下载一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置及该装置加工的安全防爆膜的技术资料

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本实用新型公开了一种安全防爆膜均匀溅射镀膜装置及该装置加工的安全防爆膜,包括密封的矩形的壳体、送料辊和收料辊,所述壳体的内部设置有阴极靶材、阳极基片、进气圆盘和两个辊道。可以保持介质薄膜的平整性,从而在溅射镀膜的过程中,镀层可以保持均一性,...
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