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本实用新型属于磁控溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备，其中，装卸片装置包括装料机构和卸料机构，装料机构包括装料抓爪、装料驱动组件、装料升降组件以及装料吸持组件，卸料机构包括卸料抓爪、卸料驱动组件、装料升降组件以及卸...
该专利属于爱发科豪威光电薄膜科技(深圳)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱发科豪威光电薄膜科技(深圳)有限公司授权不得商用。

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