换靶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于装换靶材技术领域，尤其涉及一种换靶装置，包括移动小车、导向导轨以及连靶机构，导向导轨与移动小车滑接配合，并沿置靶方向延伸设置，且用于引导移动小车沿置靶方向移动，连靶机构连接于移动小车，并用于与柱靶可拆卸连接。基于本实用新型专利技术的结构，在装换柱板的过程中，柱靶不会发生侧倾，从而避免了柱靶与靶槽的槽壁发生摩擦、磕碰等。

【技术实现步骤摘要】
换靶装置
本技术属于装换靶材
，尤其涉及一种换靶装置。
技术介绍
在溅射镀膜生产线中，柱靶也可是水平放置，也即是柱靶的长度方向平行于水平面，目前更换柱靶是采用人手作业，也即是将柱靶推入溅射镀膜生产线或从溅射镀膜生产线拉出过程中，柱靶会出现一定侧倾，使得柱靶与用于安置柱靶的靶槽的槽壁发生摩擦、磕碰等。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述现有技术的不足，提供了一种换靶装置，其旨在解决柱靶更换难度大的问题。本技术是这样实现的：一种换靶装置，与溅射镀膜生产线配合使用，所述溅射镀膜生产线于且侧面开设有至少一个用于安置柱靶的靶槽，所述靶槽的槽口方向为平行水平面的置靶方向，所述换靶装置包括：移动小车；导向导轨，与所述移动小车滑接配合，并沿所述置靶方向延伸设置，且用于引导所述移动小车沿所述置靶方向移动；连靶机构，连接于所述移动小车，并用于与所述柱靶可拆卸连接。可选地，所述换靶装置还包括升降机构，所述升降机构连接于所述移动小车，并用于驱动所述连靶机构上下运动。可选地，所述换靶装置还包括防落机构，所述防落结构用于在所述连靶机构升降至预设位置时限制所述连靶机构下坠。可选地，所述导向导轨位于所述溅射镀膜生产线下方。可选地，所述移动小车包括用于承载所述连靶机构的车本体、连接于所述车本体下方并用于支撑所述车主体且使所述车本体移动的移动结构以及连接于所述车本体下方并与所述导向导轨滑接配合并在所述导向导轨的导向下沿由所述置靶方向移动的导向结构。可选地，所述移动结构包括至少三个万向轮。可选地，所述导向结构包括至少两个且沿置靶方向间隔设置的导向轮组，所述导向轮组包括分别固定接触与所述导向导轨两侧的滚轮。可选地，所述换靶装置还包括连接于所述移动小车并位于所述连靶机构下方的接水盘。可选地，所述换靶装置还包括连接所述移动小车的脚刹。可选地，所述换靶装置还包括连接于所述移动小车并供人手抓持的手把。在需要将柱靶装配至靶槽时，首先，由外部接支撑结构在移动小车上将柱靶支撑到预设高度，且柱靶还沿置靶方向延伸设置，其次，将柱靶连接到连靶机构，再次，将柱靶另一端置入到靶槽内，并从移动小车撤销外部接支撑结构，此时，由溅射镀膜生产线和换靶装置共同支撑柱靶，最后，移动小车沿导向导轨朝溅射镀膜生产线，从而带动柱靶插入到靶槽内；而在需要将柱靶从靶槽取出时，首先，将柱靶连接到连靶机构，其次，移动小车沿导向导轨朝背离溅射镀膜生产线的方向移动，其中，在将柱靶完全从靶槽拉出时，外部接支撑结构在移动小车上支撑柱靶，最后，移动小车继续沿导向导轨朝背离溅射镀膜生产线的方向移动，直至将柱靶完全从靶槽拉出。在本技术实施例中，由于导向导轨用于引导移动小车沿置靶方向移动，移动小车在导向导轨的作用下，只能沿置靶方向移动，这样，将柱靶插入到靶槽以及将靶材从靶槽中拉出的过程中，柱靶也只能沿置靶方向移动，柱靶不会发生侧倾，从而避免了柱靶与靶槽的槽壁发生摩擦、磕碰等，这样，有利于降低装配、更换难度，以及在装配以及更换过程中保护柱靶，提高安全性和便捷性。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术实施例提供的换靶装置的立体结构图；图2是本技术实施例提供的换靶装置的侧视图；图3是本技术实施例提供的换靶装置中导向导轨的立体结构图。附图标号说明：标号名称标号名称100移动小车110车本体120移动结构121万向轮130导向结构131导向轮组1311滚轮200导向导轨300连靶机构400升降机构500防落机构600接水盘700手把800柱靶具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。请参阅图1和图2，本技术实施例提供一种换靶装置，与溅射镀膜生产线配合使用，溅射镀膜生产线于且侧面开设有至少一个用于安置柱靶800的靶槽，靶槽的槽口方向为平行水平面的置靶方向。在此需要说明的是，溅射镀膜生产线可以是LOOP卧式ITO溅射镀膜生产线。在此还需要说明的是，柱靶800包括靶材和用于安置靶材并呈柱状的安置结构。请参阅图1至图3，该换靶装置包括移动小车100、导向导轨200和连靶机构300。移动小车100用于实现与支撑面相对于移动，从而带动连靶机构300相对移动，该支撑面平行于水平面，可以是地面，也可以是楼面等。导向导轨200与移动小车100滑接配合，并沿置靶方向延伸设置，且用于引导移动小车100沿置靶方向移动；导向导轨200可以由金属材料制成，可以是由水泥等制成。连靶机构300连接于移动小车100，并用于与柱靶800一端可拆卸连接；连靶机构300的实际结构可以根据柱靶800实际结构对应设置即可，在具体实施过程中，也可以在柱靶800上设置能够与连靶机构300实现可拆卸连接的连接结构。在此需要说明的是，导向导轨200与移动小车100之间可以是一直处于滑接配合，也可以是在需要使用时才将移动小车100滑接配合至导向导轨200，其中，无论是何种情况，导向导轨200与移动小车100之间至少能滑动至连靶机构300与溅射镀膜生产线之间的间距大于柱靶800的长度。在需要将柱靶800装配至靶槽时，首先，由外部接支撑结构在移动小车100上将柱靶800支撑到预设高度，且柱靶800还沿置靶方向延伸设置，其次，将柱靶800连接到连靶机构300，再次，将柱靶800另一端置入到靶槽内，并从移动小车100撤销外部接支撑结构，此时，由溅射镀膜生产线和换靶装置共同支撑柱靶800，最后，移动小车100沿导向导轨200朝溅射镀膜生产线，从而带动柱靶800插入到靶槽内；而在需要将柱靶800从靶槽取出时，首先，将柱靶800连接到连靶机构300，其次，移动小车100沿导向导轨200朝背离溅射镀膜生产线的方向移动，其中，在将柱靶800完全从靶槽拉出时，外部接支撑结构在移动小车100上支撑柱靶800，最后，移动小车100继续沿导向导轨本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种换靶装置，与溅射镀膜生产线配合使用，所述溅射镀膜生产线于且侧面开设有至少一个用于安置柱靶的靶槽，所述靶槽的槽口方向为平行水平面的置靶方向，其特征在于，所述换靶装置包括：/n移动小车；/n导向导轨，与所述移动小车滑接配合，并沿所述置靶方向延伸设置，且用于引导所述移动小车沿所述置靶方向移动；/n连靶机构，连接于所述移动小车，并用于与所述柱靶可拆卸连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种换靶装置，与溅射镀膜生产线配合使用，所述溅射镀膜生产线于且侧面开设有至少一个用于安置柱靶的靶槽，所述靶槽的槽口方向为平行水平面的置靶方向，其特征在于，所述换靶装置包括：
移动小车；
导向导轨，与所述移动小车滑接配合，并沿所述置靶方向延伸设置，且用于引导所述移动小车沿所述置靶方向移动；
连靶机构，连接于所述移动小车，并用于与所述柱靶可拆卸连接。


2.如权利要求1所述的换靶装置，其特征在于，所述换靶装置还包括升降机构，所述升降机构连接于所述移动小车，并用于驱动所述连靶机构上下运动。


3.如权利要求2所述的换靶装置，其特征在于，所述换靶装置还包括防落机构，所述防落机构用于在所述连靶机构升降至预设位置时限制所述连靶机构下坠。


4.如权利要求1所述的换靶装置，其特征在于，所述导向导轨位于所述溅射镀膜生产线下方。


5.如权利要求1所述的换靶装置，其特征在于，所述移动小车包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐旻生，庄炳河，张晓鹏，王应斌，龚文志，张亮，李永杰，
申请(专利权)人：爱发科豪威光电薄膜科技深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44