真空镀膜室制造技术

本实用新型专利技术提供一种真空镀膜室，属于镀膜设备技术领域。真空镀膜室包括镀膜室主体、第一门体和第二门体；镀膜室主体呈框型结构，且镀膜室主体的两侧均形成有敞口部，第一门体和第二门体相对设置在镀膜室主体的两侧，且与镀膜室主体转动连接，以封闭或开启敞口部。通过在镀膜室主体的两侧分别设置的第一门体和第二门体，并使第一门体和第二门体与镀膜室主体转动连接，在实际作业时能够根据需求开启第一门体或第二门体或将第一门体和第二门体全部开启，从而能够在一定程度上避免当摆放空间受限导致一侧门体无法正常开启时，转架无法正常取放以及维修困难等问题。取放以及维修困难等问题。取放以及维修困难等问题。

【技术实现步骤摘要】
真空镀膜室


[0001]本技术涉及镀膜设备
，尤其是涉及一种真空镀膜室。

技术介绍

[0002]现阶段的镀膜室大多通过一侧形成的门体实现转架的进出以及镀膜室内的维护。
[0003]但采用一侧开门的方式比较受限于空间以及摆放方向，当空间较小，且摆放方向局限时，可能会导致门体无法全部展开、转架无法顺利转运以及维护检修困难等问题。
[0004]因此，急需提供一种真空镀膜室，以在一定程度上解决现有技术中存在的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种真空镀膜室，以在一定程度上解决现有真空镀膜室检修和维护不便，且取放转架灵活度较低的问题。
[0006]本技术提供的一种真空镀膜室，包括镀膜室主体、第一门体和第二门体；所述镀膜室主体呈框型结构，且所述镀膜室主体的两侧均形成有敞口部，所述第一门体和所述第二门体相对设置在所述镀膜室主体的两侧，且与所述镀膜室主体转动连接，以封闭或开启所述敞口部。
[0007]其中，所述镀膜室主体的底壁设有转架驱动机构，所述转架驱动机构包括驱动组件、承载盘以及传动构件；所述承载盘用于承载挂设待镀膜件的转架，所述驱动组件的输出端与所述传动构件相连接，以带动所示传动构件转动，所述传动构件与所述转架的对接部相连接，以使所述转架转动。
[0008]具体地，所述传动构件上形成有导向槽，所述导向槽呈剑形，所述导向槽的一端贯通所述传动构件的边缘形成开口部，所述对接部的形状和尺寸与所述导向槽的形状和尺寸相适配，所述对接部能够由所述开口部进入所述导向槽内，使所述转架与所述转架驱动机构相连接。
[0009]进一步地，所述镀膜室主体的底壁，且位于所述传动构件的两侧铺设有两条平行设置的滑道，所述滑道沿第一方向延伸，所述滑道用于承载进入所述镀膜室主体内的转架。
[0010]更进一步地，所述转架驱动机构还包括起升组件，所述起升组件能够将所述转架抬升并脱离所述滑道。
[0011]其中，本技术提供的真空镀膜室，还包括锁定机构，所述锁定机构的一端为伸缩端，所述伸缩端能够沿竖直方向伸缩，所述转架对应所述锁定机构的位置开设有定位孔，所述伸缩端能够插入所述定位孔内，以对所述转架在周向上限位。
[0012]具体地，所述锁定机构包括第一锁定组件、第二锁定组件以及控制组件；所述第一锁定组件和所述第二锁定组件相对设置于所述传动构件的两侧，所述控制组件设置于所述镀膜室主体的外壁面，且所述控制组件与所述第一锁定组件和所述第二锁定组件通讯连接。
[0013]进一步地，所述第一锁定组件和所述第二锁定组件均包括安装座、驱动件、插接件
以及套筒；所述安装座与所述镀膜室主体相连接，所述驱动件与所述安装座相连接，且所述驱动件的驱动端穿过所述镀膜室主体的底壁与所述插接件相连接；所述套筒设置于所述镀膜室主体内，且形成有容纳腔，所述驱动端和所述插接件均位于所述容纳腔内，所述插接件远离所述驱动端的一端呈锥形结构，当所述驱动端伸展时，所述插接件能够伸出所述套筒与所述定位孔相插接。
[0014]其中，所述镀膜室主体上设有第一锁紧机构和第二锁紧机构，所述第一门体上对应所述第一锁紧机构的位置设有第一连接机构，所述第二门体上对应所述第二锁紧机构的位置设有第二连接机构；所述第一锁紧机构与所述第一连接机构相连接或相分离，以对所述第一门体进行锁定或解锁；所述第二锁紧机构与所述第二连接机构相连接或相分离，以对所述第二门体进行锁定或解锁。
[0015]具体地，所述镀膜室主体、所述第一门体和所述第二门体围设成八边形结构，且八边形结构的相对设置的两个壁体均形成第一功能位，所述第一功能位用于安装刻蚀机构；所述刻蚀机构包括IET刻蚀机构和离子源刻蚀机构，所述IET刻蚀机构和所述离子源刻蚀机构分别与所述镀膜室主体的两个相对设置的壁体相连接。
[0016]相对于现有技术，本技术提供的真空镀膜室具有以下优势：
[0017]本技术提供的真空镀膜室，包括镀膜室主体、第一门体和第二门体；镀膜室主体呈框型结构，且镀膜室主体的两侧均形成有敞口部，第一门体和第二门体相对设置在镀膜室主体的两侧，且与镀膜室主体转动连接，以封闭或开启敞口部。
[0018]由此分析可知，通过使本申请中的镀膜室主体呈框型结构，使镀膜室主体的两侧均形成敞口部，并在两侧的敞口部对应设置第一门体和第二门体，使第一门体与第二门体均与镀膜室主体转动连接，从而能够根据需求任意开启第一门体或第二门体。
[0019]当布置空间较小，且摆放方向受限时，可能会导致一侧的门体无法正常开启。因此，通过本申请设置的第一门体和第二门体，当第一门体或第二门体被阻挡无法开启时，能够通过开启另一侧的门体实现对转架的取放以及镀膜室内的检修维护。
[0020]而当空间不受限时，则在检修和维护过程中，将第一门体和第二门体同时开启，从而能够在一定程度上保证对真空镀膜室内无死角的检测和维修，并且提升检修维护空间，提高作业效率。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本技术实施例提供的真空镀膜室中第一门体和第二门体开启状态的结构示意图；
[0023]图2为本技术实施例提供的真空镀膜室中第一门体和第二门体关闭状态的结构示意图；
[0024]图3为本技术实施例提供的真空镀膜室中底壁的局部结构剖视图；
[0025]图4为本技术实施例提供的真空镀膜室中传动构件的结构示意图。
[0026]图中：1
‑
镀膜室主体；101
‑
敞口部；102
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第一功能位；2
‑
第一门体；201
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第二功能位；202
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第三功能位；3
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第二门体；4
‑
承载盘；5
‑
传动构件；501
‑
导向槽；6
‑
第一锁定组件；601
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安装座；602
‑
驱动件；603
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插接件；604
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套筒；7
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第二锁定组件；
[0027]S1
‑
第一方向。
具体实施方式
[0028]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜室，其特征在于，包括镀膜室主体、第一门体和第二门体；所述镀膜室主体呈框型结构，且所述镀膜室主体的两侧均形成有敞口部，所述第一门体和所述第二门体相对设置在所述镀膜室主体的两侧，且与所述镀膜室主体转动连接，以封闭或开启所述敞口部。2.根据权利要求1所述的真空镀膜室，其特征在于，所述镀膜室主体的底壁设有转架驱动机构，所述转架驱动机构包括驱动组件、承载盘以及传动构件；所述承载盘用于承载挂设待镀膜件的转架，所述驱动组件的输出端与所述传动构件相连接，以带动所示传动构件转动，所述传动构件与所述转架的对接部相连接，以使所述转架转动。3.根据权利要求2所述的真空镀膜室，其特征在于，所述传动构件上形成有导向槽，所述导向槽呈剑形，所述导向槽的一端贯通所述传动构件的边缘形成开口部，所述对接部的形状和尺寸与所述导向槽的形状和尺寸相适配，所述对接部能够由所述开口部进入所述导向槽内，使所述转架与所述转架驱动机构相连接。4.根据权利要求2所述的真空镀膜室，其特征在于，所述镀膜室主体的底壁，且位于所述传动构件的两侧铺设有两条平行设置的滑道，所述滑道沿第一方向延伸，所述滑道用于承载进入所述镀膜室主体内的转架。5.根据权利要求4所述的真空镀膜室，其特征在于，所述转架驱动机构还包括起升组件，所述起升组件能够将所述转架抬升并脱离所述滑道。6.根据权利要求2所述的真空镀膜室，其特征在于，还包括锁定机构，所述锁定机构的一端为伸缩端，所述伸缩端能够沿竖直方向伸缩，所述转架对应所述锁定机构的位置开设有定位孔，所述伸缩端能够插入所述定位孔内，以对所述转架在周向上限位。7.根据权利要求6所述的真空镀膜室，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：王君，
申请(专利权)人：辽宁卓越真空设备有限公司，
类型：新型
国别省市：