一种用于五金件的磁控溅射连续镀膜线制造技术

技术编号:36411991 阅读:16 留言:0更新日期:2023-01-18 10:25
本申请涉及五金件加工技术领域,且公开了一种用于五金件的磁控溅射连续镀膜线,包括镀膜箱,镀膜箱异侧的两个侧壁均固定插接有盒罩,其中一个盒罩的内部及镀膜箱的内部均设有阳极板,两个阳极板的端面均设有基板,两个阳极板相向一侧的侧壁均固定连接有与盒罩相匹配的密封压板,且两个密封压板之间共同固定有两个连杆,其中一个盒罩的侧壁固定插接有切换油缸,且切换油缸的输出端与同侧阳极板的侧壁固定连接,镀膜箱的上端固定连接有阴极板,且阴极板的下端面连接有靶材。本申请可以在镀膜箱内进行交替上料,形成连续的镀膜加工线,大大节省了镀膜整体时间,提高生产效率,同时可灵活调节使用。灵活调节使用。灵活调节使用。

【技术实现步骤摘要】
一种用于五金件的磁控溅射连续镀膜线


[0001]本申请涉及五金件加工
,尤其涉及一种用于五金件的磁控溅射连续镀膜线。

技术介绍

[0002]五金件是指用金、银、铜、铁、锡等金属通过加工,铸造得到的工具,为了五金件的性能,部分五金件在生产时,需要对表面进行镀膜处理,磁控溅射镀膜是指将涂层材料做为靶阴极,利用氩离子轰击靶材,产生阴极溅射,把靶材原子溅射到工件上形成沉积层的一种镀膜技术,可以用作五金件的镀膜加工中。
[0003]在实现本申请过程中,专利技术人发现该技术中至少存在如下问题,在通过磁控溅射镀膜设备对五金件进行镀膜时,需要对镀膜腔内部进行抽真空并充入氩气,而每镀膜一批五金件后,都需要将氩气抽出,然后将五金件取出,再将下一批待镀膜的五金件放入,并重新恢复真空状态和充入氩气,此种镀膜方式的整体效率较低,上下料浪费较多时间,因此,提出一种用于五金件的磁控溅射连续镀膜线。

技术实现思路

[0004]本申请的目的是为了解决现有技术中每镀膜一批五金件后,都需要将氩气抽出,然后将五金件取出,再将下一批待镀膜的五金件放入,并重新恢复真空状态和充入氩气,此种镀膜方式的整体效率较低,上下料浪费较多时间的问题,而提出的一种用于五金件的磁控溅射连续镀膜线。
[0005]为了实现上述目的,本申请采用了如下技术方案:
[0006]一种用于五金件的磁控溅射连续镀膜线,包括镀膜箱,所述镀膜箱异侧的两个侧壁均固定插接有盒罩,其中一个所述盒罩的内部及镀膜箱的内部均设有阳极板,两个所述阳极板的端面均设有基板,两个所述阳极板相向一侧的侧壁均固定连接有与盒罩相匹配的密封压板,且两个密封压板之间共同固定有两个连杆,其中一个所述盒罩的侧壁固定插接有切换油缸,且切换油缸的输出端与同侧阳极板的侧壁固定连接,所述镀膜箱的上端固定连接有阴极板,且阴极板的下端面连接有靶材,所述镀膜箱的侧壁固定插接有真空管和氩气管,且真空罐和氩气管的内部均设有控制阀,两个所述盒罩的侧壁均开设有开口,且两个开口的侧壁边沿均通过合页转动连接有罩门。
[0007]优选的,两个所述阳极板的侧壁均固定连接有调节块,两个所述密封压板的侧壁均固定连接有与调节块位置相对应的调节板,且调节板的侧壁开设有与调节块相匹配的条形孔,所述条形孔的内部转动设有驱动螺杆,且驱动螺杆的杆壁与调节块的侧壁螺纹连接,所述条形孔的内部固定设有两个导向杆,且两个导向杆的杆壁均与调节块的侧壁滑动连接。
[0008]优选的,所述镀膜箱的侧壁固定连接有两个泵体,两个所述泵体的吸入端均与同侧盒罩相连通设置,两个所述泵体的输出端均固定连接有回流管,且两个回流管的出气端
均与氩气管相连通设置,两个所述回流管的内部均设有密封阀。
[0009]优选的,两个所述回流管的管壁均固定连接有排气管,且两个排气管的内部均设有排气阀。
[0010]优选的,两个所述盒罩的侧壁上端均开设有观察口,且两个观察口的内部均固定设有透明板。
[0011]优选的,两个所述导向杆的杆壁均标刻有刻度线组。
[0012]与现有技术相比,本申请提供了一种用于五金件的磁控溅射连续镀膜线,具备以下有益效果:
[0013]1、该用于五金件的磁控溅射连续镀膜线,通过设有的镀膜箱、盒罩、阳极板、基板、密封压板、连杆、切换油缸、阴极板、靶材、真空罐、氩气管和罩门的相互配合,通过两个阳极板、基板的设置,搭配盒罩,可以在镀膜箱内进行交替上料,形成连续的镀膜加工线,既不需要对镀膜箱内部的氩气、真空环境等进行多次布置,而且在镀膜的过程中,可以进行上下料,大大节省了镀膜整体时间,提高生产效率。
[0014]2、该用于五金件的磁控溅射连续镀膜线,通过设有的调节块、调节板、驱动螺杆和导向杆的相互配合,可以根据五金件的规格合理调整阳极板的位置,从而可以提高适用范围,便于灵活调节使用。
[0015]该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现,本申请可以在镀膜箱内进行交替上料,形成连续的镀膜加工线,大大节省了镀膜整体时间,提高生产效率,同时可灵活调节使用。
附图说明
[0016]图1为本申请提出的一种用于五金件的磁控溅射连续镀膜线的结构示意图;
[0017]图2为图1的俯视结构示意图;
[0018]图3为图1中A部分的结构放大图;
[0019]图4为图1中导向杆的结构示意图。
[0020]图中:1、镀膜箱;2、盒罩;3、阳极板;4、基板;5、密封压板;6、切换油缸;7、阴极板;8、靶材;9、真空管;10、氩气管;11、罩门;12、调节块;13、调节板;14、驱动螺杆;15、导向杆;16、泵体;17、回流管;18、排气管;19、透明板;20、刻度线组;21、连杆。
具体实施方式
[0021]下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0022]参照图1

4,一种用于五金件的磁控溅射连续镀膜线,包括镀膜箱1,镀膜箱1异侧的两个侧壁均固定插接有盒罩2,其中一个盒罩2的内部及镀膜箱1的内部均设有阳极板3,两个阳极板3的端面均设有基板4,两个阳极板3相向一侧的侧壁均固定连接有与盒罩2相匹配的密封压板5,且两个密封压板5之间共同固定有两个连杆21,其中一个盒罩2的侧壁固定插接有切换油缸6,且切换油缸6的输出端与同侧阳极板3的侧壁固定连接,镀膜箱1的上端固定连接有阴极板7,且阴极板7的下端面连接有靶材8,镀膜箱1的侧壁固定插接有真空管9和氩气管10,且真空罐和氩气管10的内部均设有控制阀,两个盒罩2的侧壁均开设有开口,
且两个开口的侧壁边沿均通过合页转动连接有罩门11,其中镀膜箱1的一侧设有用于通过真空罐9抽真空的设备,以及用于通过氩气管10输入、回收氩气的设备,此为现有技术,故未作过多赘述。
[0023]两个阳极板3的侧壁均固定连接有调节块12,两个密封压板5的侧壁均固定连接有与调节块12位置相对应的调节板13,且调节板13的侧壁开设有与调节块12相匹配的条形孔,条形孔的内部转动设有驱动螺杆14,且驱动螺杆14的杆壁与调节块12的侧壁螺纹连接,条形孔的内部固定设有两个导向杆15,且两个导向杆15的杆壁均与调节块12的侧壁滑动连接,转动驱动螺杆14,在两个导向杆15的配合下,可以使调节块12带动阳极板3在竖直方向调整位置,从而可以适用于不同规格的五金件,便于灵活调节使用。
[0024]镀膜箱1的侧壁固定连接有两个泵体16,两个泵体16的吸入端均与同侧盒罩2相连通设置,两个泵体16的输出端均固定连接有回流管17,且两个回流管17的出气端均与氩气管10相连通设置,两个回流管17的内部均设有密封阀,通过泵体16工作,可以在取料前,将进入同侧盒罩2内部的氩气抽出,并通过回流管17回输入镀膜箱1内部,避免氩气泄露。
[0025]两个回流管17的管壁均固定连接有排气管18,且两个排气管18的内部均本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于五金件的磁控溅射连续镀膜线,包括镀膜箱(1),其特征在于,所述镀膜箱(1)异侧的两个侧壁均固定插接有盒罩(2),其中一个所述盒罩(2)的内部及镀膜箱(1)的内部均设有阳极板(3),两个所述阳极板(3)的端面均设有基板(4),两个所述阳极板(3)相向一侧的侧壁均固定连接有与盒罩(2)相匹配的密封压板(5),且两个密封压板(5)之间共同固定有两个连杆(21),其中一个所述盒罩(2)的侧壁固定插接有切换油缸(6),且切换油缸(6)的输出端与同侧阳极板(3)的侧壁固定连接,所述镀膜箱(1)的上端固定连接有阴极板(7),且阴极板(7)的下端面连接有靶材(8),所述镀膜箱(1)的侧壁固定插接有真空管(9)和氩气管(10),且真空罐和氩气管(10)的内部均设有控制阀,两个所述盒罩(2)的侧壁均开设有开口,且两个开口的侧壁边沿均通过合页转动连接有罩门(11)。2.根据权利要求1所述的一种用于五金件的磁控溅射连续镀膜线,其特征在于,两个所述阳极板(3)的侧壁均固定连接有调节块(12),两个所述密封压板(5)的侧壁均固定连接有与调节块(12)位置相对应的调节板(13),且调节板(13)的侧壁开设有与调节块(12)...

【专利技术属性】
技术研发人员:张新岳
申请(专利权)人:深圳市瑞泓塑胶五金镀膜技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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