一种低温真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种低温真空镀膜设备，具体涉及真空镀膜领域，包括箱体，所述箱体内壁开设有冷却腔，所述箱体内部中层固定设有固定板，且固定板水平方向设有若干组，两组所述固定板之间固定设有冷却盒，所述冷却腔与冷却盒之间固定设有回流管，所述固定板包括导热框、阳极板和活动块，所述阳极板和活动块均固定设于导热框远离冷却盒的侧面，且活动块位于阳极板两侧，所述活动块侧面贯穿有固定夹片，所述活动块靠近导热框端部的固定设有滑块，所述滑块顶部和底部均固定设有固定片。本实用新型专利技术通过设有冷却腔、冷却盒和回流管，便于降低箱体内部及靶件的加工温度，靶件直接通过导热框进行降温，保证整体的低温工作。

【技术实现步骤摘要】
一种低温真空镀膜设备
本技术涉及真空镀膜领域，更具体地说，本实用涉及一种低温真空镀膜设备。
技术介绍
真空镀膜技术主要有真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀、真空束流沉积、化学气相沉积等多种方法，当真空室内的真空度为13Pa时，在阴阳两电极之间加上一定的电压，气体就会发生自激放电，从阴极发射出的原子或原子团可沉积在阳极或真空室的壁上，这种溅射就称为阴极溅射。现有的真空镀膜设备多采用不接触的方式降低工作温度，如外部风吹、内部通入冷水管，其降温措施不与靶件接触，降温效果不够理想。
技术实现思路
为了克服现有技术的上述缺陷，本技术的实施例提供一种低温真空镀膜设备，本技术所要解决的技术问题是：如何接触靶件进行降温。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种低温真空镀膜设备，包括箱体，所述箱体内壁开设有冷却腔，所述箱体内部中层固定设有固定板，且固定板水平方向设有若干组，两组所述固定板之间固定设有冷却盒，所述冷却腔与冷却盒之间固定设有回流管，所述固定板包括导热框、阳极板和活动块，所述阳极板和活动块均固定设于导热框远离冷却盒的侧面，且活动块位于阳极板两侧，所述活动块侧面贯穿有固定夹片，所述活动块靠近导热框端部的固定设有滑块，所述滑块顶部和底部均固定设有固定片，所述导热框靠近活动块的两侧表面均开设有滑槽和固定槽，且固定槽位于滑槽两侧。使用时，靶件通过固定夹片紧贴阳极板表面固定，同时阳极板上的靶件朝向两侧对应的阴极板，阳极板通过连接板连接外部电源负极，阴极板外部电源正极相连接，通过进气管向阴极板与阳极板之间通入反应气体，此时可对阳极板表面的靶件进行镀膜，通过进水口向冷却腔内部加入冷却水，冷却腔可在箱体周围形成冷却层，同时冷却水经回流管的传输，可依次流经多组导热框侧面顶层的冷却盒、中层的冷却盒和底层冷却盒，可将箱体内部、导热框处及阳极板处的热量均匀彻底的从出水口处带走。在一个优选地实施方式中，所述冷却腔顶部开设有进水口和出水口，且进水口与出水口之间隔离设置，便于冷却水的循环。在一个优选地实施方式中，所述固定板的顶部固定设有连接板，且连接板与阳极板之间固定连接，所述连接板与外部电源负极相连接，便于连接板的导电。在一个优选地实施方式中，所述箱体内部两侧均固定设有阴极板，且阴极板与外部电源正极相连接，便于进行镀膜工作。在一个优选地实施方式中，所述箱体内部顶端贯穿有进气管，且进气管位于固定板与阴极板之间，便于通入反应气体。在一个优选地实施方式中，所述冷却盒竖直方向设有三层，且三层冷却盒分别位于导热框远离阳极板的侧面顶部、中部及底部，便于降低导热框处的温度。在一个优选地实施方式中，所述回流管呈S形设置，且回流管与冷却盒之间串联设置，所述冷却盒呈圆形设置，便于冷却水在多组冷却盒之间流通。在一个优选地实施方式中，所述滑块活动设于滑槽内部，所述固定片活动设于固定槽内部，且固定片与固定槽之间通过螺钉固定，便于根据靶件调整固定位置。本技术的技术效果和优点：1、本技术通过设有冷却腔、冷却盒和回流管，便于降低箱体内部的工作温度，靶件通过固定夹片紧贴阳极板表面固定，通过进水口向冷却腔内部加入冷却水，冷却腔可在箱体周围形成冷却层，同时冷却水经回流管的传输，可依次流经多组导热框侧面顶层的冷却盒、中层的冷却盒和底层冷却盒，可将箱体内部、导热框处及阳极板处的热量均匀彻底的从出水口处带走，与现有技术相比，整体可全面均匀的降低靶件的加工温度，保证整体的低温工作；2、本技术通过设有滑块和固定片，便于根据靶件的形状调整固定位置，活动块通过滑块可沿滑槽竖直方向移动，其中固定片表面对应固定槽的位置上开设有固定孔，调整完毕后，使用带有垫片的螺钉贯穿在固定槽及固定孔内部，可对活动块和导热框进行固定，与现有技术相比，整体便于调整靶件的固定位置，使用更加灵活方便。附图说明图1为本技术的整体剖面结构示意图。图2为本技术的箱体端部剖面结构示意图。图3为本技术的固定板结构示意图。图4为本技术的活动块结构示意图。图5为本技术图3的A处结构放大示意图。附图标记为：1箱体、2冷却腔、3固定板、4冷却盒、5回流管、6进水口、7出水口、8连接板、9进气管、10阴极板、11导热框、12阳极板、13活动块、14固定夹片、15滑块、16固定片、17滑槽、18固定槽。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本技术提供了一种低温真空镀膜设备，包括箱体1，所述箱体1内壁开设有冷却腔2，所述箱体1内部中层固定设有固定板3，且固定板3水平方向设有若干组，两组所述固定板3之间固定设有冷却盒4，所述冷却腔2与冷却盒4之间固定设有回流管5，所述固定板3包括导热框11、阳极板12和活动块13，所述阳极板12和活动块13均固定设于导热框11远离冷却盒4的侧面，且活动块13位于阳极板12两侧，所述活动块13侧面贯穿有固定夹片14，所述活动块13靠近导热框11端部的固定设有滑块15，所述滑块15顶部和底部均固定设有固定片16，所述导热框11靠近活动块13的两侧表面均开设有滑槽17和固定槽18，且固定槽18位于滑槽17两侧。所述冷却腔2顶部开设有进水口6和出水口7，且进水口6与出水口7之间隔离设置。所述固定板3的顶部固定设有连接板8，且连接板8与阳极板12之间固定连接，所述连接板8与外部电源负极相连接。所述箱体1内部两侧均固定设有阴极板10，且阴极板10与外部电源正极相连接。所述箱体1内部顶端贯穿有进气管9，且进气管9位于固定板3与阴极板10之间。所述冷却盒4竖直方向设有三层，且三层冷却盒4分别位于导热框11远离阳极板12的侧面顶部、中部及底部。所述回流管5呈S形设置，且回流管5与冷却盒4之间串联设置，所述冷却盒4呈圆形设置。如图1-4所示，实施方式具体为：工作时，靶件通过固定夹片14紧贴阳极板12表面固定，同时阳极板12上的靶件朝向两侧对应的阴极板10，阳极板12通过连接板8连接外部电源负极，阴极板10外部电源正极相连接，通过进气管9向阴极板10与阳极板12之间通入反应气体，此时可对阳极板12表面的靶件进行镀膜，通过进水口6向冷却腔2内部加入冷却水，冷却腔2可在箱体1周围形成冷却层，同时冷却水经回流管5的传输，可依次流经多组导热框11侧面顶层的冷却盒4、中层的冷却盒4和底层冷却盒4，可将箱体1内部、导热框11处及阳极板12处的热量均匀彻底的从出水口7处带走，从而保证整体的低温工作，该实施方式具体解决了现有真空镀膜设备低温效果不够理想的问题。所述滑块15活动设于滑槽17内部，所述固定片1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种低温真空镀膜设备，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内壁开设有冷却腔(2)，所述箱体(1)内部中层固定设有固定板(3)，且固定板(3)水平方向设有若干组，两组所述固定板(3)之间固定设有冷却盒(4)，所述冷却腔(2)与冷却盒(4)之间固定设有回流管(5)，所述固定板(3)包括导热框(11)、阳极板(12)和活动块(13)，所述阳极板(12)和活动块(13)均固定设于导热框(11)远离冷却盒(4)的侧面，且活动块(13)位于阳极板(12)两侧，所述活动块(13)侧面贯穿有固定夹片(14)，所述活动块(13)靠近导热框(11)端部的固定设有滑块(15)，所述滑块(15)顶部和底部均固定设有固定片(16)，所述导热框(11)靠近活动块(13)的两侧表面均开设有滑槽(17)和固定槽(18)，且固定槽(18)位于滑槽(17)两侧。/n

【技术特征摘要】
1.一种低温真空镀膜设备，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)内壁开设有冷却腔(2)，所述箱体(1)内部中层固定设有固定板(3)，且固定板(3)水平方向设有若干组，两组所述固定板(3)之间固定设有冷却盒(4)，所述冷却腔(2)与冷却盒(4)之间固定设有回流管(5)，所述固定板(3)包括导热框(11)、阳极板(12)和活动块(13)，所述阳极板(12)和活动块(13)均固定设于导热框(11)远离冷却盒(4)的侧面，且活动块(13)位于阳极板(12)两侧，所述活动块(13)侧面贯穿有固定夹片(14)，所述活动块(13)靠近导热框(11)端部的固定设有滑块(15)，所述滑块(15)顶部和底部均固定设有固定片(16)，所述导热框(11)靠近活动块(13)的两侧表面均开设有滑槽(17)和固定槽(18)，且固定槽(18)位于滑槽(17)两侧。


2.根据权利要求1所述的一种低温真空镀膜设备，其特征在于：所述冷却腔(2)顶部开设有进水口(6)和出水口(7)，且进水口(6)与出水口(7)之间隔离设置。


3.根据权利要求1所述的一种低温真空镀膜设备，其特征在于：若干组所述固定板(3)的顶部固定设...

【专利技术属性】
技术研发人员：张新岳，
申请(专利权)人：深圳市瑞泓塑胶五金镀膜技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44