一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置制造方法及图纸

技术编号:35513930 阅读:22 留言:0更新日期:2022-11-09 14:29
本发明专利技术属于真空镀膜技术领域,尤其是涉及一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置,包括真空镀膜箱,所述真空镀膜箱的上下相对一侧内壁通过轴承对称转动连接有两根转动螺杆,所述真空镀膜箱的内壁底部固定设置有用于驱动两根转动螺杆转动的驱动机构,所述转动螺杆的杆壁螺纹套接有升降板,两个所述升降板之间固定连接有同一个固定筒,所述升降板的上端还固定连接有多根升降杆,多根所述升降杆的上端固定连接有同一个密封压接在真空镀膜箱上端的密封顶板。本发明专利技术能够实现快速上下料操作,便于使用,能够实现对工件的均匀镀膜,保证了镀膜质量。膜质量。膜质量。

【技术实现步骤摘要】
一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置


[0001]本专利技术属于真空镀膜
,尤其是涉及一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置。

技术介绍

[0002]真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内,采用一定方法加热待镀材料,使之蒸发或升华,并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。
[0003]目前的工件在进行真空镀膜时,其内的工件放置位置固定,而镀膜材料的镀膜位置也固定,使得工件表面被真空镀膜的均匀度不一样,影响整个真空镀膜的质量,且对于工件的取放较为不便,一些深度较大的真空镀膜仓进行工件取放尤为不便,影响实际使用操作。
[0004]为此,我们提出一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置来解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是针对上述问题,提供一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置。
[0006]为达到上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置,包括真空镀膜箱,所述真空镀膜箱的上下相对一侧内壁通过轴承对称转动连接有两根转动螺杆,所述真空镀膜箱的内壁底部固定设置有用于驱动两根转动螺杆转动的驱动机构,所述转动螺杆的杆壁螺纹套接有升降板,两个所述升降板之间固定连接有同一个固定筒,所述升降板的上端还固定连接有多根升降杆,多根所述升降杆的上端固定连接有同一个密封压接在真空镀膜箱上端的密封顶板,所述固定筒的内壁底部固定设置有旋转电机,所述旋转电机的上端输出轴固定连接有旋转板,所述旋转板的表面均匀开设有多个呈环形分布设置的通孔,且对应通孔内通过轴承转动套接有转轴,所述转轴的上端固定连接有中空定位座,所述中空定位座内通过双向夹持机构固定连接有两个侧夹板,所述转轴的下端固定连接有传动齿轮,所述固定筒的内壁底部固定设置有与多个传动齿轮啮合的环形齿条。
[0007]在上述的一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置中,所述驱动机构包括固定设置在真空镀膜箱内壁底部的双轴电机,所述双轴电机的两端输出轴均固定连接有传动轴,所述传动轴的一端固定连接有主动锥齿轮,所述转动螺杆的下端杆壁固定套接有与主动锥齿轮啮合的从动锥齿轮。
[0008]在上述的一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置中,所述真空镀膜箱的内壁底部对称固定连接有两个支撑座,所述支撑座的侧壁开设有用于传动轴贯穿伸出的通孔。
[0009]在上述的一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置中,所述真空镀膜箱的上端固定连接有环形密封插接块,所述密封顶板的下侧开设有与环形密封插接块匹配插接的环形密封插接槽。
[0010]在上述的一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置中,所述旋转板的外侧固定套接有限位环板,所述固定筒的内壁开设有与限位环板匹配滑接的限位环槽。
[0011]在上述的一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置中,所述双向夹持机构包括固定设置在中空定位座内壁的双向电机,所述双向电机的两端输出轴均固定连接有调节螺杆,所述调节螺杆的杆壁螺纹套接有调节座,所述调节座的上端均匀固定连接有多个支撑块,所述支撑块的上端通过中空定位座上端开设的条形开口贯穿中空定位座的上端,多个所述支撑块的侧壁固定卡接在侧夹板的侧壁,所述侧夹板的下端下侧固定连接有卡接块,所述支撑块的上端开设有与卡接块匹配卡接的卡接缺槽,多个所述卡接块的后端固定连接有同一个防脱板,所述支撑块的上端侧壁开设有插接口,且对应插接口内活动插套有挡接板,所述支撑块的上端通过卡紧机构与挡接板固定卡接。
[0012]在上述的一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置中,所述卡紧机构包括活动插设在支撑块上端的卡紧杆,所述挡接板的上端开设有与卡紧杆匹配卡接的卡紧槽,所述卡紧杆的上端固定连接有卡紧拉板,所述卡紧拉板的下端和支撑块的上端固定连接有套设在卡紧杆外的卡紧弹簧。
[0013]在上述的一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置中,所述中空定位座对应条形开口的内壁固定连接有导向滑杆,所述支撑块的侧壁开设有与导向滑杆滑动套接的滑孔。
[0014]与现有技术相比,本专利技术提供了一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置,具备以下有益效果:
[0015]1、该便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置,通过设有的真空镀膜箱和密封顶板,将工件放置在中空定位座上,启动双轴电机,双轴电机通过传动轴带动主动锥齿轮转动,通过主动锥齿轮和从动锥齿轮的啮合作用带动,进而带动转动螺杆转动,通过转动螺杆和升降板的螺纹套接作用使得升降板带动工件下移,并通过升降杆带动密封顶板下移,通过环形密封插接块和环形密封插接槽的匹配插接实现密封顶板与真空镀膜箱之间的密封连接,能够实现快速上下料操作,便于使用。
[0016]2、该便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置,通过设有的中空定位座,将工件放置在中空定位座的上端,双向电机带动两根调节螺杆同步转动,通过调节螺杆和调节座的螺纹套接作用使得调节座带动多个支撑块移动,支撑块推动两个侧夹板移动,使得两个侧夹板对工件进行稳定夹持,实现对工件的快速装夹,便于更换,且在镀膜的时候启动旋转电机,旋转电机带动旋转板转动,实现对工件的匀速旋转,且旋转板带动传动齿轮移动,通过传动齿轮和环形齿条的啮合作用带动转轴自转,进而实现工件的自转,能够实现对工件的均匀镀膜,保证了镀膜质量。
[0017]3、该便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置,通过设有的支撑块和侧夹板,侧夹板通过卡接块和卡接缺槽的匹配卡接实现与支撑块的稳定装夹,且防脱板抵撑在支撑块的后侧,将挡接板插入支撑块侧壁的插接口内,且此时卡紧杆对准卡紧槽,卡紧弹簧下拉卡紧拉板,卡紧拉板将卡紧杆推进卡紧槽内即可实现支撑块和挡接板之间的稳固卡接固定,保证了结构稳固性,且能够实现快速拆装,便于使用。
[0018]综上所述:本专利技术能够实现快速上下料操作,便于使用,能够实现对工件的均匀镀膜,保证了镀膜质量。
附图说明
[0019]图1为本专利技术提出的一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置结构示意图;
[0020]图2为本专利技术提出的一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置的中空定位座部分放大结构示意图;
[0021]图3为本专利技术提出的一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置的支撑部侧视结构示意图;
[0022]图4为本专利技术提出的一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置的支撑座立体结构示意图。
[0023]图中:1、真空镀膜箱;2、转动螺杆;3、升降板;4、固定筒;5、升降杆;6、密封顶板;7、旋转电机;8、旋转板;9、转轴;10、中空定位座;11、侧夹板;12、传动齿轮;13、环形齿条;14、双轴电机;15、传动轴;16、主动锥齿轮;17、从动锥齿轮;18、支撑座;19、环形密封插接块;20、环形密封插接槽;21、限位环板;22、限位环槽;23、双向电机;24、调节螺杆;25、调节座;26、支撑块;27、条形开口;28、卡接块;29、卡接缺槽;30、防脱板;31、插接口;32、挡接板;33、卡紧杆;34、卡紧槽;35、卡紧拉板;36、卡紧弹簧;37、导向滑杆。
具体实本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置,包括真空镀膜箱(1),其特征在于:所述真空镀膜箱(1)的上下相对一侧内壁通过轴承对称转动连接有两根转动螺杆(2),所述真空镀膜箱(1)的内壁底部固定设置有用于驱动两根转动螺杆(2)转动的驱动机构,所述转动螺杆(2)的杆壁螺纹套接有升降板(3),两个所述升降板(3)之间固定连接有同一个固定筒(4),所述升降板(3)的上端还固定连接有多根升降杆(5),多根所述升降杆(5)的上端固定连接有同一个密封压接在真空镀膜箱(1)上端的密封顶板(6),所述固定筒(4)的内壁底部固定设置有旋转电机(7),所述旋转电机(7)的上端输出轴固定连接有旋转板(8),所述旋转板(8)的表面均匀开设有多个呈环形分布设置的通孔,且对应通孔内通过轴承转动套接有转轴(9),所述转轴(9)的上端固定连接有中空定位座(10),所述中空定位座(10)内通过双向夹持机构固定连接有两个侧夹板(11),所述转轴(9)的下端固定连接有传动齿轮(12),所述固定筒(4)的内壁底部固定设置有与多个传动齿轮(12)啮合的环形齿条(13)。2.根据权利要求1所述的一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置,其特征在于:所述驱动机构包括固定设置在真空镀膜箱(1)内壁底部的双轴电机(14),所述双轴电机(14)的两端输出轴均固定连接有传动轴(15),所述传动轴(15)的一端固定连接有主动锥齿轮(16),所述转动螺杆(2)的下端杆壁固定套接有与主动锥齿轮(16)啮合的从动锥齿轮(17)。3.根据权利要求2所述的一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置,其特征在于:所述真空镀膜箱(1)的内壁底部对称固定连接有两个支撑座(18),所述支撑座(18)的侧壁开设有用于传动轴(15)贯穿伸出的通孔。4.根据权利要求1所述的一种便于更换镀膜工件的高效真空镀膜装置,其特征在于:所述真空镀膜箱(1)的上端固定连接有环形密封插接块(19),所述密封顶板(6)的下侧开设有与环形密封插接块(1...

【专利技术属性】
技术研发人员:张新岳
申请(专利权)人:深圳市瑞泓塑胶五金镀膜技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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