一种真空腔室与一种观察窗制造技术

本申请提供一种真空腔室，所述真空腔室包括观察窗，所述观察窗安置于所述真空腔室的溅射系统区域，用于实时观察溅射系统区域的辉光放电；在所述观察窗靠近所述真空腔室的一侧设有挡片，所述挡片通过旋动手柄与所述观察窗外侧相连，所述挡片通过所述旋动手柄旋转角度调整对所述观察窗的遮挡程度。本申请真空腔室的观察窗设置于溅射系统区域，观察窗的安装位置适合观察者清楚观察溅射系统区域的辉光放电情况，同时在不需要观察时，采用挡片将所述观察窗挡住，防止溅射系统区域对观察窗镀膜，同时还能减少因辉光放电对人体的伤害。

A vacuum chamber and an observation window

【技术实现步骤摘要】
一种真空腔室与一种观察窗
本申请涉及真空镀膜
，具体涉及一种真空腔室与一种观察窗。
技术介绍
真空腔室在生产加工中应用较为广泛，其应用领域主要是将需要在真空条件生产或者处理的工艺在真空腔室内部进行，一般在真空腔室都会设计有观察窗，用以实时观察真空腔室内部的工艺进程或者处理过程，从而及时发现在加工过程中的问题。现有的真空腔室观察窗主要是设计在真空腔室上部的卷绕区域，这样设计能够有效减少真空腔室的下部的溅射系统区域将观察窗的透明观察窗片镀膜的问题，这是由于如果观察窗的透明观察窗片一旦被镀膜，就不能通过观察窗观察溅射系统区域的辉光放电情况，但是这样将观察窗设计在真空腔室上部的卷绕区域，一方面观察窗位置过高不利于观察者观察，另一方面观察窗距离溅射系统区域较远，不能清晰观察到溅射系统区域的辉光放电情况。
技术实现思路
本申请提供一种真空腔室与一种观察窗，以解决现有真空腔室的观察窗不便于观察真空腔室内部溅射系统区域的辉光放电情况的缺陷。本申请提供一种真空腔室，所述真空腔室包括观察窗，所述观察窗安置于所述真空腔室的溅射系统区域，用于实时观察溅射系统区域的辉光放电；在所述观察窗靠近所述真空腔室的一侧设有挡片，所述挡片通过旋动手柄与所述观察窗外侧相连，所述挡片通过所述旋动手柄旋转角度调整对所述观察窗的遮挡程度。可选的，在所述挡片上安装有温度检测装置，所述温度检测装置用于对所述真空腔室进行温度的实时监测。可选的，所述温度检测装置安装在所述挡片靠近所述观察窗的一侧。可选的，所述观察窗与所述溅射系统区域的接口处通过焊接密封处理。可选的，所述观察窗上安置有观察窗片，所述观察窗片与所述挡片均为圆形，其中，所述观察窗片所在的圆形孔道的内径不小于所述挡片的直径，所述观察窗片的直径不大于所述挡片的直径。可选的，还包括螺丝与胶圈，所述观察窗片通过所述螺丝与所述胶圈安置在所述观察窗上。可选的，所述旋动手柄设置于所述真空腔室的外部，所述旋动手柄通过旋转轴与所述挡片相连，所述旋转轴一端通过焊接连接在所述挡片底部，所述旋转轴的另外一端连接在所述旋动手柄上；其中，当所述旋动手柄通过所述旋转轴将所述挡片旋转至完全竖直时，所述挡片完全遮挡所述观察窗的观察窗片，当所述旋动手柄通过所述旋转轴将所述挡片旋转至完全水平时，所述挡片完全不遮挡所述观察窗的观察窗片。可选的，还包括安置在所述旋动手柄上的按钮，所述按钮用于控制所述旋动手柄的固定状态与活动状态。可选的，所述挡片为不锈钢材质，所述观察窗片为钢化玻璃。本申请还提供一种观察窗，包括：挡片，旋动手柄，温度检测装置，观察窗片；所述观察窗设置有所述观察窗片，所述观察窗片用于观察所述观察窗所安置的环境的内部；在所述观察窗片的一侧设置所述挡片，所述挡片通过所述旋动手柄旋转角度调整对所述观察窗的遮挡程度；在所述挡片一侧安装有所述温度检测装置，所述温度检测装置用于对所述观察窗所安置的环境的内部进行温度的实时监测。与现有技术相比，本申请具有以下优点：本申请提供一种真空腔室，所述真空腔室包括观察窗，所述观察窗安置于所述真空腔室的溅射系统区域，用于实时观察溅射系统区域的辉光放电；在所述真空腔室内所述观察窗一侧设有挡片，所述挡片通过旋动手柄与所述观察窗外侧相连，所述挡片通过所述旋动手柄旋转角度调整对所述观察窗的遮挡程度。本申请真空腔室的观察窗设置于溅射系统区域，观察窗的安装位置适合观察者清楚观察溅射系统区域的辉光放电情况，同时在不需要观察时，采用挡片将所述观察窗挡住，防止溅射系统区域对观察窗镀膜，同时还能减少因辉光放电对人体的伤害。在本申请进一步的优选实施方式中，采用在挡片上安置温度检测装置，当挡片完全遮挡观察窗时，观察者通过挡片上设置的温度检测装置可读取真空腔室的温度。附图说明图1为本申请提供的真空腔室的观察窗安装位置与现有技术的观察窗安装位置的示意图。图2为本申请安装在真空腔室的观察窗的结构示意图。图3为本申请的安装在挡片一侧的温度检测装置示意图。具体实施方式在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似推广，因此，本申请不受下面公开的具体实施的限制。本申请提供一种真空腔室与一种用于真空腔室的观察窗，以下为真空腔室与用于真空腔室的观察窗的具体实施例。如图1所示，其为本申请提供的真空腔室的观察窗安装位置的示意图，真空腔室包括观察窗1，所述观察窗1安置于所述真空腔室的溅射系统区域2，用于实时观察溅射系统区域2的辉光放电情况。现有的大多数真空腔室的观察窗设置于真空腔室的上部卷绕区域3，在当初设计观察窗位置时，安装在真空腔室的上部卷绕区域3的观察窗很够有效减少真空腔室的下部的溅射系统区域2将观察窗镀膜的问题，如果观察窗一旦被镀膜，就不能通过观察窗观察溅射系统区域2的辉光放电情况。但是安装在真空腔室的上部卷绕区域3的观察窗由于安装位置过于靠上，观察者不能全方位亦不方便地观察处于溅射系统区域2的辉光放电情况。为解决上述问题，本申请将观察窗1安置于真空腔室的溅射系统区域2，并且所述观察窗1与所述溅射系统区域2的接口处通过焊接进行密封处理，同时在观察窗1的观察窗口位置采用透明的观察窗片102进行观察，在进行密封时，本实施例采用螺丝103与胶圈104将所述观察窗片102密闭地设置在观察窗1的观察窗口处(如图2所示)，可以理解的是，本申请还可以采用除螺丝与胶圈密封方式之外的其他密封方式将观察窗片102设置在观察窗1的观察窗口处，本申请对于此处的密封方式不做限定。如图2所示，其为安装在所述真空腔室的观察窗的结构示意图，在所述观察窗1靠近真空腔室的溅射系统区域2的一侧设有挡片101，挡片101可以是采用不锈钢材质的材料，如图2所示，所述挡片101采用圆形结构，并通过旋动手柄101-1与所述观察窗1外侧相连，所述挡片101通过所述旋动手柄101-1旋转角度调整对所述观察窗1的遮挡程度。在使用观察窗1的实际过程中，观察者在观察窗1处观察溅射系统区域2的辉光放电情况时，可通过旋转旋动手柄101-1调整挡片101对观察窗1的遮挡程度，具体地，所述旋动手柄101-1设置于所述真空腔室的外部，所述旋动手柄101-1通过旋转轴(图未示出)与所述挡片101相连，所述旋转轴一端通过焊接连接在所述挡片101底部，所述旋转轴的另外一端连接在所述旋动手柄101-1上，其中，所述旋动手柄101-1、所述挡片101、所述旋转轴与所述真空腔室的接口处通过焊接密封处理，以防真空腔室漏气。在上述的观察窗1上设有透明的观察窗片102以供观察，所述观察窗片102可以采用透明的材料，在本实施例中观察窗片优选圆形的钢化玻璃，所述观察窗片102密闭地设置于所观察窗1上。在上述观察者在观察窗1处观察溅射系统区域2的辉光放电情况时，当旋转所述旋动手柄101-1旋转至所述挡片101完全竖直时，所述挡片101完全遮挡所述观察窗1的观察窗片102，当旋转所述旋动手柄101-1旋转至所述挡片101完全水平时，所述挡片101完全不遮挡所述观察窗1的观察窗片102。当所述挡片101完全不遮挡所述观察窗1的观察窗片102时，观察者通过观察窗片102可清晰观测溅射系统区域2的辉光放电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空腔室，其特征在于，所述真空腔室包括观察窗，所述观察窗安置于所述真空腔室的溅射系统区域，用于实时观察溅射系统区域的辉光放电；在所述观察窗靠近所述真空腔室的一侧设有挡片，所述挡片通过旋动手柄与所述观察窗外侧相连，所述挡片通过所述旋动手柄旋转角度调整对所述观察窗的遮挡程度。

【技术特征摘要】
1.一种真空腔室，其特征在于，所述真空腔室包括观察窗，所述观察窗安置于所述真空腔室的溅射系统区域，用于实时观察溅射系统区域的辉光放电；在所述观察窗靠近所述真空腔室的一侧设有挡片，所述挡片通过旋动手柄与所述观察窗外侧相连，所述挡片通过所述旋动手柄旋转角度调整对所述观察窗的遮挡程度。2.根据权利要求1所述的真空腔室，其特征在于，在所述挡片上安装有温度检测装置，所述温度检测装置用于对所述真空腔室进行温度的实时监测。3.根据权利要求2所述的真空腔室，其特征在于，所述温度检测装置安装在所述挡片靠近所述观察窗的一侧。4.根据权利要求1所述的真空腔室，其特征在于，所述观察窗与所述溅射系统区域的接口处通过焊接密封处理。5.根据权利要求1所述的真空腔室，其特征在于，所述观察窗上安置有观察窗片，所述观察窗片与所述挡片均为圆形，其中，所述观察窗片所在的圆形孔道的内径不小于所述挡片的直径，所述观察窗片的直径不大于所述挡片的直径。6.根据权利要求5所述的真空腔室，其特征在于，还包括螺丝与胶圈，所述观察窗片通过所述螺丝与所述胶圈安置在所述观察窗上。7.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨涛，王烨，吴国发，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11