装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于磁控溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备，其中，装卸片装置包括装料机构和卸料机构，装料机构包括装料抓爪、装料驱动组件、装料升降组件以及装料吸持组件，卸料机构包括卸料抓爪、卸料驱动组件、装料升降组件以及卸料吸持组件。基于实用新型专利技术的结构，可以不断地将基片装载至挂片送料装置，以及在基片完成镀膜后，再从挂片送料装置上卸下来，整个过程不需要人工操作，可以连续不断地作业，极大地提高装卸片的效率。

Loading and unloading device and magnetron sputtering coating equipment

【技术实现步骤摘要】
装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备
本技术属于磁控溅射镀膜
，尤其涉及一种装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备。
技术介绍
磁控溅射镀膜设备中，需要将基片装载至磁控溅射镀膜设备的挂片送料装置，在基片完成镀膜之后，再从挂片送料装置卸离。目前，将基片装载至挂片送料装置以及从挂片送料装置卸离的过程较为复杂，导致装卸效率较低。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述现有技术的不足，提供了一种装卸片装置，其旨在解决装卸效率低的问题。本技术是这样实现的：一种装卸片装置，与挂片送料装置配合使用，以将基片挂载至所述挂片送料装置，且在基片完成镀膜之后，再从所述挂片送料装置卸下基片，其中，所述挂片送料装置包括供所述基片粘附的基片架、用于装载基片架的载料小车以及用于驱动所述基片架沿一环路径循环运动并依次经过待装工位、待卸工位的驱动机构，所述基片架开设有左右方向贯通设置的挂料孔，所述装卸片装置包括：装料机构，包括装料抓爪、用于驱动所述装料抓爪作业左右方向往复运动以使所述装料抓爪置入或抽离所述挂料孔的装料驱动组件、驱动所述装料抓爪驱动上下往复运动且往复运动于所述待装工位和装料工位的装料升降组件以及用于真空吸持基片并将基片驱动贴合至基片架且在基片粘贴至所述基片架后撤销对所述基片的吸持的装料吸持组件，其中，所述装料工位位于所述待装工位上方；卸料机构，包括卸料抓爪、用于驱动所述卸料抓爪作业左右方向往复运动以使所述卸料抓爪置入或抽离所述挂料孔的卸料驱动组件、驱动所述卸料抓爪驱动上下往复运动且往复运动于所述待卸工位和卸料工位的装料升降组件以及用于真空吸持基片并将基片取离所述基片架且将基片移至预设位置后撤销对所述基片的吸持的卸料吸持组件，其中，所述卸料工位位于所述待卸工位上方。基于本技术的结构设计，粘附有基片的基片架随载料小车将反复依次经过待装工位、待卸工位。其中，当需要装料时，首先，使装料驱动组件位于待装工位，其次，在载料小车将运载至待装工位时，装料驱动组件使装料抓爪置入挂料孔，再次，装料升降组件驱动装料驱动组件从待装工位上升到装料工位，最后，卸料吸持组件真空吸持基片并将基片驱动贴合至基片架且在基片粘贴至基片架后撤销对基片的吸持。而当要卸料时，首先，使卸料驱动组件位于待卸工位，其次，在载料小车将运载至待卸工位时，卸料驱动组件使卸料抓爪置入挂料孔，再次，卸料升降组件驱动卸料驱动组件从待卸工位上升到卸料工位，最后，卸料吸持组件用于真空吸持基片并将基片取离基片架且将基片移至预设位置后撤销对基片的吸持。由此，基于技术的结构，可以不断地将基片装载至挂片送料装置，以及在基片完成镀膜后，再从挂片送料装置上卸下来，整个过程不需要人工操作，可以连续不断地作业，极大地提高装卸片的效率。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术实施例提供的装卸片装置应用于磁控溅射镀膜设备的整体俯视图；图2是本技术实施例提供的装卸片装置的侧视图；图3是本技术实施例提供的装卸片装置的装料升降组件、装料抓爪和装料驱动组件的结构示意图；图4是本技术实施例提供的装卸片装置的装料升降组件局部示意图；图5是本技术实施例提供的装卸片装置的装料升降组件的装料吸持组结构示意图。附图标号说明：标号名称标号名称100基片110基片架120载料小车101待装工位102待卸工位200装料机构201装料工位210装料抓爪220装料驱动组件230装料升降组件231装料安装座232装料滑杆233装料滑接件234装料驱动器240装料吸持组件241装料吸料机构2411装料吸盘242装料机械手2421装料机械底座2422装料缓冲机构24221装料引气件24222装料引气杆24223装料连接件24224装料卡位件24225第一装料压缩弹簧24226第二装料压缩弹簧2401装料缓冲腔2402左侧装料通孔2403右侧装料通孔300卸料机构具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。请参阅图1和图2，本技术实施例提供一种装卸片装置，与挂片送料装置配合使用，以将基片100挂载至挂片送料装置，且在基片100完成镀膜之后，再从挂片送料装置卸下基片100，其中，挂片送料装置包括供基片100粘附的基片架110、用于装载基片架110的载料小车120以及用于驱动基片架110沿一环路径循环运动并依次经过待装工位101、待卸工位102的驱动机构，基片架110开设有左右方向贯通设置的挂料孔。请继续参阅图1和图2，该装卸片装置包括装料机构200和卸料机构300。具体地，装料机构200包括装料抓爪210、用于驱动装料抓爪210作业左右方向往复运动以使装料抓爪210置入或抽离挂料孔的装料驱动组件220、驱动装料抓爪驱动上下往复运动且往复运动于待装工位101和装料工位201的装料升降组件230以及用于真空吸持基片100并将基片100驱动贴合至基片架110且在基片100粘贴至基片架110后撤销对基片100的吸持的装料吸持组件240，其中，装料工位201位于待装工位101上方。而卸料机构300则包括卸料抓爪、用于驱动卸料抓爪作业左右方向往复运动以使卸料抓爪置入或抽离挂料孔的卸料驱动组件、驱动卸料抓爪驱动上下往复运动且往复运动于待卸工位102和卸料工位的装料升降组件230以及用于真空吸持基片100并将基片100取离基片架110且将基片100移至预设位置后撤销对基片100的吸持的卸料吸持组件，其中，卸料工位位于待卸工位102上方。基于本技术的结构设计，粘附有基片100的基片架110随载料小车120将反复依次经过待装工位101、待卸工位102。其中，当需要装料时，首先，使装料驱动组件220位于待装工位101，其次，在载料小车120将运载至待装工位101时，装料驱动组件220使装料抓爪210置入挂料孔，再次，装料升降组件230驱动装料驱动组件220从待装工位101上升到装料工位201，最后，卸料吸持组件真空吸持基片100并将基片100驱动贴合至基片架110且在基片100粘贴至基片架110后撤销对基片100的吸持。而当要卸料时，首先，使卸料驱动组件位于待卸工位102，其次，在载料小车120将运载至待卸工位102时，卸料驱动组件使卸料抓爪置入挂料孔，再次，卸料升降组件驱动卸料驱动组件从待卸工位102上升到卸料工位，最后，卸料吸持组件用于真空吸持基片100并将基片100取离基片架110且将基片100移至预设位置后撤销对基片100的吸持。由此，基于技术的结构，可以不断地将基片100装载至挂片送料装置，以及在基片100完成镀膜后，再从挂片送料装置上卸下来，整个过程不需要人工操作，可以连续不断地作业，极大地提高装卸片的效率。在此需要说明的是，卸料机构300在结构上与装料机构200相似，具体结构也可参见装料机构200。请继续参阅图1和图2，装料驱动组本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种装卸片装置，与挂片送料装置配合使用，以将基片挂载至所述挂片送料装置，且在基片完成镀膜之后，再从所述挂片送料装置卸下基片，其中，所述挂片送料装置包括供所述基片粘附的基片架、用于装载基片架的载料小车以及用于驱动所述基片架沿一环路径循环运动并依次经过待装工位、待卸工位的驱动机构，所述基片架开设有左右方向贯通设置的挂料孔，其特征在于，所述装卸片装置包括：装料机构，包括装料抓爪、用于驱动所述装料抓爪作业左右方向往复运动以使所述装料抓爪置入或抽离所述挂料孔的装料驱动组件、驱动所述装料抓爪驱动上下往复运动且往复运动于所述待装工位和装料工位的装料升降组件以及用于真空吸持基片并将基片驱动贴合至基片架且在基片粘贴至所述基片架后撤销对所述基片的吸持的装料吸持组件，其中，所述装料工位位于所述待装工位上方；卸料机构，包括卸料抓爪、用于驱动所述卸料抓爪作业左右方向往复运动以使所述卸料抓爪置入或抽离所述挂料孔的卸料驱动组件、驱动所述卸料抓爪驱动上下往复运动且往复运动于所述待卸工位和卸料工位的装料升降组件以及用于真空吸持基片并将基片取离所述基片架且将基片移至预设位置后撤销对所述基片的吸持的卸料吸持组件，其中，所述卸料工位位于所述待卸工位上方。...

【技术特征摘要】
1.一种装卸片装置，与挂片送料装置配合使用，以将基片挂载至所述挂片送料装置，且在基片完成镀膜之后，再从所述挂片送料装置卸下基片，其中，所述挂片送料装置包括供所述基片粘附的基片架、用于装载基片架的载料小车以及用于驱动所述基片架沿一环路径循环运动并依次经过待装工位、待卸工位的驱动机构，所述基片架开设有左右方向贯通设置的挂料孔，其特征在于，所述装卸片装置包括：装料机构，包括装料抓爪、用于驱动所述装料抓爪作业左右方向往复运动以使所述装料抓爪置入或抽离所述挂料孔的装料驱动组件、驱动所述装料抓爪驱动上下往复运动且往复运动于所述待装工位和装料工位的装料升降组件以及用于真空吸持基片并将基片驱动贴合至基片架且在基片粘贴至所述基片架后撤销对所述基片的吸持的装料吸持组件，其中，所述装料工位位于所述待装工位上方；卸料机构，包括卸料抓爪、用于驱动所述卸料抓爪作业左右方向往复运动以使所述卸料抓爪置入或抽离所述挂料孔的卸料驱动组件、驱动所述卸料抓爪驱动上下往复运动且往复运动于所述待卸工位和卸料工位的装料升降组件以及用于真空吸持基片并将基片取离所述基片架且将基片移至预设位置后撤销对所述基片的吸持的卸料吸持组件，其中，所述卸料工位位于所述待卸工位上方。2.如权利要求1所述的装卸片装置，其特征在于，所述装料驱动组件包括装料安装座、至少两条连接于所述装料安装座并向上延伸形成的装料滑杆以及至少两个并分别与一所述装料滑杆滑接配合并与所述装料驱动组件连接的装料滑接件以及连接于所述装料安装座并用于驱动所述装料滑接件沿所述装料滑杆上下滑动的装料驱动器。3.如权利要求1所述的装卸片装置，其特征在于，各装料滑接件均至少通过一对坦克轮来与装料滑杆滑接配合。4.如权利要求1所述的装卸片装置，其特征在于，所述卸料驱动组件包括卸料安装座、至少两条连接于所述卸料安装座并向上延伸形成的卸料滑杆以及至少两个并分别与一所述卸料滑杆滑接配合并与所述装料驱动组件连接的卸料滑接件以及连接于所述卸料安装座并用于驱动所述卸料滑接件沿所述卸料滑杆上下滑动的卸料驱动器。5.如权利要求4所述的装卸片装置，其特征在于，各卸料滑接件均至少通过一对坦克轮来与卸料滑杆滑接配合。6.如权利要求1至5中任一项所述的装卸片装置，其特征在于，所述装料吸持组件包括装料真空发生器、装料吸料机构以及装料机械手，所述装料吸料机构至少包括设有一个装料吸盘，所述装料机械手用于驱动各所述装料吸盘至所述装料工位，所述装料真空发生器用于对各所述装料吸盘与基片之间形成的空间进行抽真空，以使基片与所述装料吸盘相吸持，其中，所述装料机械手还用于驱动所述装料吸料机构转动。7.如权利要求6所述的装卸片装置，其特征在于，所述装料机械手包括装料机械底座以及装料缓冲机构，所述装料机械底座开设有装料缓冲腔，所述装料机械底座于其左侧开设有将所述装料缓...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐旻生，庄炳河，王应斌，龚文志，李永杰，张亮，
申请(专利权)人：爱发科豪威光电薄膜科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44