基板装卸装置以及光学镀膜设备制造方法及图纸

技术编号:23341437 阅读:60 留言:0更新日期:2020-02-15 03:16
本发明专利技术涉及对基板实施镀膜处理时使用与的基板装卸装置以及光学镀膜设备,其中,基板装卸装置包括粘附结构、吹压结构以及转卸结构,粘附结构由柔性材料制成,并用于承载基板,所述粘附结构的上侧面平铺设置,吹压结构位于所述基板上侧,并用于收到压缩空气或高速气流时向所述基板吹出压贴气流,所述压贴气流用于使所述基板具有向所述粘附结构运动的趋势,并将所述基板和所述粘附结构的上侧面之间的空气排出,以使所述基板粘附于所述粘附结构的上侧面,转卸结构用于驱动所述粘附结构绕一竖直方向设置的载料轴线转动。在装卸基板的过程中,不会损坏基板的板面。

Substrate handling device and optical coating equipment

【技术实现步骤摘要】
基板装卸装置以及光学镀膜设备
本专利技术涉及对基板实施镀膜处理时使用与的基板装卸装置以及光学镀膜设备。
技术介绍
手机、平板电脑以及车载显示器等显示器件,包括供人手直接接触的基板,为增加基板的特性,对基板镀制增透膜、防刮膜和防污膜等,经过这些工艺处理后,极大地改善显示器件的使用体验。为使基板能够在光学镀膜设备内进行镀膜作业,需要利用基板装卸装置来稳固基板,其中,在将装卸基板过程中需要利用硬物抵触基板的板面,对基板的板面容易造成损坏。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术的不足,提供了一种基板装置装卸,其旨在解决装卸基板过程中基板板面容易损坏的问题。本专利技术是这样实现的:一种基板装卸装置,包括:粘附结构,由柔性材料制成,并用于承载基板,所述粘附结构的上侧面平铺设置;吹压结构,位于所述基板上侧,并用于收到压缩空气或高速气流时向所述基板吹出压贴气流,所述压贴气流用于使所述基板具有向所述粘附结构运动的趋势,并将所述基板和所述粘附结构的上侧面之间的空气排出,以使所述基板粘附于所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板装卸装置,其特征在于,包括:/n粘附结构,由柔性材料制成,并用于承载基板,所述粘附结构的上侧面平铺设置;/n吹压结构,位于所述基板上侧,并用于收到压缩空气或高速气流时向所述基板吹出压贴气流,所述压贴气流用于使所述基板具有向所述粘附结构运动的趋势,并将所述基板和所述粘附结构的上侧面之间的空气排出,以使所述基板粘附于所述粘附结构的上侧面;/n转卸结构,用于驱动所述粘附结构绕一竖直方向设置的载料轴线转动。/n

【技术特征摘要】
1.一种基板装卸装置,其特征在于,包括:
粘附结构,由柔性材料制成,并用于承载基板,所述粘附结构的上侧面平铺设置;
吹压结构,位于所述基板上侧,并用于收到压缩空气或高速气流时向所述基板吹出压贴气流,所述压贴气流用于使所述基板具有向所述粘附结构运动的趋势,并将所述基板和所述粘附结构的上侧面之间的空气排出,以使所述基板粘附于所述粘附结构的上侧面;
转卸结构,用于驱动所述粘附结构绕一竖直方向设置的载料轴线转动。


2.如权利要求1所述的基板装卸装置,其特征在于,所述吹压结构开设有供压缩气体进入的气压平衡腔,所述吹压结构还开设有多个均连通至所述气压平衡腔且均朝向所述基板的出气孔。


3.如权利要求2所述的基板装卸装置,其特征在于,所述吹压结构包括吹压本体以及多个吹压嘴,所述吹压本体开设有所述气压平衡腔,所述吹压本体具有朝向所述基板的安装面,所述吹压本体于所述安装面处开设有多个连通至所述气压平衡腔的安装孔,各所述安装孔分别供一所述吹压嘴可拆卸安装,各所述吹压嘴分别开设一所述出气孔。


4.如权利要求3所述的基板装卸装置,其特征在于,所述吹压嘴通过螺纹结构连接于所述出气孔。


5.如权利要求3所述的基板装卸装置,其特征在于,任意两所述安装孔的间距相等。


6.如权利要求3所述的基板装卸装置,其...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐旻生张晓鹏王应斌龚文志张亮李永杰
申请(专利权)人:爱发科豪威光电薄膜科技深圳有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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