一种氧化钛靶材脱氧装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种氧化钛靶材脱氧装置,包括脱氧箱，脱氧箱前端一侧铰接有箱门，箱门上开有观察窗，脱氧箱上端面开有出气口，出气口处安装有法兰，脱氧箱外部安装有真空泵，真空泵与真空管道一端连接，真空管道另一端与法兰连接，真空管上安装有调节阀门，脱氧箱内部安装有氧化钛靶材放置架，氧化钛靶材放置架上安装多块放置板，放置板上放置有待处理氧化钛靶材，脱氧箱内部还安装两组脱氧加热器，脱氧加热器与安装在箱门上的控制器连接，本实用新型专利技术结构设计新颖，操作方便，能够实现对氧化钛靶材的快速脱氧，能够有效的提高靶材的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种氧化钛靶材脱氧装置
本技术涉及脱氧装置
，具体为一种氧化钛靶材脱氧装置。
技术介绍
靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光武器中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的杀伤破坏效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。目前的氧化钛靶材使用稳定性差，因此，需要先进行脱氧处理，目前的脱氧装置结构单一，脱氧效果差，因此，有必要进行改进。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种氧化钛靶材脱氧装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种氧化钛靶材脱氧装置，包括脱氧箱，所述脱氧箱前端一侧铰接有箱门，所述箱门上开有观察窗，所述脱氧箱上端面开有出气口，所述出气口处安装有法兰，所述脱氧箱外部安装有真空泵，所述真空泵与真空管道一端连接，所述真空管道另一端与法兰连接，所述真空管道上安装有调节阀门，所述脱氧箱内部安装有氧化钛靶材放置架，所述氧化钛靶材放置架上安装多块放置板，所述放置板上放置有待处理氧化钛靶材，所述脱氧箱内部还安装两组脱氧加热器，所述脱氧加热器与安装在箱门上的控制器连接。优选的，所述箱门内侧一圈开有密封圈卡槽，所述密封圈卡槽内卡接有密封圈，所述密封圈包括橡胶密封环主体，所述橡胶密封环主体轴向延伸设有内密封唇和外密封唇，所述内密封唇与外密封唇之间形成V型凹槽；所述橡胶密封环主体内侧嵌入聚四氟乙烯垫圈。优选的，所述脱氧加热器型号采用QY500。优选的，所述脱氧箱外壁喷涂有真空陶瓷微珠保温涂层。与现有技术相比，本技术的有益效果是：（1）本技术结构设计新颖，操作方便，能够实现对氧化钛靶材的快速脱氧，能够有效的提高靶材的稳定性。（2）本技术中，密封圈卡槽内卡接的密封圈具备良好的密封、防尘性能；聚四氟乙烯垫圈具备耐高温、耐磨性能，可避免因密封圈磨损引发防护不良的问题，同时可以延长密封圈的使用寿命。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术密封圈结构示意图。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-2，本技术提供一种技术方案：一种氧化钛靶材脱氧装置，包括脱氧箱1，所述脱氧箱1前端一侧铰接有箱门2，所述箱门2上开有观察窗3，所述脱氧箱1上端面开有出气口，所述出气口处安装有法兰4，所述脱氧箱1外部安装有真空泵5，所述真空泵5与真空管道6一端连接，所述真空管道6另一端与法兰4连接，所述真空管道6上安装有调节阀门7，所述脱氧箱1内部安装有氧化钛靶材放置架8，所述氧化钛靶材放置架8上安装多块放置板9，所述放置板9上放置有待处理氧化钛靶材10，所述脱氧箱1内部还安装两组脱氧加热器11，脱氧加热器11型号采用QY500；所述脱氧加热器11与安装在箱门2上的控制器12连接。脱氧箱1外壁喷涂有真空陶瓷微珠保温涂层，该保温涂层能够起到优异的隔热保温性能。本技术中，箱门2内侧一圈开有密封圈卡槽，所述密封圈卡槽内卡接有密封圈13，所述密封圈13包括橡胶密封环主体14，所述橡胶密封环主体14轴向延伸设有内密封唇15和外密封唇16，所述内密封唇15与外密封唇16之间形成V型凹槽17；所述橡胶密封环主体14内侧嵌入聚四氟乙烯垫圈18。本技术中，密封圈卡槽内卡接的密封圈具备良好的密封、防尘性能；聚四氟乙烯垫圈具备耐高温、耐磨性能，可避免因密封圈磨损引发防护不良的问题，同时可以延长密封圈的使用寿命。工作原理：将待处理氧化钛靶材放置在脱氧箱内部，之后关上箱门，开启真空泵，真空泵对脱氧箱内部进行抽真空，达到真空值时关闭真空泵，之后通过控制器控制脱氧加热器工作，对脱氧箱内部进行升温处理，氧化钛靶材在真空高热环境下进行脱氧处理。综上所述，本技术结构设计新颖，操作方便，能够实现对氧化钛靶材的快速脱氧，能够有效的提高靶材的稳定性。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氧化钛靶材脱氧装置，包括脱氧箱（1），其特征在于：所述脱氧箱（1）前端一侧铰接有箱门（2），所述箱门（2）上开有观察窗（3），所述脱氧箱（1）上端面开有出气口，所述出气口处安装有法兰（4），所述脱氧箱（1）外部安装有真空泵（5），所述真空泵（5）与真空管道（6）一端连接，所述真空管道（6）另一端与法兰（4）连接，所述真空管道（6）上安装有调节阀门（7），所述脱氧箱（1）内部安装有氧化钛靶材放置架（8），所述氧化钛靶材放置架（8）上安装多块放置板（9），所述放置板（9）上放置有待处理氧化钛靶材（10），所述脱氧箱（1）内部还安装两组脱氧加热器（11），所述脱氧加热器（11）与安装在箱门（2）上的控制器（12）连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种氧化钛靶材脱氧装置，包括脱氧箱（1），其特征在于：所述脱氧箱（1）前端一侧铰接有箱门（2），所述箱门（2）上开有观察窗（3），所述脱氧箱（1）上端面开有出气口，所述出气口处安装有法兰（4），所述脱氧箱（1）外部安装有真空泵（5），所述真空泵（5）与真空管道（6）一端连接，所述真空管道（6）另一端与法兰（4）连接，所述真空管道（6）上安装有调节阀门（7），所述脱氧箱（1）内部安装有氧化钛靶材放置架（8），所述氧化钛靶材放置架（8）上安装多块放置板（9），所述放置板（9）上放置有待处理氧化钛靶材（10），所述脱氧箱（1）内部还安装两组脱氧加热器（11），所述脱氧加热器（11）与安装在箱门（2）上的控制器（12）连接。

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【专利技术属性】
技术研发人员：王雷，常代展，
申请(专利权)人：江苏拓创新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32