所述滑竿II的上端与下滚轮固定，所述滑竿II的下端延伸至管槽II中并与管槽II内壁之间滑动配合，所述滑竿II的下端与壳体下侧壁之间设置有所述弹簧II。...
【技术特征摘要】
1.一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置，其特征在于：包括密封的矩形的壳体、送料辊和收料辊，所述壳体的内部设置有阴极靶材、阳极基片、进气圆盘和两个辊道；所述阴极靶材和阳极基片上、下平行设置，所述阴极靶材和阳极基片之间设置有所述辊道，所述阳极基片的下方设置有进气圆盘；两个所述辊道前、后相对设置，所述辊道包括两个上滚轮和两个下滚轮，两个所述上滚轮分别与两个下滚轮上、下一一对应安装，两个所述上滚轮之间和两个下滚轮之间均设置有履带，所述上滚轮与壳体上壁之间设置有支撑杆I，所述下滚轮与壳体下壁之间设置有支撑杆II，所述支撑杆I包括管槽I、滑竿I、弹簧I和丝杆，所述滑竿I的下端与上滚轮固接，所述管槽I的上端与壳体上壁垂直固接，所述滑竿I的上端延伸至管槽I中并与管槽I内壁之间滑动配合，所述丝杆的上端穿过壳体上壁并且与壳体上壁之间螺接配合，所述丝杆的上端设置有旋钮，所述丝杆的下端延伸至管槽I中，所述丝杆的下端与滑杆I的上端之间设置有所述弹簧I；所述支撑杆II包括管槽II、滑竿II和弹簧II，所述管槽II的下端垂直固...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋仁祥，
申请(专利权)人：安徽省宁国市海伟电子有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34
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